JP2017112363A - 垂直型メモリ素子 - Google Patents
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Abstract
Description
102 パッド絶縁膜
104、104a、104b、104c、104d、104e、104f、104g、104h 犠牲膜
106、106a、106b、106c、106d、106e、106f、106g、106h、106i 絶縁膜
107 モールド構造物
107a、107b、107c、230 予備階段型モールド構造物
110a 第1フォトレジストパターン
110b 第2フォトレジストパターン
110c、210a 第3フォトレジストパターン
112a 段差部
112b、212a 非段差部
116、116a、116b、116c、116d、116e、116f、116g、116h、116i ゲートライン
118、118a、118b、118c、118d、118e、118f、118g、118h 延長ゲートライン
119a、119b SSL
121、121a、121b、121c、221、221a 第1予備パッド部
122、122a、122b、122c、222、222a 第2予備パッド部
123、123a、123b、223、223a 第3予備パッド部
124、124a、124b、224 第4予備パッド部
125、125a、225 第5予備パッド部
126、126a、226 第6予備パッド部
127、127a、227 第7予備パッド部
128、128a、228 第8予備パッド部
130、232 層間絶縁膜
131 チャンネルホール
132、180 垂直チャンネル構造物
134 開口部
141、241 第1パッド領域
142、242 第2パッド領域
143、243 第3パッド領域
144、244 第4パッド領域
145、245 第5パッド領域
146、246 第6パッド領域
147、247 第7パッド領域
148、248 第8パッド領域
150、250 ゲートライン構造物
152、252 第1階段パターン構造物
154、254 第2階段パターン構造物
156、258 ゲート構造物
160a、260a 第1コンタクトプラグ
160b、260b 第2コンタクトプラグ
170 半導体パターン
172、174a チャンネル
172a、174 構造物
176 埋め込み絶縁パターン
178 パッドパターン
180a 第1構造物
180b 連結部品
180c 第2構造物
202 共通ソースライン
204 ビットライン
210b 第4フォトレジストパターン
212b 第1段差部
212c 第2段差部
229 第9予備パッド部
249 第9パッド領域
256 第3階段パターン構造物
260c 第3コンタクトプラグ
Claims (25)
- 基板の上面に対して垂直な第1方向に沿って互いに離隔して前記基板上に積層されて前記基板の上面に対して水平な第2方向に延長された複数のゲートラインを含むゲートライン構造物と、
前記複数のゲートラインを前記第1方向に貫通する垂直チャンネル構造物と、
前記複数のゲートラインの各々の端部から前記第2方向にそれぞれ延長された複数の延長ゲートラインと、
複数の第1階段層を含む第1階段パターン構造物と、
前記第1階段パターン構造物の一側壁に接触して複数の第2階段層を含む第2階段パターン構造物と、を備え、
前記複数の第1階段層は、前記基板の上面から順に第n−1層の延長ゲートラインと第n層の延長ゲートライン(nは、2以上の偶数)とを含み、
前記複数の第2階段層は、前記基板の上面から順に第n−1層の延長ゲートラインと第n層の延長ゲートラインとを含み、前記第n層の延長ゲートラインが前記第2方向の端部にリセス部を含み、前記第n−1層の延長ゲートラインが前記第n−1層の延長ゲートラインの直上に位置する前記第n層の延長ゲートラインのリセス部によって露出される露出部を含み、
前記第2階段パターン構造物の前記第n−1層の延長ゲートラインの前記露出部の面積は、各層別にそれぞれ異なることを特徴とする垂直型メモリ素子。 - 前記第n−1層の延長ゲートラインの露出部は、前記第1方向に沿って上部層から下部層に行くほど前記第2方向に直交する第3方向の幅が増加することを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記ゲートライン構造物は、前記第2方向に直交する第3方向に第1幅を有し、前記第1階段パターン構造物と第2階段パターン構造物との前記第3方向の幅の和は前記第1幅と同一であることを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第n−1層の延長ゲートラインの露出部の面積は、前記第1方向に沿って上部層から下部層に行くほど増加することを特徴とする請求項3に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第n−1層の延長ゲートラインの露出部は、丸みを帯びたコーナー部を有し、前記丸みを帯びたコーナー部は、前記第1階段パターン構造物と第2階段パターン構造物との間の境界に接し、前記第n−1層の延長ゲートラインの各々の露出部の端部と第2方向に離隔する部位に位置することを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第n−1層の延長ゲートラインの露出部の丸みを帯びたコーナー部に隣接する前記第1階段層の側壁は、屈曲した形状を有することを特徴とする請求項5に記載の垂直型メモリ素子。
- 複数の絶縁膜をさらに含み、前記複数の絶縁膜の各々は、前記第1方向に隣接する第1のゲートラインと第2のゲートラインとの間、及び前記第1方向に隣接する第1の延長ゲートラインと第2の延長ゲートラインとの間に形成されることを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記ゲートライン構造物と前記第1及び第2階段パターン構造物とが一体に備えられて1つのゲート構造物を成し、前記ゲート構造物は、前記第2方向に直交する第3方向に離隔して複数個が備えられることを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記複数個のゲート構造物の前記第3方向に隣接する第1ゲート構造物と第2ゲート構造物との間には、前記第2方向に延長される開口部が含まれることを特徴とする請求項8に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第1ゲート構造物と第2ゲート構造物とは、前記開口部に対して対称であることを特徴とする請求項9に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第n−1層の延長ゲートラインは、前記第1方向に沿って上部層から下部層に行くほど前記開口部に接するコーナー部から前記第3方向への幅が徐々に増加することを特徴とする請求項9に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記ゲートライン構造物と前記第1及び第2階段パターン構造物とを覆う層間絶縁膜がさらに含まれることを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第1階段パターン構造物の第n層の延長ゲートラインに接触する第1コンタクトプラグ及び前記第2階段パターン構造物の第n−1層の延長ゲートラインに接触する第2コンタクトプラグを含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第1階段パターン構造物の第n層の延長ゲートラインには、第1パッド領域が含まれ、
前記第2階段パターン構造物の第n−1層の延長ゲートラインには、第2パッド領域が含まれ、
前記第1及び第2パッド領域は、前記第2方向に直交する第3方向に配置されることを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。 - 前記ゲートラインは、前記基板の上面から前記第1方向に沿って順次に積層されたグラウンド選択ライン(Ground Selection Line:GSL)、ワードライン、及びストリング選択ライン(String Selection Line:SSL)を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記ゲートラインは、前記基板の上面から前記第1方向に沿って順に積層されたグラウンド選択ライン及びワードラインを含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直型メモリ素子。
- 基板の上面に対して垂直な第1方向に沿って互いに離隔して前記基板上に積層されて前記基板の上面に対して水平な第2方向に延長された複数のゲートラインを含むゲートライン構造物と、
前記複数のゲートラインを前記第1方向に貫通する垂直チャンネル構造物と、
前記複数のゲートラインの各々の端部から前記第2方向にそれぞれ延長された複数の延長ゲートラインを含む第1階段パターン構造物と、
前記第1階段パターン構造物の一側壁に直接接触して前記複数のゲートラインの各々の端部から前記第2方向にそれぞれ延長された複数の延長ゲートラインを含む第2階段パターン構造物と、を備え、
前記第1階段パターン構造物は、前記複数の延長ゲートラインを含む複数の第1階段層を含み、前記複数の第1階段層の各々が前記第2方向の端部に第n層の延長ゲートライン(nは、2以上の数)の上部を含む第1パッド領域を含み、
前記第2階段パターン構造物は、前記複数の延長ゲートラインを含む複数の第2階段層を含み、前記複数の第2階段層の各々が前記第2方向の端部に第n−1層の延長ゲートラインの上部を含む第2パッド領域を含み、
前記第2パッド領域は、前記第1階段パターン構造物と第2階段パターン構造物とが接する頂点部位に丸みを帯びたコーナーを有し、前記丸みを帯びたコーナーが前記第2パッド領域の縁部から第2方向に離隔することを特徴とする垂直型メモリ素子。 - 前記第2パッド領域の丸みを帯びたコーナーに隣接する前記第1階段パターン構造物の側壁は、丸みを帯びた形状を有することを特徴とする請求項17に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第2パッド領域の面積は、各層別にそれぞれ異なることを特徴とする請求項17に記載の垂直型メモリ素子。
- 基板上に複数のゲートライン及び複数の階段層を備え、
前記複数のゲートラインは、前記基板の上面に対して垂直な第1方向に沿って前記基板上に積層されて各ゲートラインが前記基板の上面に対して水平な第2方向に延長され、
前記複数の階段層は、各階段層が前記基板上に積層されて第1の延長ゲートライン及び第2の延長ゲートラインを含み、
前記第1の延長ゲートライン及び第2の延長ゲートラインは、前記ゲートラインの縁部から延長され、
前記第2の延長ゲートラインは、リセス部を含み、前記リセス部が前記第2の延長ゲートラインの一部位で前記第2方向に直交する第3方向に延長されて前記第2の延長ゲートラインの直下の前記第1の延長ゲートラインのパッド領域を露出させ、
第1群の第1の延長ゲートラインは、前記基板と第2群の第1の延長ゲートラインとの間に位置し、前記第1群の第1の延長ゲートラインの第1パッド領域が前記第3方向に第1幅を有する端部を含み、前記第2群の第1の延長ゲートラインの第2パッド領域が前記第3方向に前記第1幅より小さな第2幅を有する端部を含むことを特徴とする垂直型メモリ素子。 - 前記第1群の第1の延長ゲートラインの第1パッド領域は、第1面積を有し、
前記第2群の第1の延長ゲートラインの第2パッド領域は、前記第1面積より小さな第2面積を有することを特徴とする請求項20に記載の垂直型メモリ素子。 - 前記第1群の第1の延長ゲートラインと前記第2群の第1の延長ゲートラインとの間に第3群の延長ゲートラインが備えられ、
前記第3群の第1の延長ゲートラインの第3パッド領域は、前記第3方向に第3幅を有する端部を含み、前記第3幅が前記第1幅よりも小さく前記第2幅よりも大きいことを特徴とする請求項20に記載の垂直型メモリ素子。 - 前記第2の延長ゲートラインのリセス部は、前記第2の延長ゲートラインのリセス部の各々の側壁部位の間に丸みを帯びたコーナーを有することを特徴とする請求項20に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記第1パッド領域は、前記複数のゲートライン側に徐々に狭くなる第3方向の幅を有することを特徴とする請求項20に記載の垂直型メモリ素子。
- 前記複数のゲートラインは、複数の第1のゲートラインを含み、前記複数の階段層が第1の延長ゲートラインと第1リセス部を含む第2の延長ゲートラインとをそれぞれ含む複数の第1階段層を含み、
前記垂直型メモリ素子は、
基板上に前記第2方向に延長された複数の第2のゲートライン及び複数の第2階段層を備え、
前記複数の第2階段層は、各第2階段層が基板上に積層されて第3の延長ゲートライン及び第4の延長ゲートラインを含み、
前記第3の延長ゲートライン及び第4の延長ゲートラインは、前記第2のゲートラインの縁部から延長され、
前記第4の延長ゲートラインは、第2リセス部を含み、前記第2リセス部が前記第3の延長ゲートラインの一部位で前記第3方向に延長されて前記第4の延長ゲートラインの直下の前記第3の延長ゲートラインのパッド領域を露出させ、
前記第2の延長ゲートラインの1つ及び前記第4の延長ゲートラインの1つは、同一平面上に位置し、前記第2の延長ゲートラインの第1リセス部が前記複数の第1階段層と複数の第2階段層との間の延長された軸に対して前記第4の延長ゲートラインの第2リセス部のミラーイメージを有することを特徴とする請求項20に記載の垂直型メモリ素子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI694588B (zh) * | 2019-02-26 | 2020-05-21 | 大陸商長江存儲科技有限責任公司 | 三維記憶體元件及其製作方法 |
US10991712B2 (en) | 2018-05-14 | 2021-04-27 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2021523577A (ja) * | 2018-05-18 | 2021-09-02 | 長江存儲科技有限責任公司Yangtze Memory Technologies Co.,Ltd. | 3次元メモリデバイスにおける階段の形成 |
JP2022508779A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-01-19 | 長江存儲科技有限責任公司 | 三次元メモリデバイスの多分割階段構造を形成するための方法、及び三次元メモリデバイス |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102509899B1 (ko) * | 2016-01-14 | 2023-03-14 | 삼성전자주식회사 | 수직형 메모리 소자 및 그 형성 방법 |
JP2018049966A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR102342552B1 (ko) * | 2017-03-09 | 2021-12-23 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 소자 및 그 형성방법 |
US10504901B2 (en) * | 2017-04-26 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method and device manufactured using the same |
JP2019009382A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置 |
KR102424875B1 (ko) * | 2017-07-03 | 2022-07-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 |
KR102628007B1 (ko) | 2018-05-09 | 2024-01-22 | 삼성전자주식회사 | 수직형 메모리 장치 |
KR102618492B1 (ko) * | 2018-05-18 | 2023-12-28 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 소자 |
KR102466008B1 (ko) * | 2018-05-23 | 2022-11-10 | 삼성전자주식회사 | 수직형 반도체 소자 및 이의 제조 방법 |
CN108493192B (zh) * | 2018-06-04 | 2024-04-02 | 长江存储科技有限责任公司 | 三维存储器及其制造方法 |
KR102619626B1 (ko) * | 2018-06-12 | 2023-12-29 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 메모리 소자 |
KR102624633B1 (ko) * | 2018-08-09 | 2024-01-12 | 삼성전자주식회사 | 수직형 메모리 장치 |
WO2020029216A1 (en) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Multi-division 3d nand memory device |
KR102635666B1 (ko) * | 2018-08-16 | 2024-02-14 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
CN111244610B (zh) * | 2018-11-29 | 2024-05-24 | 三星电机株式会社 | 天线装置 |
US11005184B2 (en) | 2018-11-29 | 2021-05-11 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Antenna apparatus |
WO2020118575A1 (en) | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Contact structures for three-dimensional memory device |
JP7048479B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-04-05 | 本田技研工業株式会社 | 輸送機器およびセンサブラケット |
CN109742077B (zh) * | 2019-01-02 | 2020-08-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 三维存储器及其制造方法 |
KR20200088680A (ko) | 2019-01-15 | 2020-07-23 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
CN111492480B (zh) * | 2020-03-23 | 2021-07-09 | 长江存储科技有限责任公司 | 在三维存储器件中的阶梯结构及用于形成其的方法 |
CN111566813B (zh) * | 2020-03-23 | 2021-05-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 在三维存储器件中的阶梯结构及用于形成其的方法 |
US11744080B2 (en) * | 2020-07-23 | 2023-08-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Three-dimensional memory device with word lines extending through sub-arrays, semiconductor device including the same and method for manufacturing the same |
CN112054028B (zh) * | 2020-08-11 | 2023-11-07 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种三维存储器结构及其制作方法和三维存储器件 |
KR20220113048A (ko) * | 2021-02-05 | 2022-08-12 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
US20220278051A1 (en) * | 2021-02-26 | 2022-09-01 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming microelectronic devices, and related microelectronic devices, memory devices, and electronic systems |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013004690A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Toshiba Corp | 三次元半導体装置及びその製造方法 |
JP2014138188A (ja) * | 2013-01-17 | 2014-07-28 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直型半導体素子のパッド構造物及び配線構造物 |
JP2015079950A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-04-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101324756B1 (ko) * | 2005-10-18 | 2013-11-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시장치 및 그의 구동방법 |
KR101434588B1 (ko) * | 2008-06-11 | 2014-08-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
KR101044019B1 (ko) | 2009-06-30 | 2011-06-24 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR20110015338A (ko) | 2009-08-07 | 2011-02-15 | 주식회사 하이닉스반도체 | 수직채널형 비휘발성 메모리 소자 제조 방법 |
KR101549690B1 (ko) * | 2009-12-18 | 2015-09-14 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
WO2011081438A2 (ko) | 2009-12-31 | 2011-07-07 | 한양대학교 산학협력단 | 3차원 구조를 가지는 메모리 및 이의 제조방법 |
JP2011187794A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR101624978B1 (ko) * | 2010-05-18 | 2016-05-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
KR101778287B1 (ko) | 2010-08-30 | 2017-09-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US8530350B2 (en) | 2011-06-02 | 2013-09-10 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses including stair-step structures and methods of forming the same |
US8933502B2 (en) | 2011-11-21 | 2015-01-13 | Sandisk Technologies Inc. | 3D non-volatile memory with metal silicide interconnect |
KR20130072522A (ko) | 2011-12-22 | 2013-07-02 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 3차원 불휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
KR20140008622A (ko) * | 2012-07-10 | 2014-01-22 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
JP2014053447A (ja) | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR101986245B1 (ko) * | 2013-01-17 | 2019-09-30 | 삼성전자주식회사 | 수직형 반도체 소자의 제조 방법 |
KR102045249B1 (ko) | 2013-01-18 | 2019-11-15 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 소자의 배선 구조물 |
JP2014183225A (ja) | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR102128469B1 (ko) | 2013-11-08 | 2020-06-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 |
KR20150057147A (ko) | 2013-11-18 | 2015-05-28 | 삼성전자주식회사 | 메모리 장치 |
KR102161814B1 (ko) | 2013-11-19 | 2020-10-06 | 삼성전자주식회사 | 수직형 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
WO2015166754A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
-
2015
- 2015-12-17 KR KR1020150180715A patent/KR102508897B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-09-02 US US15/256,226 patent/US20170179025A1/en not_active Abandoned
- 2016-11-23 CN CN201611067114.3A patent/CN106910742B/zh active Active
- 2016-11-28 JP JP2016230557A patent/JP6932495B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-16 US US16/850,391 patent/US10840183B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013004690A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Toshiba Corp | 三次元半導体装置及びその製造方法 |
JP2014138188A (ja) * | 2013-01-17 | 2014-07-28 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直型半導体素子のパッド構造物及び配線構造物 |
JP2015079950A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-04-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10991712B2 (en) | 2018-05-14 | 2021-04-27 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2021523577A (ja) * | 2018-05-18 | 2021-09-02 | 長江存儲科技有限責任公司Yangtze Memory Technologies Co.,Ltd. | 3次元メモリデバイスにおける階段の形成 |
JP7089067B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-06-21 | 長江存儲科技有限責任公司 | 3次元メモリデバイスおよびその形成方法 |
US11997851B2 (en) | 2018-05-18 | 2024-05-28 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Staircase formation in three-dimensional memory device |
JP2022508779A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-01-19 | 長江存儲科技有限責任公司 | 三次元メモリデバイスの多分割階段構造を形成するための方法、及び三次元メモリデバイス |
JP7246500B2 (ja) | 2018-10-18 | 2023-03-27 | 長江存儲科技有限責任公司 | 三次元メモリデバイスの多分割階段構造を形成するための方法 |
TWI694588B (zh) * | 2019-02-26 | 2020-05-21 | 大陸商長江存儲科技有限責任公司 | 三維記憶體元件及其製作方法 |
US11069705B2 (en) | 2019-02-26 | 2021-07-20 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Three-dimensional memory devices and fabricating methods thereof |
JP2022508286A (ja) * | 2019-02-26 | 2022-01-19 | 長江存儲科技有限責任公司 | 3次元メモリデバイスおよびその製作方法 |
JP7230204B2 (ja) | 2019-02-26 | 2023-02-28 | 長江存儲科技有限責任公司 | 3次元メモリデバイスおよびその製作方法 |
US11974431B2 (en) | 2019-02-26 | 2024-04-30 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Three-dimensional memory devices and fabricating methods thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102508897B1 (ko) | 2023-03-10 |
CN106910742B (zh) | 2021-12-14 |
CN106910742A (zh) | 2017-06-30 |
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