JP2011129802A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011129802A5
JP2011129802A5 JP2009288817A JP2009288817A JP2011129802A5 JP 2011129802 A5 JP2011129802 A5 JP 2011129802A5 JP 2009288817 A JP2009288817 A JP 2009288817A JP 2009288817 A JP2009288817 A JP 2009288817A JP 2011129802 A5 JP2011129802 A5 JP 2011129802A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imprint
resin
discharge ports
discharge
imprint apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009288817A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2011129802A (ja
JP5495767B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2009288817A external-priority patent/JP5495767B2/ja
Priority to JP2009288817A priority Critical patent/JP5495767B2/ja
Priority to TW099139785A priority patent/TWI532586B/zh
Priority to TW102138670A priority patent/TW201406528A/zh
Priority to US12/950,695 priority patent/US9760000B2/en
Priority to KR1020100115521A priority patent/KR101357745B1/ko
Publication of JP2011129802A publication Critical patent/JP2011129802A/ja
Publication of JP2011129802A5 publication Critical patent/JP2011129802A5/ja
Publication of JP5495767B2 publication Critical patent/JP5495767B2/ja
Application granted granted Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009288817A 2009-12-21 2009-12-21 インプリント装置及び方法、並びに物品の製造方法 Expired - Fee Related JP5495767B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009288817A JP5495767B2 (ja) 2009-12-21 2009-12-21 インプリント装置及び方法、並びに物品の製造方法
TW099139785A TWI532586B (zh) 2009-12-21 2010-11-18 壓印設備，壓印方法，和製造物品的方法
TW102138670A TW201406528A (zh) 2009-12-21 2010-11-18 壓印設備，壓印方法，和製造物品的方法
KR1020100115521A KR101357745B1 (ko) 2009-12-21 2010-11-19 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법
US12/950,695 US9760000B2 (en) 2009-12-21 2010-11-19 Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009288817A JP5495767B2 (ja) 2009-12-21 2009-12-21 インプリント装置及び方法、並びに物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011129802A JP2011129802A (ja) 2011-06-30
JP2011129802A5 true JP2011129802A5 (enExample) 2013-02-14
JP5495767B2 JP5495767B2 (ja) 2014-05-21

Family

ID=44151497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009288817A Expired - Fee Related JP5495767B2 (ja) 2009-12-21 2009-12-21 インプリント装置及び方法、並びに物品の製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9760000B2 (enExample)
JP (1) JP5495767B2 (enExample)
KR (1) KR101357745B1 (enExample)
TW (2) TWI532586B (enExample)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5828626B2 (ja) * 2010-10-04 2015-12-09 キヤノン株式会社 インプリント方法
JP5753755B2 (ja) * 2011-09-30 2015-07-22 富士フイルム株式会社 液滴吐出装置および液滴吐出方法
JP5910056B2 (ja) * 2011-12-13 2016-04-27 富士ゼロックス株式会社 レンズ製造装置
JP6029495B2 (ja) 2012-03-12 2016-11-24 キヤノン株式会社 インプリント方法およびインプリント装置、それを用いた物品の製造方法
JP6415120B2 (ja) * 2014-06-09 2018-10-31 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6320183B2 (ja) * 2014-06-10 2018-05-09 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法
JP6322158B2 (ja) * 2014-07-02 2018-05-09 キヤノン株式会社 インプリント方法及び装置、物品の製造方法、及びプログラム
CN105842982B (zh) * 2015-02-03 2019-11-08 佳能株式会社 压印装置以及物品的制造方法
JP6661334B2 (ja) * 2015-02-03 2020-03-11 キヤノン株式会社 装置、および物品の製造方法
JP6742177B2 (ja) * 2016-07-15 2020-08-19 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品製造方法
SG10201709153VA (en) * 2016-12-12 2018-07-30 Canon Kk Fluid droplet methodology and apparatus for imprint lithography
JP6898785B2 (ja) * 2017-06-16 2021-07-07 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3932964B2 (ja) * 2002-04-19 2007-06-20 セイコーエプソン株式会社 デバイスの製造方法及びデバイスの製造装置
JP2004255335A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ、並びに電子機器
JP4155511B2 (ja) 2003-05-09 2008-09-24 Ｔｄｋ株式会社 インプリント装置およびインプリント方法
US7935389B2 (en) * 2003-11-05 2011-05-03 Sony Corporation Liquid spraying apparatus and method
JP2005186598A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Konica Minolta Holdings Inc 画像記録装置
US20050276919A1 (en) 2004-06-01 2005-12-15 Molecular Imprints, Inc. Method for dispensing a fluid on a substrate
JP4631357B2 (ja) * 2004-08-27 2011-02-16 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置の描画制御方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法
US8011915B2 (en) * 2005-11-04 2011-09-06 Asml Netherlands B.V. Imprint lithography
US8001924B2 (en) * 2006-03-31 2011-08-23 Asml Netherlands B.V. Imprint lithography
JP4185941B2 (ja) 2006-04-04 2008-11-26 キヤノン株式会社 ナノインプリント方法及びナノインプリント装置
JP5328080B2 (ja) * 2006-05-16 2013-10-30 芝浦メカトロニクス株式会社 溶液の供給装置
JP2007313439A (ja) * 2006-05-26 2007-12-06 Hitachi High-Technologies Corp 樹脂塗布装置及び樹脂塗布方法
US8707890B2 (en) * 2006-07-18 2014-04-29 Asml Netherlands B.V. Imprint lithography
JP2008135602A (ja) 2006-11-29 2008-06-12 Seiko Epson Corp パターン形成方法及びパターン形成装置
JP5020844B2 (ja) * 2007-02-06 2012-09-05 キヤノン株式会社 インプリント方法及びインプリント装置、インプリント方法を用いた部材の製造方法
JP5018191B2 (ja) * 2007-04-05 2012-09-05 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
KR20080101965A (ko) * 2007-05-17 2008-11-24 세크론 주식회사 접착 수지의 도포 장치 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치
JP2009056719A (ja) 2007-08-31 2009-03-19 Seiko Epson Corp 液体吐出装置およびその制御方法並びにプログラム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011129802A5 (enExample)
JP2013175631A5 (enExample)
JP2015213130A5 (enExample)
US10556386B2 (en) Controlled heating for 3D printing
KR101430583B1 (ko) 3차원 프린터용 멀티 공급기
CN101767403A (zh) 模内装饰制品的成形方法
RU2015110638A (ru) Способ и устройство для декорирования панели
JP2014027016A5 (ja) インプリント装置、インプリント方法、および、物品製造方法
JP2019080047A5 (enExample)
JP6957159B2 (ja) 異なる特性を有する異なる材料で三次元の印刷物を製作するためのシステムおよび方法
JP2016021532A5 (enExample)
JP2018182300A5 (enExample)
KR101407050B1 (ko) 가변형 수조 적층방식을 이용한 3차원 프린터 및 이를 이용한 조형방법
JP2016076558A5 (enExample)
JP2016147480A (ja) シーケンシャルインジェクションにより成形品を製造するための成形装置及び成形方法
JP2019075551A5 (enExample)
WO2016201784A1 (zh) 一种负重力3d打印机及其打印方法
JP6326076B2 (ja) プラスチック材料を射出成形するシステム及び方法
JP2015150840A (ja) 三次元造形装置及び三次元造形方法
JP2018098506A5 (enExample)
CN110691687A (zh) 用于3d打印由橡胶类非热塑性材料制成的工件的设备和方法
TWI494206B (zh) 樹脂成形裝置及樹脂成形方法
JP2017168751A5 (enExample)
JP6533457B2 (ja) 射出成形金型におけるシボ模様転写面の製造方法
KR20130092900A (ko) 원통형 금형을 위한 히팅 장치