JP2012164809A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012164809A5
JP2012164809A5 JP2011023984A JP2011023984A JP2012164809A5 JP 2012164809 A5 JP2012164809 A5 JP 2012164809A5 JP 2011023984 A JP2011023984 A JP 2011023984A JP 2011023984 A JP2011023984 A JP 2011023984A JP 2012164809 A5 JP2012164809 A5 JP 2012164809A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imprint
curing
substrate
imprint material
curing means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011023984A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5754965B2 (ja
JP2012164809A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011023984A priority Critical patent/JP5754965B2/ja
Priority claimed from JP2011023984A external-priority patent/JP5754965B2/ja
Priority to US13/367,447 priority patent/US8672661B2/en
Publication of JP2012164809A publication Critical patent/JP2012164809A/ja
Publication of JP2012164809A5 publication Critical patent/JP2012164809A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5754965B2 publication Critical patent/JP5754965B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2011023984A 2011-02-07 2011-02-07 インプリント装置、および、物品の製造方法 Expired - Fee Related JP5754965B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011023984A JP5754965B2 (ja) 2011-02-07 2011-02-07 インプリント装置、および、物品の製造方法
US13/367,447 US8672661B2 (en) 2011-02-07 2012-02-07 Imprint apparatus and article manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011023984A JP5754965B2 (ja) 2011-02-07 2011-02-07 インプリント装置、および、物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012164809A JP2012164809A (ja) 2012-08-30
JP2012164809A5 true JP2012164809A5 (enExample) 2014-03-27
JP5754965B2 JP5754965B2 (ja) 2015-07-29

Family

ID=46600112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011023984A Expired - Fee Related JP5754965B2 (ja) 2011-02-07 2011-02-07 インプリント装置、および、物品の製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8672661B2 (enExample)
JP (1) JP5754965B2 (enExample)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5443070B2 (ja) * 2009-06-19 2014-03-19 東京エレクトロン株式会社 インプリントシステム
JP5828626B2 (ja) * 2010-10-04 2015-12-09 キヤノン株式会社 インプリント方法
JP5535164B2 (ja) * 2011-09-22 2014-07-02 株式会社東芝 インプリント方法およびインプリント装置
JP6338328B2 (ja) * 2013-07-02 2018-06-06 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
JP6330269B2 (ja) * 2013-08-06 2018-05-30 日立化成株式会社 パターンを有する樹脂層を製造する方法
JP6460672B2 (ja) 2013-09-18 2019-01-30 キヤノン株式会社 膜の製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法及び電子部品の製造方法
JP6398200B2 (ja) * 2014-01-24 2018-10-03 大日本印刷株式会社 樹脂パターンの形成方法および樹脂パターン形成装置
JP6497849B2 (ja) * 2014-04-15 2019-04-10 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP6324246B2 (ja) * 2014-07-11 2018-05-16 キヤノン株式会社 リソグラフィ装置、および物品製造方法
JP6429573B2 (ja) * 2014-10-03 2018-11-28 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP6562707B2 (ja) * 2015-05-13 2019-08-21 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
WO2017084797A1 (en) * 2015-11-20 2017-05-26 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and method of operating a lithographic apparatus
JP7425602B2 (ja) * 2017-03-08 2024-01-31 キヤノン株式会社 パターン形成方法、ならびに加工基板、光学部品及び石英モールドレプリカの製造方法、ならびにインプリント前処理コーティング材料及びそれとインプリントレジストとのセット
JP7270350B2 (ja) * 2018-05-15 2023-05-10 凸版印刷株式会社 パターン形成体の製造方法
US12044962B2 (en) * 2019-04-19 2024-07-23 Canon Kabushiki Kaisha Forming apparatus, forming method, and article manufacturing method
WO2022086531A1 (en) * 2020-10-22 2022-04-28 Canon Kabushiki Kaisha Photocurable composition
JP2023175231A (ja) 2022-05-30 2023-12-12 キヤノン株式会社 成形装置、成形方法及び物品の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07117201A (ja) 1993-10-27 1995-05-09 Toppan Printing Co Ltd ポリエステル化粧板の製造方法
US7365103B2 (en) 2002-12-12 2008-04-29 Board Of Regents, The University Of Texas System Compositions for dark-field polymerization and method of using the same for imprint lithography processes
KR101284943B1 (ko) * 2006-06-30 2013-07-10 엘지디스플레이 주식회사 몰드의 제조방법
JP2009215179A (ja) * 2008-03-07 2009-09-24 Fujifilm Corp （メタ）アクリレート化合物、これを用いた硬化性組成物、光ナノインプリント用組成物、並びにこれらの硬化性組成物の硬化物およびその製造方法
JP5370806B2 (ja) * 2008-04-22 2013-12-18 富士電機株式会社 インプリント方法およびその装置
JP5279397B2 (ja) * 2008-08-06 2013-09-04 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、およびデバイス製造方法
JP2012009831A (ja) * 2010-05-21 2012-01-12 Tokyo Electron Ltd インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012164809A5 (enExample)
KR20180084713A (ko) 패턴 형성 방법, 리소그래피 장치, 리소그래피 시스템, 및 물품의 제조 방법
ES2422379T3 (es) Procedimiento de fabricación por capas con influencia sobre el tamaño de grano
WO2013130184A3 (en) Molded composite threads
WO2008143106A1 (ja) 三次元形状造形物の製造方法及び製造装置
JP2013168645A5 (enExample)
JP2012238674A5 (enExample)
PL407996A1 (pl) Sposób drukowania przestrzennego obiektu 3D i urządzenie do drukowania przestrzennego obiektu 3D
JP2011507712A5 (enExample)
ATE554050T1 (de) Prägeverfahren und verfahren zur verarbeitung eines substrats
JP2011503660A5 (enExample)
EP2689929A4 (en) DECORATIVE LAYER FOR A THREE-DIMENSIONAL MOLDING BODY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, A JEWELING MOLDING BODY WITH A DECORATIVE LAYER AND A METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
RU2015110638A (ru) Способ и устройство для декорирования панели
JP2015023146A5 (enExample)
JP2012204722A5 (enExample)
EP3753707A4 (en) MATERIAL LAYER PRODUCTION PROCESS, THREE-DIMENSIONAL OBJECT PRODUCTION PROCESS, MATERIAL LAYER FORMING DEVICE AND LAMINATION MOLDING SYSTEM
SG150461A1 (en) Method for decorating surfaces
EP2692462A3 (en) Casting methods and molded articles produced therefrom
JP2012079969A5 (enExample)
TW201613741A (en) Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method
JP2013004744A5 (enExample)
JP2016092270A5 (enExample)
EP2857558A4 (en) METHOD FOR THE PRODUCTION OF A FORM AND METHOD FOR PRODUCING A FORM PART WITH A TINY UNBLE STRUCTURE ON THE SURFACE
BR112015002192A2 (pt) aparelho de moldagem por injeção e método que compreende uma superfície de cavidade de molde que compreende uma matriz termicamente controlável
EP2942667A3 (en) Patterning method using imprint mold, pattern structure fabricated by the method, and imprinting system