JP6723139B2 - 液体供給装置、インプリント装置および物品製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 物体に液体を供給する液体供給装置であって、
液体を吐出する吐出部と、
前記吐出部を第1位置および第2位置を含む複数の位置に配置するための駆動機構と、
前記第1位置に配置された前記吐出部に対向するように配置され、前記第1位置に配置された前記吐出部から気体を吸引することによって前記吐出部が発生する熱を排出する第1排出口と、
前記第2位置に配置された前記吐出部に対向するように配置され、前記第2位置に配置された前記吐出部から気体を吸引することによって前記吐出部が発生する熱を排出する第2排出口と、を備える
ことを特徴とする液体供給装置。 - 前記吐出部は、液体を吐出する吐出口を有する吐出ヘッドと、前記吐出口からの液体の吐出を制御する電気部品と、前記電気部品を収容する容器と、を含み、
前記容器は、複数の開口を有し、
前記吐出部が前記第1位置に配置されたときは、前記複数の開口の少なくとも1つを通して前記容器の中に入った気体は、前記複数の開口の他の少なくとも1つを通して前記容器から出て、前記第1排出口に吸引され、
前記吐出部が前記第2位置に配置されたときは、前記複数の開口の少なくとも1つを通して前記容器の中に入った気体は、前記複数の開口の他の少なくとも1つを通して前記容器から出て、前記第2排出口に吸引される、
ことを特徴とする請求項1に記載の液体供給装置。 - 前記複数の開口は、第1開口および第2開口を含み、
前記吐出部が前記第1位置に配置されたときは、前記第1開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第2開口を通して前記容器から出て、前記第1排出口に吸引され、
前記吐出部が前記第2位置に配置されたときは、前記第1開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第2開口を通して前記容器から出て、前記第2排出口に吸引される、
ことを特徴とする請求項2に記載の液体供給装置。 - 前記複数の開口は、第1開口および第2開口を含み、
前記吐出部が前記第1位置に配置されたときは、前記第1開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第2開口を通して前記容器から出て、前記第1排出口に吸引され、
前記吐出部が前記第2位置に配置されたときは、前記第2開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第1開口を通して前記容器から出て、前記第2排出口に吸引される、
ことを特徴とする請求項2に記載の液体供給装置。 - 前記第1開口および前記第2開口は、前記容器の重心を通る仮想平面が前記第1開口と前記第2開口との間に位置するように配置されている、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の液体供給装置。 - 前記吐出部は、前記物体が前記吐出部の下方に配置されているときに液体を下方に吐出することによって前記物体に該液体を供給するように構成され、
前記容器は、上面、下面および側面を有し、前記吐出ヘッドは、前記容器の下面の下方に配置され、前記複数の開口は、前記側面に配置されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の液体供給装置。 - 前記複数の位置は、第3位置を含み、
前記第2排出口は、前記吐出部が前記第2位置に配置されたとき、および、前記吐出部が前記第3位置に配置されたとき、のいずれにおいても前記吐出部に対向する大きさを有し、
前記吐出部が前記第2位置に配置されたとき、および、前記吐出部が前記第3位置に配置されたとき、のいずれにおいても前記吐出部が発生する熱が前記第2排出口を通して排出される、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体供給装置。 - 前記吐出部をクリーニングするクリーニング機構を更に備え、
前記第1位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、前記第2位置は、前記クリーニング機構によって前記吐出部のクリーニングを行う位置である、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体供給装置。 - 前記吐出部から吐出された液体を撮像する撮像装置をさらに備え、
前記第1位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、前記第2位置は、前記撮像装置によって前記吐出部から吐出される液体の状態を撮像する位置である、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体供給装置。 - 前記吐出部をクリーニングするクリーニング機構と、
前記吐出部の部品と新たな部品とを交換する交換機構と、を更に備え、
前記第1位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、前記第2位置は、前記クリーニング機構によって前記吐出部のクリーニングを行う位置であり、前記第3位置は、前記交換機構によって前記部品と新たな部品との交換を行う位置である、
ことを特徴とする請求項7に記載の液体供給装置。 - 前記第1位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、
前記吐出部が前記第1位置に配置され、前記吐出部が前記物体に液体を供給する前記処理を行っている状態で、前記吐出部が発生する熱が前記第1排出口を通して排出される、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体供給装置。 - 前記駆動機構は、前記第1位置および前記第2位置が配置された線に沿って前記吐出部を駆動し、
前記吐出部は、液体を吐出する吐出口を有する吐出ヘッドと、前記吐出口からの液体の吐出を制御する電気部品と、前記電気部品を収容する容器とを含み、
前記容器は、前記線に平行な面を有し、前記面は開口を有し、前記第1位置に前記吐出部が配置された状態において、前記第1排出口が前記開口に対向する、
ことを特徴とする請求項1に記載の液体供給装置。 - 前記第1排出口および前記第2排出口が接続された排出部を更に備え、前記排出部は、前記第1位置および前記第2位置が配置された線に沿って延びている、
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の液体供給装置。 - 基板の上にインプリント材を供給し、該インプリント材に型を接触させ、該インプリント材を硬化させるインプリント装置であって、
前記液体としての前記インプリント材を前記物体としての前記基板に供給するように構成された請求項1乃至13のいずれか1項に記載の液体供給装置を備える、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 請求項14に記載のインプリント装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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