JP2023047940A5 - - Google Patents
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| JP2021157142A JP7676281B2 (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
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| JP2021157142A JP7676281B2 (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
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| JP2023047940A JP2023047940A (ja) | 2023-04-06 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021157142A Active JP7676281B2 (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
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| JP (1) | JP7676281B2 (enExample) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5868215B2 (ja) * | 2012-02-27 | 2016-02-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 |
| JP6200135B2 (ja) * | 2012-07-24 | 2017-09-20 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および、物品製造方法 |
| JP2018041774A (ja) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| JP7262930B2 (ja) * | 2018-04-26 | 2023-04-24 | キヤノン株式会社 | 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法 |
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2021
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