JP6302287B2 - インプリント装置およびパターン形成方法 - Google Patents
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Description
例えば、基板上に液状の樹脂材料を滴下し、パターンが形成されたテンプレート(インプリント型などとも称される)を樹脂材料に押し当てたまま樹脂材料を硬化させて、基板上に樹脂材料からなるパターンを形成するようにしている。
ここで、インプリント法を用いてパターンを形成する場合には、テンプレートの凸部と基板との間に樹脂材料が残留するようにしている。この残留した樹脂材料からなる膜(残膜)の厚みを残膜厚み(RLT:Residual Layer Thickness)という。
残膜厚み寸法が変動すると、後工程における処理(例えば、樹脂材料からなるパターンをマスクとして用いるエッチング処理)の処理条件が変動することになるので、樹脂材料からなるパターンの下地層に対して高精度な処理を施すことが困難となる。
そのため、レーザ干渉計を用いてテンプレートの凸部と基板との間の距離を測定し、測定値に基づいて残膜厚み寸法を制御する技術が提案されている。
しかしながら、残膜厚み寸法をさらに高精度に制御することができる技術の開発が望まれていた。
前記制御部は、前記演算された被転写部の剪断力と、予め求められた前記被転写部の剪断力と残膜厚み寸法との関係と、から前記残膜厚み寸法をさらに演算する。
図1は、本実施の形態に係るインプリント装置1を例示するための模式図である。
インプリント装置1は、UV(Ultraviolet)インプリント法を用いて転写を行うインプリント装置である。
テンプレート100は、例えば、石英などの紫外線を透過させることができる材料から形成されている。
なお、平板状を呈する基部100bを例示したが、パターン部100aが設けられる領域の厚みが薄くなっているものとすることもできる。
基板110の一方の面には、被転写部111が設けられている。
被転写部111は、紫外線硬化樹脂を含むものとすることができる。
硬化される前の被転写部111は、液状となっている。
膜状の被転写部111を例示したが、例えば、液滴状の紫外線硬化樹脂が複数設けられた形態とすることもできる。
なお、図1中の矢印X、Y、Zは互いに直交する三方向を表しており、例えば、矢印X、Yは水平方向、矢印Zは鉛直方向を表している。
緩衝部2bは、有機材料などの柔軟性を有する材料から形成されている。柔軟性を有する緩衝部2bを設けるようにすれば、基板110の表面形状にテンプレート100を倣わすことができる。そのため、転写不良を低減させることができる。
なお、緩衝部2bは、テンプレート100に設けるようにすることもできる。
また、保持部2は、厚み方向を貫通する孔部2aを有する。孔部2aは、テンプレート100のパターン部100aに対峙する位置に設けられている。
また、移動部3は、位置検出部3aを有している。位置検出部3aは、保持部2の位置、ひいては、パターン部100aの先端面100a1の位置を検出する。
また、載置部4は、載置された基板110の位置を変化させるものとすることもできる。載置部4は、例えば、XYテーブルなどとすることもできる。
硬化部5は、テンプレート100のパターン部100aが押し付けられた被転写部111を硬化させる。
硬化部5は、例えば、紫外線を照射する。硬化部5は、例えば、紫外線ランプを有したものとすることができる。
硬化部5から照射された紫外線は、孔部2aおよびテンプレート100を透過して、テンプレート100により押圧された被転写部111に照射される。
押圧部6aは、所定の圧力でテンプレート100の側面をX方向に押す。
押圧部6aは、押圧力を制御することができるものとすることができる。
押圧部6aは、例えば、エアシリンダと、空気圧の制御機器を有したものとすることができる。この場合、空気圧の制御機器によりエアシリンダに供給される空気の圧力を制御して、押圧力を制御することができる。
また、押圧部6aは、サーボモータなどの制御モータと、歪みゲージなどの応力測定機器を有したものとすることもできる。この場合、応力測定機器からの出力に基づいて制御モータを制御して、押圧力を制御することができる。
検出部6bは、例えば、レーザ干渉計などとすることができる。
なお、テンプレート100の側面をX方向に押す押圧部6aと、テンプレート100のX方向の位置を検出する検出部6bを例示したが、テンプレート100の側面をY方向に押す押圧部6aと、テンプレート100のY方向の位置を検出する検出部6bとすることもできる。
また、押圧部6aは、X方向またはY方向に対して傾いた方向からテンプレート100の側面を押すものであってもよい。
すなわち、押圧部6aは、被転写部111に押し付けられたテンプレート100をテンプレート100の押圧方向と交差する方向に押すものであればよい。
なお、残膜厚み寸法の演算に関する詳細は後述する。
制御部7は、例えば、以下の動作を制御する。
制御部7は、保持部2を制御して、保持部2にテンプレート100を保持させる。
制御部7は、移動部3を制御して、保持部2の昇降位置、ひいてはテンプレート100の昇降位置を変化させる。
制御部7は、載置部4を制御して、載置部4に基板110を保持させる。
制御部7は、硬化部5を制御して、テンプレート100により押圧された被転写部111に向けて、硬化部5に紫外線を照射させる。
制御部7は、押圧部6aを制御して、押圧部6aにテンプレート100の側面を押させる。
制御部7は、演算された被転写部111の剪断力と、予め求められた被転写部111の剪断力と残膜厚み寸法との関係と、から残膜厚み寸法を演算する。
制御部7は、演算された残膜厚み寸法が所定の範囲内にあるか否かを判定する。
演算された残膜厚み寸法が所定の範囲内にないと判定された場合には、制御部7は、保持部2の位置の補正値を演算し、演算された補正値に基づいて、パターン部100aの先端面100a1の位置を制御する。
すなわち、制御部7は、移動部3を制御して、演算された残膜厚み寸法が所定の範囲内となるように、保持部2の昇降位置(テンプレート100の昇降位置)の補正、ひいては残膜厚み寸法の補正を行う。
塗布装置は、例えば、インクジェット装置などとすることができる。
被転写部111は、紫外線が照射される前(硬化前)は液状となっている。
そのため、テンプレート100と基板110に接触していない被転写部111の部分は、バルク液体(bulk liquid)となる。
ここで、残膜厚み寸法(パターン部100aの先端面100a1と基板110との間の距離)は、ナノメートルオーダとなる。例えば、残膜厚み寸法は、十nm(ナノメートル)〜数十nm程度とすることができる。
そのため、被転写部111の剪断力は小さなものとなる。
ところが、残膜厚み寸法がナノメートルオーダとなると、被転写部111の粘性が上昇、ひいては被転写部111の剪断力が大きくなる。
そのため、被転写部111の剪断力を測定すれば、残膜厚み寸法を演算することができる。
図3(a)〜(c)は、残膜厚み寸法が変化する様子を例示するための模式図である。 図3(a)は、テンプレート100を被転写部111に押し付ける前の状態を表している。
前述したように、テンプレート100を被転写部111に押し付ける前や、残膜厚み寸法が長い場合には、被転写部111の剪断力は小さなものとなる。
例えば、図2中の領域Aに示すように、被転写部111の剪断力は小さなものとなる。
また、図3(c)に示すように、残膜厚み寸法Tをさらに短くすると、被転写部111の剪断力はさらに大きくなる。
しかしながら、残膜厚み寸法Tが短くなりすぎると、図2中の領域Cに示すように、被転写部111の剪断力は大きなまま変動しなくなる。
例えば、図2中の領域Cは、押圧部6aでテンプレート100の側面を押した程度ではテンプレート100の位置が変化しない領域である。
そのため、被転写部111の剪断力を測定することで、その際の残膜厚み寸法Tを特定することができるので、残膜厚み寸法Tを高精度に制御することが可能となる。
また、被転写部111の剪断力と残膜厚み寸法Tとの関係は、被転写部111の材料、粘度、成分比などの影響を受け得る。
そのため、実験やシミュレーションを行うことで、被転写部111の剪断力と残膜厚み寸法Tとの関係を予め求めておくようにすることが好ましい。
押圧部6aが、テンプレート100の側面を所定の圧力で押すと、テンプレート100の位置が変化する。
この場合、テンプレート100の位置の変化は、被転写部111の剪断力、テンプレート100の弾性や緩衝部2bの弾性などの影響を受け得る。
そのため、テンプレート100の弾性や緩衝部2bの弾性などの影響は除去することができる。
そして、実験やシミュレーションを行うことで、所定の押圧力を加えたときのテンプレート100の位置と、被転写部111の剪断力との関係を予め求めておくようにすれば、検出部6bからの出力に基づいて被転写部111の剪断力を演算することができる。
まず、図示しない搬送装置により、被転写部111を有する基板110が載置部4に載置される。
被転写部111は、例えば、インクジェット装置などを用いて、基板110の一方の面に形成することができる。
この際、位置検出部3aからの出力に基づいて、保持部2の位置、ひいては、パターン部100aの先端面100a1の位置が所定の位置となるように制御される。
すなわち、所望の残膜厚み寸法Tとなるように、パターン部100aの先端面100a1の位置が制御される。
この際、押圧力が所定の値となるように制御される。
続いて、検出部6bがテンプレート100の位置を検出する。
そして、制御部7が、検出部6bからの出力に基づいて被転写部111の剪断力を演算する。
さらに、制御部7が、演算された被転写部111の剪断力に基づいて、残膜厚み寸法Tを演算する。
一方、制御部7が、演算された残膜厚み寸法Tが所定の範囲内にないと判定した場合には、制御部7は、残膜厚み寸法Tの補正を行う。
続いて、前述した場合と同様にして、制御部7が、残膜厚み寸法Tを再度演算する。
以降、必要に応じて、前述の手順を繰り返すことで、残膜厚み寸法Tが所定の範囲内に収まるようにする。
被転写部111は、紫外線が照射されることで硬化し、被転写部111にパターン部100aのパターンが転写される。
次に、移動部3により、保持部2が載置部4から遠ざかる方向に移動する。
次に、図示しない搬送装置により、パターンが転写された被転写部111を有する基板110が搬出される。
以降、以上の手順を繰り返すことで、被転写部111にパターン部100aのパターンを連続的に転写することができる。
基板110の上に被転写部111を形成する工程。
被転写部111にテンプレート100のパターン部100aを押し付ける工程。
被転写部111に押し付けられたテンプレート100をテンプレート100の押圧方向と交差する方向に押す工程。 、
押されたテンプレート100の位置を検出する工程。
テンプレート100のパターン部100aが押し付けられた被転写部111を硬化させる工程。
検出されたテンプレート100の位置と、予め求められたテンプレート100の位置と被転写部111の剪断力との関係と、から被転写部111の剪断力を演算する工程。
演算された被転写部111の剪断力と、予め求められた被転写部111の剪断力と残膜厚み寸法Tとの関係と、から残膜厚み寸法Tを演算する工程。
演算された残膜厚み寸法Tが所定の範囲内にあるか否かを判定する工程。
演算された残膜厚み寸法Tが所定の範囲内にないと判定された場合には、テンプレート100の押圧方向の位置を変化させて、残膜厚み寸法Tの補正を行う工程。
なお、各工程の内容は、前述したものと同様とすることができるので、各工程の内容の説明は省略する。
なお、加熱方法は、遠赤外線の照射に限定されるわけではなく、適宜変更することができる。
Claims (6)
- 基板に設けられた被転写部に押し付けられるパターン部を有するテンプレートを保持する保持部と、
前記保持部に対峙させて設けられ、前記基板を載置する載置部と、
前記保持部および前記載置部の少なくともいずれかに設けられ、前記保持部および前記載置部を互いに近接する方向または互いに離隔する方向に移動させる移動部と、
前記テンプレートのパターン部が押し付けられた前記被転写部を硬化させる硬化部と、
前記被転写部に押し付けられた前記テンプレートを前記テンプレートの押圧方向と交差する方向に押す押圧部と、
前記押圧部により押された前記テンプレートの位置を検出する検出部と、
前記検出されたテンプレートの位置と、予め求められた前記テンプレートの位置と前記被転写部の剪断力との関係と、から前記被転写部の剪断力を演算する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記演算された被転写部の剪断力と、予め求められた前記被転写部の剪断力と残膜厚み寸法との関係と、から前記残膜厚み寸法をさらに演算するインプリント装置。 - 前記制御部は、前記演算された残膜厚み寸法が所定の範囲内にあるか否かを判定する請求項1記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記演算された残膜厚み寸法が前記所定の範囲内にないと判定された場合には、前記移動部を制御して、前記残膜厚み寸法の補正を行う請求項2記載のインプリント装置。
- 基板の上に被転写部を形成する工程と、
前記被転写部にテンプレートのパターン部を押し付ける工程と、
前記被転写部に押し付けられた前記テンプレートを前記テンプレートの押圧方向と交差する方向に押す工程と、
前記押されたテンプレートの位置を検出する工程と、
前記テンプレートのパターン部が押し付けられた前記被転写部を硬化させる工程と、
前記検出されたテンプレートの位置と、予め求められた前記テンプレートの位置と前記被転写部の剪断力との関係と、から前記被転写部の剪断力を演算する工程と、
前記演算された被転写部の剪断力と、予め求められた前記被転写部の剪断力と残膜厚み寸法との関係と、から前記残膜厚み寸法を演算する工程と、
を備えたパターン形成方法。 - 前記演算された残膜厚み寸法が所定の範囲内にあるか否かを判定する工程をさらに備えた請求項4記載のパターン形成方法。
- 前記演算された残膜厚み寸法が前記所定の範囲内にないと判定された場合には、前記テンプレートの押圧方向の位置を変化させて、前記残膜厚み寸法の補正を行う工程をさらに備えた請求項5記載のパターン形成方法。
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