JP2012238674A5 - - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 241000255777 Lepidoptera Species 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011105653A JP5806501B2 (ja) | 2011-05-10 | 2011-05-10 | インプリント装置、及び、物品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011105653A JP5806501B2 (ja) | 2011-05-10 | 2011-05-10 | インプリント装置、及び、物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012238674A JP2012238674A (ja) | 2012-12-06 |
| JP2012238674A5 true JP2012238674A5 (enExample) | 2014-06-26 |
| JP5806501B2 JP5806501B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=47461341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011105653A Active JP5806501B2 (ja) | 2011-05-10 | 2011-05-10 | インプリント装置、及び、物品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5806501B2 (enExample) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6333039B2 (ja) | 2013-05-16 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法 |
| JP6315904B2 (ja) | 2013-06-28 | 2018-04-25 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及びデバイスの製造方法 |
| JP5909210B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2016-04-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP6234207B2 (ja) * | 2013-12-18 | 2017-11-22 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法 |
| JP2015167203A (ja) * | 2014-03-04 | 2015-09-24 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法およびパターン化基板製造方法 |
| JP7043199B2 (ja) * | 2017-08-03 | 2022-03-29 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、プログラム、インプリント装置及び物品の製造方法 |
| US10725375B2 (en) | 2018-12-04 | 2020-07-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Using non-linear fluid dispensers for forming thick films |
| US11261267B1 (en) | 2020-12-17 | 2022-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Photocurable composition |
| US12105417B2 (en) | 2021-10-05 | 2024-10-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of forming a photo-cured layer |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5182470B2 (ja) * | 2007-07-17 | 2013-04-17 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド |
| JP4609562B2 (ja) * | 2008-09-10 | 2011-01-12 | 日立電線株式会社 | 微細構造転写用スタンパ及びその製造方法 |
| US20100096764A1 (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Molecular Imprints, Inc. | Gas Environment for Imprint Lithography |
| JP2011009641A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及びインプリント用テンプレート |
| NL2005007A (en) * | 2009-08-28 | 2011-03-01 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography method and apparatus. |
| JP2012114158A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Toshiba Corp | インプリント方法およびインプリント装置 |
-
2011
- 2011-05-10 JP JP2011105653A patent/JP5806501B2/ja active Active
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