JP5563243B2 - インプリント装置、および、物品の製造方法 - Google Patents
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Description
[物品の製造方法の実施形態]
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、前述したインプリント装置(押印装置)を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)にパターンを転写(形成)するステップを含む。さらに、該製造方法は、パターンを転写された前記基板をエッチングするステップを含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングステップの代わりに、パターンを転写された前記基板を加工する他の加工ステップを含みうる。
Claims (10)
- 型を保持する型チャックと、基板を保持する基板チャックとを備え、前記基板の上の樹脂の前記型による成形を含む処理を行うインプリント装置であって、
前記基板の上で硬化した樹脂から離型が行われるように、前記型チャックおよび前記基板チャックの少なくとも一方を駆動する駆動機構と、
前記型の劣化の程度に応じた荷重変化率で前記離型が行われるように、前記型の劣化の程度に応じて駆動パターンを決定し、前記駆動パターンに従って前記駆動機構を動作させる制御部と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記荷重変化率は、その絶対値が前記型の劣化に伴って小さくなる、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記駆動パターンは、前記型の劣化の程度としての前記型の使用回数に基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記駆動パターンは、押型される領域の面積にも基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記駆動パターンは、前記型におけるパターンの密度にも基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記樹脂を硬化させるように前記樹脂に光を照射する照射手段を備え、
前記駆動パターンは、前記光の照射量にも基づいて決定される、
ことを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記駆動パターンは、前記樹脂および離型剤の少なくとも一方の種類にも基づいて決定される、
ことを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記駆動パターンは、前記離型のための荷重の変化のパターンである、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記駆動パターンは、前記型チャックおよび前記基板チャックの少なくとも一方の位置の変化のパターンである、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて樹脂のパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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