JP2012079969A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 235000019197 fats Nutrition 0.000 description 5
- 235000014121 butter Nutrition 0.000 description 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010224819A JP5828626B2 (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | インプリント方法 |
| US13/248,226 US20120080820A1 (en) | 2010-10-04 | 2011-09-29 | Imprinting method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010224819A JP5828626B2 (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | インプリント方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012079969A JP2012079969A (ja) | 2012-04-19 |
| JP2012079969A5 true JP2012079969A5 (enExample) | 2013-11-14 |
| JP5828626B2 JP5828626B2 (ja) | 2015-12-09 |
Family
ID=45889106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010224819A Active JP5828626B2 (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | インプリント方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20120080820A1 (enExample) |
| JP (1) | JP5828626B2 (enExample) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6018405B2 (ja) * | 2012-04-25 | 2016-11-02 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
| JP5994488B2 (ja) * | 2012-08-29 | 2016-09-21 | 大日本印刷株式会社 | インプリント方法およびそれを実施するためのインプリント装置 |
| JP6094257B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2017-03-15 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置およびインプリント転写体の製造方法 |
| JP5865340B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2016-02-17 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP6320183B2 (ja) * | 2014-06-10 | 2018-05-09 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法 |
| JP6420571B2 (ja) * | 2014-06-13 | 2018-11-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6628491B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2020-01-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP6723139B2 (ja) * | 2015-11-06 | 2020-07-15 | キヤノン株式会社 | 液体供給装置、インプリント装置および物品製造方法 |
| US10350631B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-07-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
| JP6643135B2 (ja) * | 2016-02-17 | 2020-02-12 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置および物品製造方法 |
| JP6402769B2 (ja) * | 2016-11-07 | 2018-10-10 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置およびインプリント転写体の製造方法 |
| JP6978853B2 (ja) * | 2017-05-15 | 2021-12-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
| JP2018194738A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | キヤノン株式会社 | 位置計測装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
| JP7041483B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2022-03-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
| KR102369538B1 (ko) | 2017-09-28 | 2022-03-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 성형 장치 및 물품 제조 방법 |
| JP7262930B2 (ja) * | 2018-04-26 | 2023-04-24 | キヤノン株式会社 | 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法 |
| JP7149872B2 (ja) | 2019-02-14 | 2022-10-07 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP7581033B2 (ja) * | 2020-12-11 | 2024-11-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、およびコンピュータプログラム |
| US12353127B2 (en) | 2021-04-14 | 2025-07-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method and article manufacturing method |
Family Cites Families (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001358056A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Canon Inc | 露光装置 |
| TW591653B (en) * | 2000-08-08 | 2004-06-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Method of manufacturing an optically scannable information carrier |
| US6954255B2 (en) * | 2001-06-15 | 2005-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| US7019819B2 (en) * | 2002-11-13 | 2006-03-28 | Molecular Imprints, Inc. | Chucking system for modulating shapes of substrates |
| US6852259B2 (en) * | 2002-09-18 | 2005-02-08 | Owens Corning Fiberglas Technology, Inc. | Moldable preform with B-stage thermoset polymer powder binder |
| US8211214B2 (en) * | 2003-10-02 | 2012-07-03 | Molecular Imprints, Inc. | Single phase fluid imprint lithography method |
| US7090716B2 (en) * | 2003-10-02 | 2006-08-15 | Molecular Imprints, Inc. | Single phase fluid imprint lithography method |
| JP4393244B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2010-01-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置 |
| US20060138689A1 (en) * | 2004-12-29 | 2006-06-29 | Endrud John N | Apparatus and method for compression molding a chair mat |
| US7951316B2 (en) * | 2005-04-05 | 2011-05-31 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Process for pipe seal manufacture |
| US7316554B2 (en) * | 2005-09-21 | 2008-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | System to control an atmosphere between a body and a substrate |
| US7670530B2 (en) * | 2006-01-20 | 2010-03-02 | Molecular Imprints, Inc. | Patterning substrates employing multiple chucks |
| JP4185941B2 (ja) * | 2006-04-04 | 2008-11-26 | キヤノン株式会社 | ナノインプリント方法及びナノインプリント装置 |
| JP4819577B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2011-11-24 | キヤノン株式会社 | パターン転写方法およびパターン転写装置 |
| US8144309B2 (en) * | 2007-09-05 | 2012-03-27 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
| JP5065880B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2012-11-07 | 株式会社日立産機システム | 微細構造転写装置および微細構造転写方法 |
| US8187515B2 (en) * | 2008-04-01 | 2012-05-29 | Molecular Imprints, Inc. | Large area roll-to-roll imprint lithography |
| JP5121549B2 (ja) * | 2008-04-21 | 2013-01-16 | 株式会社東芝 | ナノインプリント方法 |
| JP5235506B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2013-07-10 | キヤノン株式会社 | パターン転写装置及びデバイス製造方法 |
| WO2009153925A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社ニコン | ナノインプリント方法及び装置 |
| EP2138896B1 (en) * | 2008-06-25 | 2014-08-13 | Obducat AB | Nano imprinting method and apparatus |
| JP5371349B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP5268524B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2013-08-21 | キヤノン株式会社 | 加工装置 |
| US20100096764A1 (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Molecular Imprints, Inc. | Gas Environment for Imprint Lithography |
| JP5495767B2 (ja) * | 2009-12-21 | 2014-05-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び方法、並びに物品の製造方法 |
| US8691134B2 (en) * | 2010-01-28 | 2014-04-08 | Molecular Imprints, Inc. | Roll-to-roll imprint lithography and purging system |
| JP5754965B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
| JP2013098497A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Canon Inc | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| US9616614B2 (en) * | 2012-02-22 | 2017-04-11 | Canon Nanotechnologies, Inc. | Large area imprint lithography |
-
2010
- 2010-10-04 JP JP2010224819A patent/JP5828626B2/ja active Active
-
2011
- 2011-09-29 US US13/248,226 patent/US20120080820A1/en not_active Abandoned
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