JP2017219850A5 - - Google Patents
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| WO2019058882A1 (ja) | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成用組成物、膜、赤外線カットフィルタ、赤外線透過フィルタ、固体撮像素子、赤外線センサ、及び、カメラモジュール |
| JP7252020B2 (ja) * | 2018-04-16 | 2023-04-04 | 旭化成株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法 |
| JP7225652B2 (ja) * | 2018-10-03 | 2023-02-21 | Ｈｄマイクロシステムズ株式会社 | 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品 |
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| KR20210093842A (ko) * | 2018-11-21 | 2021-07-28 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 리소그래피용 막형성재료, 리소그래피용 막형성용 조성물, 리소그래피용 하층막 및 패턴 형성방법 |
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| TWI797986B (zh) * | 2019-07-29 | 2023-04-01 | 日商旭化成股份有限公司 | 負型感光性樹脂組合物、聚醯亞胺之製造方法、硬化浮凸圖案之製造方法、及半導體裝置 |
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| WO2022070362A1 (ja) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 樹脂組成物、半導体装置の製造方法、硬化物及び半導体装置 |
| CN112608434B (zh) * | 2020-11-27 | 2023-06-02 | 上海彤程电子材料有限公司 | 一种含苯并杂环结构单元酚类聚合物及其制备方法和应用 |
| JP7367664B2 (ja) * | 2020-12-16 | 2023-10-24 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物、硬化物、樹脂シート、回路基板、半導体チップパッケージ、半導体装置、及び構造体 |
| WO2022210225A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 | 富士フイルム株式会社 | 樹脂組成物、硬化物、積層体、硬化物の製造方法、及び、半導体デバイス |
| US20240389227A1 (en) * | 2021-04-02 | 2024-11-21 | Jsr Corporation | Radiation-sensitive composition for forming insulation film, resin film having pattern, and semiconductor circuit board |
| CN115437217B (zh) * | 2021-07-15 | 2025-09-23 | 山东圣泉新材料股份有限公司 | 一种负型光敏性组合物及其应用 |
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| CN114316263B (zh) * | 2022-01-17 | 2023-02-03 | 深圳职业技术学院 | 交联型聚酰胺酸酯、其制备方法、包含其的聚酰亚胺组合物及聚酰亚胺树脂膜的制备方法 |
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Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4329419A (en) * | 1980-09-03 | 1982-05-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymeric heat resistant photopolymerizable composition for semiconductors and capacitors |
| JPH0673003A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-15 | Toshiba Corp | ビスマレイミド化合物及び感光性樹脂組成物 |
| JP3361624B2 (ja) * | 1994-08-17 | 2003-01-07 | 富士フイルムアーチ株式会社 | ポジ型感光性組成物 |
| US5925498A (en) * | 1997-06-16 | 1999-07-20 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Photosensitive polymer composition and element containing photosensitive polyamide and mixture of acrylates |
| JP5128574B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2013-01-23 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| JP4462679B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2010-05-12 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | シリコン系カップリング剤及びその用途 |
| JP2001272777A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | 感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターンの製造法並びに電子部品 |
| JP2002099084A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toshiba Chem Corp | 感光性樹脂組成物およびその製造方法 |
| JP4687938B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2011-05-25 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 |
| JP3809998B2 (ja) * | 2001-10-15 | 2006-08-16 | サンクス株式会社 | ガルバノスキャニング式レーザマーキング装置及びその投影像投射方法。 |
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| JP4918313B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2012-04-18 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| WO2009054487A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | ポリイミド前駆体及びポリイミド前駆体を含む感光性樹脂組成物 |
| JP2009251451A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及び感光性エレメント |
| JP5446203B2 (ja) * | 2008-10-15 | 2014-03-19 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | 感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品 |
| JP5571990B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-08-13 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターン形成・製造方法、並びに半導体装置 |
| JP5549841B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-07-16 | 日立化成株式会社 | 感光性樹脂組成物、永久レジスト用感光性フィルム、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及びその製造方法、表面保護膜並びに層間絶縁膜 |
| TWI440656B (zh) * | 2009-11-16 | 2014-06-11 | Asahi Kasei E Materials Corp | A polyimide precursor and a photosensitive resin composition comprising the polyimide precursor |
| JP2011204515A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toray Ind Inc | 感光性導電ペーストおよび導電パターンの製造方法 |
| KR20120021488A (ko) * | 2010-08-03 | 2012-03-09 | 주식회사 동진쎄미켐 | 네가티브 감광성 수지 조성물 |
| TWI430024B (zh) * | 2010-08-05 | 2014-03-11 | 旭化成電子材料股份有限公司 | A photosensitive resin composition, a method for manufacturing a hardened bump pattern, and a semiconductor device |
| JP5740915B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2015-07-01 | 東レ株式会社 | フィルム積層体 |
| JP2013114238A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-10 | Toray Ind Inc | ポジ型感光性組成物、そのポジ型感光性組成物から形成された硬化膜、およびその硬化膜を有する素子。 |
| JP2013117669A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板 |
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| WO2013168675A1 (ja) * | 2012-05-07 | 2013-11-14 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法、及び半導体装置 |
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