JP2015138842A5 - - Google Patents
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Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014008857A JP6294679B2 (ja) | 2014-01-21 | 2014-01-21 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| US15/110,129 US10197911B2 (en) | 2014-01-21 | 2015-01-08 | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
| PCT/JP2015/050994 WO2015111504A1 (en) | 2014-01-21 | 2015-01-08 | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014008857A JP6294679B2 (ja) | 2014-01-21 | 2014-01-21 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015138842A JP2015138842A (ja) | 2015-07-30 |
| JP2015138842A5 true JP2015138842A5 (enExample) | 2017-02-23 |
| JP6294679B2 JP6294679B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=53681309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014008857A Active JP6294679B2 (ja) | 2014-01-21 | 2014-01-21 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10197911B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6294679B2 (enExample) |
| WO (1) | WO2015111504A1 (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017157641A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP6700949B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2020-05-27 | キヤノン株式会社 | インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6762853B2 (ja) | 2016-11-11 | 2020-09-30 | キヤノン株式会社 | 装置、方法、及び物品製造方法 |
| US10890843B2 (en) * | 2017-07-28 | 2021-01-12 | Tokyo Electron Limited | Fast imprint lithography |
| KR102369538B1 (ko) | 2017-09-28 | 2022-03-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 성형 장치 및 물품 제조 방법 |
| US10895806B2 (en) * | 2017-09-29 | 2021-01-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprinting method and apparatus |
| JP7262930B2 (ja) * | 2018-04-26 | 2023-04-24 | キヤノン株式会社 | 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法 |
| JP7149872B2 (ja) * | 2019-02-14 | 2022-10-07 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP2021027107A (ja) * | 2019-08-01 | 2021-02-22 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP7581033B2 (ja) * | 2020-12-11 | 2024-11-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、およびコンピュータプログラム |
| US12353127B2 (en) | 2021-04-14 | 2025-07-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method and article manufacturing method |
| JP7669199B2 (ja) * | 2021-06-07 | 2025-04-28 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、コンピュータプログラム、及び物品の製造方法 |
| JP2023141408A (ja) * | 2022-03-24 | 2023-10-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、コンピュータプログラム、及び、物品の製造方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7090716B2 (en) | 2003-10-02 | 2006-08-15 | Molecular Imprints, Inc. | Single phase fluid imprint lithography method |
| JP2006269942A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| US7670534B2 (en) * | 2005-09-21 | 2010-03-02 | Molecular Imprints, Inc. | Method to control an atmosphere between a body and a substrate |
| US7462028B2 (en) | 2006-04-03 | 2008-12-09 | Molecular Imprints, Inc. | Partial vacuum environment imprinting |
| US8144309B2 (en) * | 2007-09-05 | 2012-03-27 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
| WO2009153925A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社ニコン | ナノインプリント方法及び装置 |
| JP4892026B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2012-03-07 | 株式会社東芝 | パターン形成方法 |
| NL2004685A (en) * | 2009-07-27 | 2011-01-31 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography apparatus and method. |
| JP5679850B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2015-03-04 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
| JP2013026603A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Tokyo Electron Ltd | 印刷装置、印刷システム、印刷方法及びその印刷方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| JP2013038191A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Canon Inc | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP2013062287A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Canon Inc | 型、それを用いたインプリント方法および物品の製造方法 |
| JP5787691B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2015-09-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| JP5868215B2 (ja) | 2012-02-27 | 2016-02-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 |
| JP6180131B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2017-08-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
-
2014
- 2014-01-21 JP JP2014008857A patent/JP6294679B2/ja active Active
-
2015
- 2015-01-08 US US15/110,129 patent/US10197911B2/en active Active
- 2015-01-08 WO PCT/JP2015/050994 patent/WO2015111504A1/en not_active Ceased
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