JP2022163679A5 - - Google Patents
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US17/717,529 US12353127B2 (en) | 2021-04-14 | 2022-04-11 | Imprint apparatus, imprint method and article manufacturing method |
| KR1020220044951A KR102843526B1 (ko) | 2021-04-14 | 2022-04-12 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021068529 | 2021-04-14 | ||
| JP2021068529 | 2021-04-14 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022163679A JP2022163679A (ja) | 2022-10-26 |
| JP2022163679A5 true JP2022163679A5 (enExample) | 2024-06-03 |
| JP7685941B2 JP7685941B2 (ja) | 2025-05-30 |
Family
ID=83742295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021196467A Active JP7685941B2 (ja) | 2021-04-14 | 2021-12-02 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7685941B2 (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7731831B2 (ja) * | 2022-03-11 | 2025-09-01 | キオクシア株式会社 | インプリント方法、半導体装置の製造方法、及びインプリント装置 |
| JP2024057149A (ja) * | 2022-10-12 | 2024-04-24 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6403627B2 (ja) | 2015-04-14 | 2018-10-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP7100436B2 (ja) * | 2017-09-19 | 2022-07-13 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| JP7041483B2 (ja) | 2017-09-22 | 2022-03-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP7210155B2 (ja) | 2018-04-16 | 2023-01-23 | キヤノン株式会社 | 装置、方法、および物品製造方法 |
| JP7149872B2 (ja) | 2019-02-14 | 2022-10-07 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
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2021
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