JP2017008374A - ずれ量の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な構成で、膜厚分布の偏りを効果的に抑制することができるずれ量の測定方法の提供。【解決手段】上部に複数の電極51a〜51dが周方向及び径方向の少なくとも一方に等間隔で設けられた基台51とこの基台上面を覆う誘電体52とを備える静電チャック5にて、互いに隣接する電極に極性の異なる電位が印加されるように対をなす電極間毎に直流電圧を印加して誘電体52表面で基板Wを静電吸着する際に、対をなす電極間毎に交流電圧を印加し、電極51a〜51dと基板Wとの間の静電容量を測定し、この測定した静電容量の変化量から基台51上面に対する基板Wの相対的な位置ずれ量を測定するずれ量の測定方法。【選択図】図1
Description
本発明は、静電チャックの基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定するずれ量の測定方法に関する。
半導体デバイスの製造工程において、基板に対して成膜処理やエッチング処理などの各種処理が行われる。このような処理を行う処理装置では、真空処理室内で基板を位置決め保持するために、静電チャックが広く用いられる。静電チャックとしては、上部に複数の電極が設けられた基台とこの基体の上面を覆う誘電体とを備えるものが、例えば特許文献1で知られている。このものでは、互いに隣接する電極に極性の異なる電位が印加されるように対をなす電極間毎に直流電圧を印加して誘電体表面で基板を静電吸着している。
ところで、静電吸着される基板の中心位置が基台の中心と重なるように、基板は位置決め保持されることが一般であるが、何らかの原因により、基板の中心位置が基台の中心から大きくずれることがある。この場合、スパッタリング法を用いた成膜を行う場合を例に説明すると、基板に膜厚や膜質の面内分布よく成膜することができなくなる。このため、成膜に先立って、基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定することが望まれている。
本願発明者らは鋭意研究を重ね、基台の上面、ひいては複数の電極に対して基板が径方向または周方向にずれていると、基板と電極との間の静電容量が変化し、このとき、静電容量とずれ量との間には相関があることを知見するのに至った。
本発明は、上記知見に基づき、基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定することが可能なずれ量の測定方法を提供することをその課題とするものである。
上記課題を解決するために、上部に複数の電極が周方向及び径方向の少なくとも一方に等間隔で設けられた基台とこの基台上面を覆う誘電体とを備える静電チャックにて、互いに隣接する電極に極性の異なる電位が印加されるように対をなす電極間毎に直流電圧を印加して誘電体表面で基板を静電吸着する際に、基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定する本発明のずれ量の測定方法は、対をなす電極間毎に交流電圧を印加し、電極と基板との間の静電容量を測定し、この測定した静電容量の変化量から基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定することを特徴とする。本発明において、基板を静電吸着する際とは、直流電圧を印加して誘電体表面に基板を静電吸着している状態と、直流電圧を印加する前の誘電体表面に基板を載置している状態とを含むものとする。
本発明によれば、対をなす電極間毎に交流電圧を印加したときの電極と基板との間の静電容量の変化量を求めることで、基台の上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定することができる。
本発明において、前記複数の電極の中から選択される一対の電極毎に交流電圧を印加して静電容量を測定する工程を繰り返して基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ方向を推定することが好ましい。
本発明において、前記複数の電極に直流電圧を印加した状態で交流電力を重畳させて印加することが好ましい。これによれば、誘電体表面に基板を静電吸着した状態で静電容量を測定するため、基板の反りを可及的に抑制した状態で静電容量を測定することができ、位置ずれ量をより精度よく測定することができる。
図1は、本発明の実施形態のずれ量の測定方法を実施するマグネトロンスパッタリング装置SMを示す。マグネトロンスパッタリング装置SMは、処理室1aを画成する真空チャンバ1を備える。以下においては、図1を基準とし、真空チャンバ1の天井部側を「上」、その底部側を「下」として説明する。
真空チャンバ1の底部には排気口11が設けられ、この排気口11は排気管12を介してターボ分子ポンプやロータリーポンプなどからなる真空ポンプPが接続され、処理室1aを所定圧力(例えば1×10−5Pa)まで真空引きできるようにしている。真空チャンバ1の側壁にはガス導入口13が設けられ、このガス導入口13には、図示省略のガス源に連通し、マスフローコントローラ14が介設されたガス管15が接続され、Arなどの希ガスからなるスパッタガスを処理室1a内に所定流量で導入できるようになっている。
真空チャンバ1の天井部には、カソードユニットCが着脱自在に設けられている。カソードユニットCは、真空チャンバ1内(処理室1a)を臨むように設置されるターゲット2と、ターゲット2のスパッタ面2aと背向する上面にインジウムやスズ等のボンディング材を介して接合されるバッキングプレート3と、ターゲット2の上側に配置されてスパッタ面2a側に漏洩磁場を発生させる磁石ユニット4とを有する。ターゲット2は、成膜しようとする薄膜の組成に応じて適宜選択される例えばアルミナ(Al2O3)等の絶縁物や銅等の金属製であり、公知の方法を用いて例えば平面視円形に作製されている。ターゲット2にはスパッタ電源Eの出力が接続され、スパッタ電源Eとしては、高周波電源や直流電源を用いることができる。バッキングプレート3は、熱伝導の良いCu等の金属製であり、絶縁部材I1を介して真空チャンバ1の上壁に取り付けられている。バッキングプレート3の内部に図示省略の冷媒循環通路が形成され、図外のチラーから冷媒循環通路に冷媒を供給することで、成膜中、ターゲット2を冷却できるようになっている。磁石ユニット4は、ヨーク41と、ヨーク41の下面に環状に列設した同磁化の複数個の第1磁石42と、第1磁石42の周囲を囲うように環状に列設した第1磁石42と同磁化の複数個の第2磁石43とを有する。ヨーク41の上面には、駆動源44の駆動軸44aが接続され、ターゲット2をスパッタリングして成膜する間、ターゲット2中心を回転中心として磁石ユニット4を回転駆動できるようになっている。
真空チャンバ1の底部には、ターゲット2と対向させて基板ステージ5たる静電チャックが絶縁部材I2を介して配置されている。静電チャック5は、基台51と基台51上面を覆う誘電体52とを備える。図2も参照して、基台51の上部には、複数(図2では4個)の電極51a〜51dが周方向に等間隔で設けられている。尚、基台51に設けられる複数の電極は、周方向及び径方向の少なくとも一方に等間隔で設けられていればよい。誘電体52は、例えば、公知のシリコンラバー等で構成することができる。そして、互いに隣接する電極に極性の異なる電位が印加されるように対をなす電極間毎に直流電源53から直流電圧を印加する。これにより、誘電体52表面で基板Wがその成膜面を上にして静電吸着される。
ところで、何らかの原因により、基板Wが基台51上面に対して相対的に大きく位置ずれを起こすことがある。図2において、W1は適正な位置の基板を示し、W2は図中の左方向にdだけ位置ずれを起こした基板を示す。このように基板Wが位置ずれを起こした状態で成膜処理を行うと、基板Wに膜厚や膜質の面内分布よく成膜することができなくなる虞がある。
そこで、上記マグネトロンスパッタリング装置SMは、上記対をなす電極間毎に直流電圧を印加した状態で交流電圧を夫々重畳させて印加する交流電源54と、電極51a〜51dと基板Wとの間の静電容量を測定する容量計55と、複数の電極51a〜51dの中から直流電圧及び交流電圧を印加する電極を選択する切換手段56とを更に備え、後述するように基板Wのずれ量を測定できるようになっている。上記マグネトロンスパッタリング装置SMは、公知のマイクロコンピュータやシーケンサ等を備えた制御手段Cuを有し、マスフローコントローラ14の稼働、真空排気手段Pの稼働、駆動源44の駆動、スパッタ電源Eの稼働、チラーの稼働のほか、直流電源53、交流電源54、容量計55及び切換手段56等を統括制御するようにしている。制御手段Cuは、詳細は後述するが、容量計55により測定した静電容量の変化量から基台51上面に対する基板Wの相対的な位置ずれ量を測定する。以下、上記スパッタリング装置SMを用いた本発明の実施形態のずれ量の測定方法について説明する。
真空チャンバ1内を所定の真空度(例えば、1×10−5Pa)まで真空引きし、図外の搬送ロボットにより真空チャンバ1内に基板Wを搬送し、基板ステージ5の絶縁体52上に基板Wを受け渡す。そして、電極51a〜51dに対して、互いに隣接する電極に極性の異なる電位が印加されるように対をなす電極間毎に直流電源53から直流電圧を印加する。このとき、例えば、電極51a,51cがプラス電位、電極51b,51dがマイナス電位となるように直流電圧を印加することにより、誘電体52表面に基板Wが静電吸着される。
本実施形態では、上記直流電圧を印加した状態で、上記対をなす電極間毎に交流電源54から交流電圧を夫々重畳させて印加し、容量計55により電極51a〜51dと基板Wとの間の静電容量を測定する。
ここで、図2に示すように、基台51の上面、ひいては複数の電極51a〜51dに対して基板W2が径方向または周方向にずれていると、電極間の隙間Sの上方に基板W2が存しない部分が存するため、基板W2と電極51a〜51dとの間の静電容量が変化し(小さくなり)、このとき、静電容量とずれ量との間には相関がある。従って、静電容量とずれ量との相関関係(検量線や計算式)を予め実験等により求めておくことで、容量計55により測定した静電容量の変化量から基板Wのずれ量dを求めることができる。
このように求めた基板Wのずれ量dが所定の基準値未満の場合、成膜処理を行う。具体的には、真空チャンバ1内にスパッタガスたるアルゴンガスを所定流量(例えば、150sccm)で導入し、スパッタ電源Eからターゲット2に高周波電力(例えば、13.56MHz、4kW)を投入して真空チャンバ1内にプラズマを形成する。これにより、ターゲット2のスパッタ面2aがスパッタされ、飛散したスパッタ粒子を基板Wの表面に付着、堆積させ、膜厚や膜質の面内分布よくアルミナ膜が成膜される。
一方、上記求めた基板Wのずれ量dが所定の基準値以上の場合には、膜厚や膜質の面内分布が悪化する虞があるため、成膜処理を行わず、基板ステージ5への基板Wの搬送をやり直すことが好ましい。このとき、位置ずれ方向を予め推定できれば、搬送ロボットの搬送位置を簡単に修正できるため、真空チャンバ1を大気開放して搬送位置を調整する必要がなく有利である。位置ずれ方向は、以下の方法で推定することができる。
複数の電極51a〜51dの中から切換手段56により選択される一対の電極毎に交流電圧を重畳させて印加して容量計55により静電容量を測定する工程を繰り返す。例えば、最初に電極51a,51bに交流電圧を重畳させて静電容量を測定し、次に電極51b,51cに交流電圧を重畳させて静電容量を測定し、次に電極51c,51dに交流電圧を重畳させて静電容量を測定し、最後に電極51d,51aに交流電圧を重畳させて静電容量を測定する。測定値から基板Wの位置ずれ方向を推定することができる。このとき、位置ずれ方向を変えて静電容量を予め測定しておけば、精度よく位置ずれ方向を推定することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。上記実施形態では、直流電圧を印加した状態で交流電圧を重畳させて印加して静電容量の測定を行う場合を例に説明したが、誘電体52表面に基板Wを載置した状態で交流電圧のみを印加して静電容量の測定を行ってもよい。この場合も、静電容量とずれ量との相関関係を求めておくことで、静電容量の変化量から基板Wのずれ量dを求めることができる。ここで、直流電圧を印加しないと、基板Wは静電吸着されていないため、測定した静電容量には基板Wの反り等による誤差を含むこととなる。このため、上記実施形態の如く直流電圧を印加した状態で交流電圧を重畳させて印加することにより、基板の反りを可及的に抑制した状態で静電容量を測定することができるため、位置ずれ量をより精度よく測定することができる。また、基板Wの反りを含めた形状を公知のレーザ変位センサ等で測定し、その測定値から基板Wと誘電体52との間の隙間を求め、隙間に応じた静電容量の変化量ひいてはずれ量dの変化量を予め測定しておくことで、基板Wと誘電体52の間に基板Wの反り等に起因した隙間があったとしても、ずれ量dを補正することが可能となる。ここで、基板Wは主として凹状又は凸状に反ることから、例えばφ300mmの基板Wの場合、基板の中心Oにて直交する2方向における+140mm、+75mm、0mm(中心)、−75mm、−140mmの計9点での変位を上記レーザ変位センサにより測定し、測定した変位から基板Wと誘電体52との間の隙間量(及びその平均値)を求めることができ、各隙間量に応じて静電容量の変化量を適宜補正すればよい。
また、上記実施形態では、基台51上部に4個の電極51a〜51dを周方向に等間隔で設ける場合を例に説明したが、少なくとも1対(2個)の電極が基台51に設けられていれば、本発明を適用することができ、位置ずれ量を求めることができる。例えば、図3に示すように、基台51に8個の電極51a1〜51h1を周方向に等間隔で設けてもよく、これらの電極51a1〜51h1の径方向外側に間隔Sを存して更に8個の電極51a2〜51h2を設けてもよい。この場合、隙間Sが基台51の外周部(例えば、基台51のエッジから1.5〜15mmの位置)に存するように電極51a1〜51h1,51a2〜52h2を設けることが好ましい。これによれば、間隔Sに基板W2のエッジがかかったときに静電容量の変化が大きくなり、基板W2の位置ずれ量dを精度よく測定することができる。
次に、上記効果を確認するために、上記マグネトロンスパッタリング装置SMを用いて次の実験を行った。本実験では、基板Wとしてφ300mmのシリコン基板を用い、基板Wと同一面積を有する基台51に基板Wを搬送して直流電圧を2kV印加して静電吸着させ、3kHzの交流電圧を10V重畳して印加して静電容量を測定した。この静電容量の測定を基台51上面に対して基板Wを一方向(図2、3中、左方向)にずらしながら行った。その測定結果を図4に示す。図4には、図2に示すように電極51a〜51dが設けられた基台51を用いた場合の測定結果を「発明1」として示すと共に、図3に示すように電極51a1〜51h1,51a2〜51h2が設けられた基台51を用いた場合の測定結果を「発明2」として示している。いずれの場合も、基台51上面に対する基板Wのずれ量dと、静電容量との間に相関があることが確認された。これにより、静電容量の変化量を測定すれば、基板Wのずれ量を求めることができることが判った。また、発明1と比較して発明2の方が、位置ずれ量dが15〜30mmのときの変化量が大きいことが確認された。これは、基台51のエッジから13mmの位置に設けられた幅2mmの隙間Sに基板Wのエッジがかかることによるものである。これによれば、発生する可能性のある基板Wの位置ずれ量dに応じて電極及びその隙間の位置を設計すれば、位置ずれ量を精度よく測定できることが判った。また、図示は省略するが、直流電圧を印加せず、交流電圧のみを印加して静電容量を測定したところ、基板Wのずれ量dと静電容量との間に相関があることが確認され、この場合も静電容量の変化量を測定すれば、基板Wのずれ量を求められることが判った。
5…基板ステージ(静電チャック)、51…基台、51a〜51d,51a1〜51h1,51a2〜51h2…電極、52…誘電体。
Claims (3)
- 上部に複数の電極が周方向及び径方向の少なくとも一方に等間隔で設けられた基台とこの基台上面を覆う誘電体とを備える静電チャックにて、互いに隣接する電極に極性の異なる電位が印加されるように対をなす電極間毎に直流電圧を印加して誘電体表面で基板を静電吸着する際に、基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定するずれ量の測定方法であって、
対をなす電極間毎に交流電圧を印加し、電極と基板との間の静電容量を測定し、この測定した静電容量の変化量から基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ量を測定することを特徴とするずれ量の測定方法。 - 前記複数の電極の中から選択される一対の電極毎に交流電圧を印加して静電容量を測定する工程を繰り返して基台上面に対する基板の相対的な位置ずれ方向を推定することを特徴とする請求項1記載のずれ量の測定方法。
- 前記複数の電極に直流電圧を印加した状態で交流電力を重畳させて印加することを特徴とする請求項1または請求項2記載のずれ量の測定方法。
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