JP2021027107A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7373334B2 (ja) 2019-09-17 2023-11-02 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
US12353127B2 (en) 2021-04-14 2025-07-08 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus, imprint method and article manufacturing method

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7670534B2 (en) * 2005-09-21 2010-03-02 Molecular Imprints, Inc. Method to control an atmosphere between a body and a substrate
US8142850B2 (en) 2006-04-03 2012-03-27 Molecular Imprints, Inc. Patterning a plurality of fields on a substrate to compensate for differing evaporation times
US20100096764A1 (en) * 2008-10-20 2010-04-22 Molecular Imprints, Inc. Gas Environment for Imprint Lithography
JP2011061029A (ja) * 2009-09-10 2011-03-24 Canon Inc インプリント方法および装置
JP6242099B2 (ja) * 2013-07-23 2017-12-06 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置およびデバイス製造方法
JP6294679B2 (ja) * 2014-01-21 2018-03-14 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6302287B2 (ja) * 2014-03-04 2018-03-28 東芝メモリ株式会社 インプリント装置およびパターン形成方法
JP6628491B2 (ja) * 2015-04-13 2020-01-08 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP6704769B2 (ja) * 2016-03-29 2020-06-03 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP6700949B2 (ja) * 2016-04-28 2020-05-27 キヤノン株式会社 インプリント方法及び物品の製造方法
JP6748496B2 (ja) * 2016-06-30 2020-09-02 キヤノン株式会社 モールド、インプリント方法、インプリント装置および物品製造方法
CN107479324A (zh) * 2017-08-31 2017-12-15 无锡英普林纳米科技有限公司 一种能够进行空气循环的纳米压印设备
JP6979845B2 (ja) * 2017-10-11 2021-12-15 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP7373334B2 (ja) * 2019-09-17 2023-11-02 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法

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