JP2016092270A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014226406A JP6478565B2 (ja) | 2014-11-06 | 2014-11-06 | インプリントシステム及び物品の製造方法 |
| TW104133032A TWI610722B (zh) | 2014-11-06 | 2015-10-07 | 壓印系統和製造物品的方法 |
| KR1020150150735A KR102004578B1 (ko) | 2014-11-06 | 2015-10-29 | 임프린트 시스템 및 물품의 제조 방법 |
| US14/927,547 US10661486B2 (en) | 2014-11-06 | 2015-10-30 | Imprint system and method of manufacturing article |
| CN201510736950.5A CN105589296B (zh) | 2014-11-06 | 2015-11-03 | 压印系统及物品的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014226406A JP6478565B2 (ja) | 2014-11-06 | 2014-11-06 | インプリントシステム及び物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016092270A JP2016092270A (ja) | 2016-05-23 |
| JP2016092270A5 true JP2016092270A5 (enExample) | 2017-12-14 |
| JP6478565B2 JP6478565B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=55911521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014226406A Active JP6478565B2 (ja) | 2014-11-06 | 2014-11-06 | インプリントシステム及び物品の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10661486B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6478565B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102004578B1 (enExample) |
| CN (1) | CN105589296B (enExample) |
| TW (1) | TWI610722B (enExample) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6742177B2 (ja) * | 2016-07-15 | 2020-08-19 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
| JP6940944B2 (ja) * | 2016-12-06 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
| JP6755168B2 (ja) * | 2016-12-09 | 2020-09-16 | キヤノン株式会社 | インプリントシステム、レプリカ製造装置、管理装置、インプリント装置、および物品製造方法 |
| JP7025132B2 (ja) * | 2017-06-05 | 2022-02-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| US11131923B2 (en) * | 2018-10-10 | 2021-09-28 | Canon Kabushiki Kaisha | System and method of assessing surface quality by optically analyzing dispensed drops |
| SG10202005344YA (en) * | 2019-06-11 | 2021-01-28 | Canon Kk | Simulation method, simulation apparatus, storage medium, film forming method, and method of producing cured product |
| JP7391599B2 (ja) * | 2019-10-11 | 2023-12-05 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法及びコンピュータプログラム |
| JP7441037B2 (ja) * | 2019-12-13 | 2024-02-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、情報処理装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP7401396B2 (ja) * | 2020-06-04 | 2023-12-19 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法、及びインプリント装置のための測定方法 |
| US11567414B2 (en) * | 2021-05-26 | 2023-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Devices, systems, and methods for the hybrid generation of drop patterns |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5929433B2 (ja) | 1975-07-18 | 1984-07-20 | 三菱油化株式会社 | 積層物の製造法 |
| JP3309725B2 (ja) | 1996-08-02 | 2002-07-29 | セイコーエプソン株式会社 | インクカートリッジ |
| US8586126B2 (en) * | 2008-10-21 | 2013-11-19 | Molecular Imprints, Inc. | Robust optimization to generate drop patterns in imprint lithography which are tolerant of variations in drop volume and drop placement |
| JP2010239118A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-10-21 | Canon Inc | インプリント装置および方法 |
| JP2011159764A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Toshiba Corp | パターン形成方法、レジスト塗布分布算出装置及びレジスト塗布分布算出プログラム |
| JP5599205B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2014-10-01 | 富士フイルム株式会社 | インプリントシステム |
| KR101000372B1 (ko) * | 2010-05-18 | 2010-12-13 | 홍영기 | 배향막 인쇄용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 및 이의 제조 시스템 |
| JP5214683B2 (ja) | 2010-08-31 | 2013-06-19 | 株式会社東芝 | インプリントレシピ作成装置及び方法並びにインプリント装置及び方法 |
| JP2012114157A (ja) | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Toshiba Corp | ドロップレシピ作成方法およびデータベース作成方法 |
| JP2012234901A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Toshiba Corp | インプリント装置の動作方法及びインプリント用テンプレートの管理装置の動作方法 |
| JP5875250B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及びデバイス製造方法 |
| JP2013193326A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
| JP2013254843A (ja) * | 2012-06-07 | 2013-12-19 | Tokyo Electron Ltd | テンプレート及びインプリント装置 |
| JP2014033069A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Toshiba Corp | パターン形成方法及びディスペンサー |
| JP5813603B2 (ja) * | 2012-09-04 | 2015-11-17 | 株式会社東芝 | インプリント装置およびインプリント方法 |
-
2014
- 2014-11-06 JP JP2014226406A patent/JP6478565B2/ja active Active
-
2015
- 2015-10-07 TW TW104133032A patent/TWI610722B/zh active
- 2015-10-29 KR KR1020150150735A patent/KR102004578B1/ko active Active
- 2015-10-30 US US14/927,547 patent/US10661486B2/en active Active
- 2015-11-03 CN CN201510736950.5A patent/CN105589296B/zh active Active
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