JP7676281B2 - インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 - Google Patents

インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 Download PDF

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013175631A (ja) 2012-02-27 2013-09-05 Canon Inc インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法
JP2014027016A (ja) 2012-07-24 2014-02-06 Canon Inc インプリント装置、および、物品製造方法
JP2018041774A (ja) 2016-09-05 2018-03-15 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP2019192821A (ja) 2018-04-26 2019-10-31 キヤノン株式会社 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013175631A (ja) 2012-02-27 2013-09-05 Canon Inc インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法
JP2014027016A (ja) 2012-07-24 2014-02-06 Canon Inc インプリント装置、および、物品製造方法
JP2018041774A (ja) 2016-09-05 2018-03-15 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP2019192821A (ja) 2018-04-26 2019-10-31 キヤノン株式会社 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法

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