JP2018010247A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、基板を保持する基板保持装置であって、前記基板を保持する保持部と、前記基板の前記保持部側の面の一部の領域を吸着支持する第１支持部と、該第１支持部によって吸着支持される領域とは異なる前記保持部側の面の一部の領域を支持する第２支持部とを含む支持部材と、前記基板が前記保持部と接触した後、前記第１支持部に前記基板を吸着させたまま前記第２支持部を前記基板から遠ざける駆動手段と、前記駆動手段により前記第２支持部が前記保持部側の面から遠ざけられた状態で前記保持部側の面に気体を供給する供給手段と、を有することを特徴とする。
Claims (9)
- 基板を保持する基板保持装置であって、
前記基板を保持する保持部と、
前記基板の前記保持部側の面の一部の領域を吸着支持する第１支持部と、該第１支持部によって吸着支持される領域とは異なる前記保持部側の面の一部の領域を支持する第２支持部とを含む支持部材と、
前記基板が前記保持部と接触した後、前記第１支持部に前記基板を吸着させたまま前記第２支持部を前記基板から遠ざける駆動手段と、
前記駆動手段により前記第２支持部が前記保持部側の面から遠ざけられた状態で前記保持部側の面に気体を供給する供給手段と、を有することを特徴とする基板保持装置。 - 前記第２支持部と前記保持部側の面との接触面積が、前記第１支持部と前記保持部側の面との接触面積よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の基板保持装置。
- 前記駆動手段は、前記第２支持部の位置制御を停止することにより前記第２支持部を前記保持部側の面から遠ざけることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板保持装置。
- 前記支持部材は、前記駆動手段から生じるパーティクルの飛散を防止するカバーを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板保持装置。
- 前記第１支持部の前記保持部側の面との接触部は、前記基板の形状にならって変形することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板保持装置。
- 前記第１支持部は、前記第１支持部と前記第２支持部との相対移動を規制する規制部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板保持装置。
- 前記供給手段により気体を供給した後、前記保持部と前記基板の間を排気して前記基板を前記保持部で保持することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板保持装置。
- 原版を用いて基板上にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
請求項１乃至７のいずれかに記載の基板保持装置と、
前記保持部に保持された基板上に前記パターンを形成するパターン形成手段と、を有することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項８に記載のリソグラフィ装置を用いて、基板上に前記パターンを形成する工程と、
パターンの形成された基板を加工する工程と、を有することを特徴とする物品の製造方法。
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Applications Claiming Priority (1)
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| JP2016140648A JP6838880B2 (ja) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 基板保持装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法 |
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| JP6838880B2 JP6838880B2 (ja) | 2021-03-03 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2016140648A Active JP6838880B2 (ja) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 基板保持装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法 |
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| JP (1) | JP6838880B2 (ja) |
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