JP2012072478A5 - - Google Patents

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また、前記マスク表面に平行な上下方向であるＹ方向に前記下部側移動ベース部10を移動せしめる前記下部側駆動機構に設けられる前記Ｙ方向用駆動装置は、前記各下部側移動ベース部10を夫々独立して移動可能に構成し、前記上部側駆動機構には前記Ｙ方向用駆動装置を設けないことを特徴とする請求項４に記載の成膜装置に係るものである。
１ 真空槽
２ 基板
３ マスク
４ アライメント枠
５ 上部側固定ベース部
６ 上部側移動ベース部
７ 上部貫通孔
８ 上部側連結体
９ 下部側固定ベース部
10 下部側移動ベース部
11 下部貫通孔
12 下部側連結体
34，35 ベローズ

Claims (1)

  1. 前記マスク表面に平行な上下方向であるＹ方向に前記下部側移動ベース部を移動せしめる前記下部側駆動機構に設けられる前記Ｙ方向用駆動装置は、前記各下部側移動ベース部を夫々独立して移動可能に構成し、前記上部側駆動機構には前記Ｙ方向用駆動装置を設けないことを特徴とする請求項４に記載の成膜装置。
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