JP2023004037A - 成膜装置、処理条件決定方法及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】マグネトロスパッタリングにより成膜する際の膜厚の面内均一性を向上させる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板支持部14と、ターゲット20を保持するホルダ20aと、マグネットを有するマグネットユニット23と、前記基板支持部14を周期的に移動させる第1移動機構15と、前記マグネットユニット23を前記ホルダ20aに保持された前記ターゲットに対して周期的に移動させる第2移動機構24と、制御部Uとを有し、前記制御部Uは、前記基板支持部14の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、前記マグネットユニット23の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、成膜中に、前記基板支持部14の周期的な移動における位相と前記マグネットユニット23の周期的な移動における位相とが一致しないよう、前記第1移動機構15及び前記第2移動機構24を制御するように構成されている成膜装置。
【選択図】図1
【解決手段】基板支持部14と、ターゲット20を保持するホルダ20aと、マグネットを有するマグネットユニット23と、前記基板支持部14を周期的に移動させる第1移動機構15と、前記マグネットユニット23を前記ホルダ20aに保持された前記ターゲットに対して周期的に移動させる第2移動機構24と、制御部Uとを有し、前記制御部Uは、前記基板支持部14の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、前記マグネットユニット23の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、成膜中に、前記基板支持部14の周期的な移動における位相と前記マグネットユニット23の周期的な移動における位相とが一致しないよう、前記第1移動機構15及び前記第2移動機構24を制御するように構成されている成膜装置。
【選択図】図1
Description
本開示は、成膜装置、処理条件決定方法及び成膜方法に関する。
特許文献1には、ターゲットを支持するためのスパッタリングカソードと、基板を支持するための基板支持ホルダとを有するスパッタリング装置が開示されている。このスパッタリング装置では、基板の被成膜面を含む平面に対する垂線のうち、ターゲットの中心点を通る垂線と、基板の中心点を通る垂線とが不一致となるように、スパッタリングカソード及び基板支持ホルダが設けられており、基板支持ホルダが、基板の被成膜面に対して垂直な回転軸回りに回転可能とされている。また、このスパッタリング装置は、基板の被成膜面へのスパッタ粒子の堆積時間T(秒)における基板支持ホルダの総回転数をXとしたとき、X=N+α
(但し、Nは正の整数である総整数回転数、αは正の純小数である端数回転数。)
となる総整数回転数Nと端数回転数αの値と、堆積時間Tの値を入力することにより、基板支持ホルダの回転速度V(rps)を、
V・T=N+α
を満たすように制御する制御部を有する。
(但し、Nは正の整数である総整数回転数、αは正の純小数である端数回転数。)
となる総整数回転数Nと端数回転数αの値と、堆積時間Tの値を入力することにより、基板支持ホルダの回転速度V(rps)を、
V・T=N+α
を満たすように制御する制御部を有する。
本開示にかかる技術は、マグネトロスパッタリングにより成膜する際の膜厚の面内均一性を向上させる。
本開示の一態様は、マグネトロンスパッタリングにより基板上に成膜する成膜装置であって、基板を支持する基板支持部と、スパッタ粒子を放出するターゲットが前記基板支持部に向くように、前記ターゲットを保持するホルダと、前記ホルダの前記基板支持部とは反対側に設けられ、マグネットを有するマグネットユニットと、前記基板支持部を周期的に移動させる第1移動機構と、前記マグネットユニットを前記ホルダに保持された前記ターゲットに対して周期的に移動させる第2移動機構と、制御部と、を有し、前記制御部は、前記基板支持部の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、前記マグネットユニットの周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、成膜中に、前記基板支持部の周期的な移動における位相と前記マグネットユニットの周期的な移動における位相とが一致しないよう、前記第1移動機構及び前記第2移動機構を制御するように構成されている。
本開示によれば、マグネトロスパッタリングにより成膜する際の膜厚の面内均一性を向上させることができる。
半導体デバイス等の製造プロセスにおいては、半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という)等の基板に対して、金属等の所望の膜を形成する成膜処理が行われる。成膜処理には例えばスパッタリングが用いられる。
スパッタリングにより成膜を行う成膜装置には、例えば、基板を支持する基板支持部と、スパッタ粒子を放出するターゲットが基板支持部に向くように上記ターゲットを正面に保持するカソードと、が設けられる。
ターゲットが基板に対して非平行になるようカソードに保持されている場合等においては、基板支持部が回転可能に構成され、成膜中に基板支持部に支持された基板が回転するように構成されていることがある。スパッタリングにより基板に形成される膜の厚さが基板面内でばらつくのを抑制するため、である。特許文献1では、基板支持ホルダの総回転が、スパッタ粒子の堆積時間及び基板支持ホルダの回転数に基づく所定の値となるようにし、堆積量すなわち膜厚の均一性を確保している。
また、スパッタリングとしてマグネトロンスパッタリングを採用する場合、ターゲット全体を有効利用するために、マグネットを有しターゲットより小型のマグネットユニットを設け、このマグネットユニットがカソードに対して揺動可能または回転可能に構成されていることがある。しかし、かかるマグネトロンスパッタリングの場合、特許文献1のように基板支持部の総回転数を調整するのみでは、膜厚の均一性が十分でないことがある。
そこで、本開示にかかる技術は、マグネトロスパッタリングにより成膜する際の膜厚の面内均一性を向上させる。
以下、本実施形態にかかる成膜装置、処理条件決定方法及び成膜方法を、図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
<成膜装置>
図1は、本実施形態にかかる成膜装置1の構成の概略を示す縦断面図である。図2は、後述のカソードの周辺の構成を説明するための図である。図3は、後述のマグネットユニットの斜視図である。
図1は、本実施形態にかかる成膜装置1の構成の概略を示す縦断面図である。図2は、後述のカソードの周辺の構成を説明するための図である。図3は、後述のマグネットユニットの斜視図である。
図1の成膜装置1は、マグネトロンスパッタリングにより基板上に膜を形成するものであり、具体的には、マグネトロンスパッタリングにより、基板としてのウェハW上に、磁気トンネル接合(MTJ)素子用の膜(例えばTa膜)を形成する。
成膜装置1は、処理容器10を備える。処理容器10は、減圧可能に構成され、ウェハWを収容するものであり、例えばアルミニウムから形成され、接地電位に接続されている。処理容器10の底部には、当該処理容器10内の空間K1を減圧するための排気装置11が接続されている。排気装置11は、真空ポンプ(図示せず)等を有しており、例えば、APCバルブ12を介して処理容器10に接続されている。
また、処理容器10の一方側(図のX方向正側)の側壁には、ウェハWの搬出入口13が形成されており、この搬出入口13には当該搬出入口13を開閉するためのゲートバルブ13aが設けられている。
処理容器10内には、ウェハWを支持する、基板支持部としての載置台14が設けられている。載置台14には、具体的には、ウェハWが、後述のシールド部30によって画成される処理空間K2に面するように、水平に載置される。載置台14は、このように載置されたウェハWを支持する。載置台14は、静電チャック14a、ヒータ14b及びベース部14cを有する。
静電チャック14aは、例えば、誘電体膜と、当該誘電体膜の内層として設けられた電極と、を有し、ベース部14c上に設けられている。静電チャック14aの電極には、直流電源(図示せず)が接続されている。静電チャック14a上に載置されたウェハWは、直流電源からの直流電圧を電極に印加することにより生じる静電吸着力によって、静電チャック14aに吸着保持される。
ヒータ14bは、載置台14に支持されたウェハWを加熱する。ヒータ14bは、載置台14(具体的には静電チャック14a)を加熱することにより、載置台(具体的には静電チャック14a)に支持されたウェハWを加熱する。
ヒータ14bには、例えば抵抗加熱式のヒータを用いることができる。また、ヒータ14bは、例えば静電チャック14aに設けられる。
ヒータ14bには、例えば抵抗加熱式のヒータを用いることができる。また、ヒータ14bは、例えば静電チャック14aに設けられる。
ベース部14cは、例えば、アルミニウムを用いて円板状に形成されている。ヒータ14bの種類等によっては、ヒータ14bをベース部14cに設けてもよい。
なお、載置台14は、当該載置台14に載置されたウェハWを冷却するための冷却機構が設けられていてもよい。
さらに、載置台14は、第1移動機構としての回転・移動機構15に接続されている。回転・移動機構15は、載置台14を周期的に移動させるものであり、本実施形態においては、載置台14を回転移動させる。具体的には、回転・移動機構15は、載置台14の上面の中心を通る当該上面に対して垂直な軸線AXを中心に、載置台14を回転させる。また、回転・移動機構15は、載置台14を上下動させることができる。この回転・移動機構15は、例えば支軸15a及び駆動部15bを有する。
支軸15aは、例えば、処理容器10の底壁を貫通するように、上下方向に延在する。この支軸15aと処理容器10の底壁との間には、封止部材SL1が設けられている。封止部材SL1は、支軸15aが回転及び上下動可能であるように、処理容器10の底壁と支軸15aとの間の空間を封止する部材であり、例えば、磁性流体シールである。支軸15aの上端は、載置台14の下面中央に接続されており、下端は駆動部15bに接続されている。
駆動部15bは、例えばモータ等の駆動源を有し、支軸15aを回転及び上下動させるための駆動力を発生させる。駆動部15bが発生させた駆動力により、支軸15aが軸線AXを中心に回転することに伴って、載置台14が上記軸線AXを中心に回転する。また、駆動部15bが発生させた駆動力により、支軸15aが上下動することに伴って、載置台14が上下動する。
回転・移動機構15による載置台14の単位時間当たりの回転回数(以下、載置台14の回転速度)Vwは、例えば、1分間あたり60~120回(すなわち60rpm~120rpm)とされる。載置台14の回転速度Vwが、60rpm未満では、膜厚分布を均一にするために必要なウェハWの総回転回数が得られない。また、載置台14の回転速度Vwが120rpmより大きくなると、回転・移動機構15の駆動部15b等の負荷が大きくなり、回転・移動機構15の寿命が短くなる。
なお、回転・移動機構15(具体的には駆動部15b)は、後述の制御部Uにより制御される。
載置台14の斜め上方には、スパッタ粒子を放出する例えばTa製のターゲット20を保持する、導電性材料で形成されたホルダ20aが設けられている。ホルダ20aは、処理容器10内にターゲット20が位置するよう当該ターゲット20を保持する。このホルダ20aは、処理容器10の天井部に取り付けられている。処理容器10におけるホルダ20aの取り付け位置には、貫通口が形成されている。また、上記貫通口を囲うように処理容器10の内壁面に絶縁部材10aが設けられている。ホルダ20aは、上記貫通口を塞ぐように、絶縁部材10aを介して処理容器10に取り付けられている。
ホルダ20aは、ターゲット20が載置台14に向くように、当該ターゲット20を正面に保持する。具体的には、ホルダ20aは、ターゲット20が、載置台14に向き且つ載置台14の上面すなわち当該上面に載置されたウェハWの表面に対して傾くように、ターゲット20を保持する。
ターゲット20は、例えば平面視矩形状に形成されている。ターゲット20は、ホルダ20aに保持された状態において、その長軸方向が装置奥行き方向(図1のY方向)に延在している。ターゲット20の装置奥行き方向(図1のY方向)の長さは、例えば成膜対象のウェハWの直径より大きい。成膜対象のウェハWの直径が300mmの場合、ターゲット20の装置奥行き方向(図1のY方向)の長さは例えば400~500mmである。なお、ターゲット20の装置奥行き方向(図1のY方向)と直交する方向(図のX’方向)の長さは、例えば150~200mmである。
また、ホルダ20aには、電源21が接続され、当該電源21から、負の直流電圧が印加される。負の直流電圧に代えて、交流電圧が印加されるようにしてもよい。
さらに、ホルダ20aには、図2に示すように、当該ホルダ20aが保持するターゲット20からのスパッタ粒子によって他の部分が汚染されるのを防ぐこと等を目的として、シールド22が設けられている。シールド22は、例えばホルダ20aが保持するターゲット20の外周を覆うように設けられている。
さらに、ホルダ20aには、図2に示すように、当該ホルダ20aが保持するターゲット20からのスパッタ粒子によって他の部分が汚染されるのを防ぐこと等を目的として、シールド22が設けられている。シールド22は、例えばホルダ20aが保持するターゲット20の外周を覆うように設けられている。
さらに、ホルダ20aの載置台14とは反対側すなわち背面側であって、処理容器10の外側となる位置にマグネットユニット23が設けられている。マグネットユニット23は、ホルダ20aに保持されたターゲット20の正面側に漏洩する磁場を形成するものであり、例えば、図3に示すように、平板形状のヨーク101の上に、直方体形状の中心マグネット102と、平面視角環状の外周マグネット103とが配列されて構成される。中心マグネット102は、ヨーク101の長手方向に沿うように設けられ、外周マグネット103は、中心マグネット102の平面視における四辺を囲うように設けられている。また、中心マグネット102と外周マグネット103は、ヨーク101の中心マグネット102側の面に垂直な方向において、互いに逆向きに磁化されている。
マグネットユニット23は、図1に示すように、第2移動機構としての移動機構24に接続されている。移動機構24は、マグネットユニット23を周期的に移動させるものである。本実施形態において、移動機構24は、マグネットユニット23をホルダ20aの背面に沿って装置奥行き方向(図1及び図3のY方向)に揺動すなわち往復運動させる。言い換えると、移動機構24は、マグネットユニット23をホルダ20aの背面に沿って、送付奥行き方向正方向(図1及び図3のY方向正方向)に移動させると共に、装置奥行き方向負方向(図1及び図3のY方向負方向)に移動させる。
移動機構24は、例えば、装置奥行き方向(図1及び図3のY方向)に沿って延在するレール24aと、モータ等の駆動源を含む駆動部24bとを有する。駆動部24bが発生させた駆動力によって、マグネットユニット23が、レール24aに沿って、装置奥行き方向(図1及び図3のY方向)に移動する。より具体的には、駆動部24bが発生させた駆動力により、マグネットユニット23が、ターゲット20の装置奥行き方向一端(図1及び図3のY方向負側端)と他端(図1及び図3のY方向正側端)との間で往復運動を行うように移動する。これにより、ターゲット20が局所的に消費されることを防ぎ、ターゲット20の略全体を利用することが可能になる。
なお、本明細書におけるマグネットユニット23の「揺動回数」では、例えば、ターゲット20の装置奥行き方向負側端から奥行き方向正方向に移動し正側端に移動したときに1回、ターゲット20の装置奥行き方向正側端から奥行き方向正方向に移動し負側端に移動したときに1回、とカウントする。したがって、マグネットユニット23が1往復した場合、マグネットユニット23の「揺動回数」は2回である。
移動機構24によるマグネットユニット23の単位時間当たりの揺動回数(以下、マグネットユニット23の揺動速度)は、例えば、30~120回/分とされる。マグネットユニット23の揺動速度Vmが、30回/分未満では、ターゲット20が局所的に消費されることを充分に防ぐことができない。また、マグネットユニット23の揺動速度Vmが120回/分より大きくなると、移動機構24の駆動部24b等の負荷が大きくなり、移動機構24の寿命が短くなる。
なお、移動機構24(具体的には駆動部24b)は後述の制御部Uにより制御される。
さらに、成膜装置1は、処理容器10内に処理空間K2を形成するシールド部30を有する。シールド部30は、処理容器10内に設けられている。
シールド部30は、第1シールド部材31と、第2シールド部材32と、を有する。第1シールド部材31及び第2シールド部材32は、例えばアルミニウムから形成される。
第1シールド部材31は、上部が開口した鍋状部材であり、載置台14に載置されたウェハWに対して処理空間K2を露出させるための孔31aを底面に有する。第1シールド部材31は、例えば、支持部材(図示せず)を介して処理容器10内に支持される。
第2シールド部材32は、第1シールド部材31の上部の開口を塞ぐ蓋部材であり、平面視における中央部分が上方に突出するように形成されている。第2シールド部材32は、開口32aを有する。開口32aを介して、ホルダ20aに保持されたターゲット20からのスパッタ粒子が処理空間K2に供給される。
また、第2シールド部材32の中央部分には、回転軸33の一端が接続されている。回転軸33の中心軸線は、軸線AXに略一致する。回転軸33は、処理容器10の外側まで伸びて、その他端が回転機構34に接続されている。回転機構34は、回転軸33を、軸線AXを中心に回転させる。なお、回転機構34は、回転軸33を回転させるための駆動力を発生するモータ等の駆動源を含む駆動部(図示せず)を有する。
第2シールド部材32が回転することにより、第2シールド部材32の開口32aを、ホルダ20aに保持されたターゲット20と対向させたり、第2シールド部材32の開口32aが形成されていない部分を、ターゲット20と対向させたりすることができる。
また、成膜装置1は、処理容器10内にガスを供給するガス供給部(図示せず)を備えている。ガス供給部は、例えば、ガスソース、マスフローコントローラ等の流量制御器及びガス導入部を有する。ガスソースは、処理容器10内において励起されるガス(例えばArガス)を貯留している。ガスソースは、流量制御器を介してガス導入部に接続されている。ガス導入部は、ガスソースからのガスを処理容器10内に導入する部材である。
このガス供給部からガスが供給され、電源21によってターゲット20に電力が供給されると、処理容器10内に供給されたガスが励起される。また、マグネットユニット23により、ターゲット20の正面近傍に磁界が発生し、プラズマがターゲット20の正面近傍に集中する。そして、ターゲット20にプラズマ中の正イオンが衝突することで、ターゲット20から当該ターゲット20を構成する物質がスパッタ粒子として放出される。これにより、ウェハW上に所望の膜が形成される。
成膜装置1は図1に示すようにさらに制御部Uを備える。制御部Uは、例えばCPUやメモリ等を備えたコンピュータにより構成され、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には、駆動部15b、電源21、駆動部24b等を制御して、成膜装置1における後述の成膜処理を実現するためのプログラムが格納されている。また、プログラム格納部には、成膜にかかる処理条件を決定するためのプログラムが格納されている。なお、上記プログラムは、コンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、当該記憶媒体から制御部Uにインストールされたものであってもよい。上記記憶媒体は、一時なものであっても非一時的なものであってもよい。また、プログラムの一部または全ては専用ハードウェア(回路基板)で実現してもよい。
<成膜中の載置台14の総回転回数Nw及びマグネットユニット23の総揺動回数Nm>
ターゲット20が前述のように載置台14の上面すなわち当該上面に載置されたウェハWの表面に対して傾いている場合等においては、ウェハWに対して成膜したときに膜厚がウェハWの面内で不均一になることがある。その原因は、ウェハWの表面における領域毎にターゲット20までの距離が異なること等である。この膜厚の面内均一性を解消するためにウェハWが載置される載置台14が成膜中に回転される。しかし、マグネットユニット23を用いる場合、載置台14を回転させたとしても、以下の理由から、膜厚の面内均一性が不十分となることがあった。
ターゲット20が前述のように載置台14の上面すなわち当該上面に載置されたウェハWの表面に対して傾いている場合等においては、ウェハWに対して成膜したときに膜厚がウェハWの面内で不均一になることがある。その原因は、ウェハWの表面における領域毎にターゲット20までの距離が異なること等である。この膜厚の面内均一性を解消するためにウェハWが載置される載置台14が成膜中に回転される。しかし、マグネットユニット23を用いる場合、載置台14を回転させたとしても、以下の理由から、膜厚の面内均一性が不十分となることがあった。
すなわち、ターゲット20を有効活用するために、マグネットユニット23は、当該マグネットユニット23が形成する磁場がターゲット20の全幅を覆うように、ターゲット20に対して揺動するように構成されている。また、マグネットユニット23が、図4に示すようにターゲット20の揺動方向中央に対向する部分に位置するか、図5に示すように、ターゲット20の揺動方向端部に対向する部分に位置するかによって、ターゲット20におけるプラズマPに曝される領域の広さが異なってくる。そのため、ターゲット20から放出されるスパッタ粒子の量も異なり、単位時間当たりのウェハWへの薄膜の堆積量(すなわちウェハWへの薄膜の堆積速度)も異なってくる。そして、例えば、成膜中に、マグネットユニット23がターゲット20の中央部に位置することが複数回あると、載置台14の回転速度Vwとターゲット20の揺動速度Vmとの関係によっては、マグネットユニット23がターゲット20の中央部に位置する時点の、載置台14上のウェハWの向き(回転方向の位置)が、毎回同じになる場合がある。この場合、成膜中に載置台14を回転させたとしても、ウェハWの面内における膜厚の分布に偏りが生じてしまう。
この点等を踏まえ、本実施形態では、制御部Uが、成膜時に以下の条件(1)~(3)を満たすように、駆動部15b及び駆動部24bを制御する。
(1)載置台14の回転運動における位相(具体的には載置台14の回転方向にかかる位置すなわち載置台14の向き)が、成膜開始時と成膜終了時とで一致する。
(2)マグネットユニット23の揺動における位相が、成膜開始時と成膜終了時とで一致する。
(3)載置台14の回転運動における位相とマグネットユニット23の揺動における位相とが成膜中に一致しない。
(1)載置台14の回転運動における位相(具体的には載置台14の回転方向にかかる位置すなわち載置台14の向き)が、成膜開始時と成膜終了時とで一致する。
(2)マグネットユニット23の揺動における位相が、成膜開始時と成膜終了時とで一致する。
(3)載置台14の回転運動における位相とマグネットユニット23の揺動における位相とが成膜中に一致しない。
上記条件(1)を満たすということは、成膜中の載置台14の総回転回数Nwが自然数になるということである。これにより、載置台14上のウェハWの表面の各領域が、ターゲット20に最も近接する時間長さを、領域毎に等しくすることができるため、成膜された膜の厚さのウェハ面内での均一化を図ることができる。
上記条件(2)を満たすということは、成膜中のマグネットユニット23の総揺動回数Nmが自然数になるということである。これにより、ターゲット20の消費量をターゲット20の面内で均一にすることができる。
上記条件(1)~(3)を満たすということは、上記総揺動回数Nmが上記総回転回数Nwの整数倍とならず、上記総回転回数Nwが上記総揺動回数Nmの整数倍とならない、ということである。これにより、成膜中に、マグネットユニット23がターゲット20の中央部に位置することが複数回ある場合に、マグネットユニット23がターゲット20の中央部に位置する時点の、載置台14上のウェハWの向きを、毎回異ならせることができる。言い換えると、マグネットユニット23がターゲット20の中央部に位置する際に薄膜が主に堆積する位置Aを、図6に示すようにウェハWの面内に1つではなく、図7に示すようにウェハWの面内に複数配置させること(例えば30°毎)ができる。したがって、局所的な膜厚ムラの発生を抑制することができ、ウェハWの面内での膜厚の均一性を向上させることができる。
<処理条件決定方法>
次に、成膜装置1を用いたマグネトロンスパッタリングによる成膜の処理条件の決定方法の一例、具体的には、成膜中の載置台14の回転及びマグネットユニット23の揺動にかかる処理条件を決定する方法の一例について説明する。
次に、成膜装置1を用いたマグネトロンスパッタリングによる成膜の処理条件の決定方法の一例、具体的には、成膜中の載置台14の回転及びマグネットユニット23の揺動にかかる処理条件を決定する方法の一例について説明する。
本決定方法では、例えば、制御部Uが、上記条件(1)~(3)が満たされるよう、成膜中の載置台14の回転及びマグネットユニット23の揺動にかかる処理条件を決定する。具体的には以下の通りである。
(ステップS1:成膜時間の決定)
例えば、まず、目標の膜厚値が、作業者等により、キーボード等の入力デバイスを介して、制御部Uに対して入力されると、当該制御部Uが、目標の膜厚値と、予め取得された成膜装置1による成膜速度すなわち薄膜の堆積速度から、成膜時間Tすなわち堆積時間Tを決定する。
例えば、まず、目標の膜厚値が、作業者等により、キーボード等の入力デバイスを介して、制御部Uに対して入力されると、当該制御部Uが、目標の膜厚値と、予め取得された成膜装置1による成膜速度すなわち薄膜の堆積速度から、成膜時間Tすなわち堆積時間Tを決定する。
(ステップS2:載置台14の総回転回数Nw及び回転速度Vwの決定)
次いで、制御部Uが、成膜中の載置台14の総回転回数Nw及び載置台14の回転速度Vwを決定する。具体的には、制御部Uが、成膜中の載置台14の総回転回数Nwが自然数になるように、ステップS1で決定した成膜時間Tに基づいて、60rpm~120rpmの範囲から、載置台14の回転速度Vwを決定する。
次いで、制御部Uが、成膜中の載置台14の総回転回数Nw及び載置台14の回転速度Vwを決定する。具体的には、制御部Uが、成膜中の載置台14の総回転回数Nwが自然数になるように、ステップS1で決定した成膜時間Tに基づいて、60rpm~120rpmの範囲から、載置台14の回転速度Vwを決定する。
(ステップS3:マグネットユニット23の総揺動回数Nm及び揺動速度Vmの決定)
そして、制御部Uが、成膜中のマグネットユニット23の総揺動回数Nm及びマグネットユニット23の揺動速度Vmを決定する。具体的には、成膜中のマグネットユニット23の総揺動回数Nmが上記(3)を満たす自然数になるように、ステップS1で決定した成膜時間Tに基づいて、30回/分~120回/分の範囲から、マグネットユニット23の揺動速度Vmを決定する。言い換えると、
Nm=Nw±n(nは任意の自然数)
を満たし、Nm/Nw及びNw/Nmが整数にはならないように、制御部Uが、30回/分~120回/分の範囲から、マグネットユニット23の揺動速度Vmを決定する。
そして、制御部Uが、成膜中のマグネットユニット23の総揺動回数Nm及びマグネットユニット23の揺動速度Vmを決定する。具体的には、成膜中のマグネットユニット23の総揺動回数Nmが上記(3)を満たす自然数になるように、ステップS1で決定した成膜時間Tに基づいて、30回/分~120回/分の範囲から、マグネットユニット23の揺動速度Vmを決定する。言い換えると、
Nm=Nw±n(nは任意の自然数)
を満たし、Nm/Nw及びNw/Nmが整数にはならないように、制御部Uが、30回/分~120回/分の範囲から、マグネットユニット23の揺動速度Vmを決定する。
なお、ステップS2及びステップS3において、
(1)Nm=Nw±n(Nm、Nwは自然数、nは任意の自然数)
(2)Nm/Nw及びNw/Nmが整数にはならない。
(3)載置台14の回転速度Vwは、60rpm~120rpmの範囲にある。
(4)マグネットユニット23の揺動速度Vmは、30回/分~120回/分の範囲にある。
を満たす載置台14の回転速度Vwが複数ある場合は、最も大きい回転速度Vwが選択される。成膜のばらつきを抑制するためである。
また、決定/選択された載置台14の回転速度Vwに対し、マグネットユニット23の揺動速度Vmが複数ある場合も、同様に、最も大きい揺動速度Vmが選択される。
(1)Nm=Nw±n(Nm、Nwは自然数、nは任意の自然数)
(2)Nm/Nw及びNw/Nmが整数にはならない。
(3)載置台14の回転速度Vwは、60rpm~120rpmの範囲にある。
(4)マグネットユニット23の揺動速度Vmは、30回/分~120回/分の範囲にある。
を満たす載置台14の回転速度Vwが複数ある場合は、最も大きい回転速度Vwが選択される。成膜のばらつきを抑制するためである。
また、決定/選択された載置台14の回転速度Vwに対し、マグネットユニット23の揺動速度Vmが複数ある場合も、同様に、最も大きい揺動速度Vmが選択される。
<成膜処理>
次に、成膜装置1を用いた成膜処理の一例について説明する。なお、以下の処理は制御部Uの制御の下で行われる。
次に、成膜装置1を用いた成膜処理の一例について説明する。なお、以下の処理は制御部Uの制御の下で行われる。
(S11:搬入)
まず、処理容器10内にウェハWが搬入される。
具体的には、ゲートバルブ13aが開かれ、排気装置11により所望の圧力に調整された処理容器10に隣接する真空雰囲気の搬送室(図示せず)から搬出入口13を介して、ウェハWを保持した搬送機構(図示せず)が処理容器10内に挿入される。なお、このときの処理容器10内及び上記搬送室内の圧力は、例えば10-7Torr~10-9Torrである。次いで、上昇した支持ピン(図示せず)の上に上記搬送機構からウェハWが受け渡され、その後、上記搬送機構は処理容器10から抜き出され、ゲートバルブ13aが閉じられる。それと共に、上記支持ピンの下降が行われ、ウェハWが、載置台14上に載置され、静電チャック14aの静電吸着力により吸着保持される。また、載置台14の上昇が行われ、シールド部30の孔31aの直下にウェハWが移動する。
まず、処理容器10内にウェハWが搬入される。
具体的には、ゲートバルブ13aが開かれ、排気装置11により所望の圧力に調整された処理容器10に隣接する真空雰囲気の搬送室(図示せず)から搬出入口13を介して、ウェハWを保持した搬送機構(図示せず)が処理容器10内に挿入される。なお、このときの処理容器10内及び上記搬送室内の圧力は、例えば10-7Torr~10-9Torrである。次いで、上昇した支持ピン(図示せず)の上に上記搬送機構からウェハWが受け渡され、その後、上記搬送機構は処理容器10から抜き出され、ゲートバルブ13aが閉じられる。それと共に、上記支持ピンの下降が行われ、ウェハWが、載置台14上に載置され、静電チャック14aの静電吸着力により吸着保持される。また、載置台14の上昇が行われ、シールド部30の孔31aの直下にウェハWが移動する。
(S12:載置台14の回転)
続いて、前述のステップS2等で決定した回転速度Vwで載置台14が回転するよう、回転・移動機構15が制御される。
続いて、前述のステップS2等で決定した回転速度Vwで載置台14が回転するよう、回転・移動機構15が制御される。
(ステップS13:マグネットユニット23の揺動)
また、前述のステップS3等で決定した揺動速度Vmで、マグネットユニット23が揺動するよう移動機構24が制御される。
また、前述のステップS3等で決定した揺動速度Vmで、マグネットユニット23が揺動するよう移動機構24が制御される。
(ステップS14:成膜)
続いて、マグネトロンスパッタリングにより、前述のステップS1で決定した成膜時間Tで、ウェハW上に所望の膜が形成される。
具体的には、ガス供給部(図示せず)から処理容器10内に、例えばArガスが供給される。また、電源21からターゲット20に電力が供給される。電源21からの電力により、処理容器10内のArガスが電離し、電離によって生じた電子が、マグネットユニット23がターゲット20の正面に形成した磁場(すなわち漏洩磁場)によってドリフト運動し、高密度なプラズマを発生させる。このプラズマ中に生じたArイオンによって、ターゲット20の表面がスパッタリングされ、スパッタ粒子がウェハW上に堆積され、薄膜が形成される。電源21からの電源供給を開始してから、前述のステップS1で決定した成膜時間Tが経過すると、上記電源供給が停止され、ガス供給部(図示せず)からのガスの供給も停止され、載置台14の回転及びマグネットユニット23の揺動も停止される。
続いて、マグネトロンスパッタリングにより、前述のステップS1で決定した成膜時間Tで、ウェハW上に所望の膜が形成される。
具体的には、ガス供給部(図示せず)から処理容器10内に、例えばArガスが供給される。また、電源21からターゲット20に電力が供給される。電源21からの電力により、処理容器10内のArガスが電離し、電離によって生じた電子が、マグネットユニット23がターゲット20の正面に形成した磁場(すなわち漏洩磁場)によってドリフト運動し、高密度なプラズマを発生させる。このプラズマ中に生じたArイオンによって、ターゲット20の表面がスパッタリングされ、スパッタ粒子がウェハW上に堆積され、薄膜が形成される。電源21からの電源供給を開始してから、前述のステップS1で決定した成膜時間Tが経過すると、上記電源供給が停止され、ガス供給部(図示せず)からのガスの供給も停止され、載置台14の回転及びマグネットユニット23の揺動も停止される。
(ステップS15:搬出)
その後、処理容器10からウェハWが搬出される。具体的には、ステップS11の搬入時と逆の動作で、ウェハWが処理容器10の外に搬出される。
そして、前述の搬入工程に戻り、次の成膜対象のウェハWが同様に処理される。
その後、処理容器10からウェハWが搬出される。具体的には、ステップS11の搬入時と逆の動作で、ウェハWが処理容器10の外に搬出される。
そして、前述の搬入工程に戻り、次の成膜対象のウェハWが同様に処理される。
<本実施形態の主な効果>
以上のように、本実施形態によれば、マグネトロンスパッタリングにより成膜する際に、局所的な膜厚ムラの発生を抑制することができ、ウェハWの面内での膜厚の均一性を向上させることができる。
以上のように、本実施形態によれば、マグネトロンスパッタリングにより成膜する際に、局所的な膜厚ムラの発生を抑制することができ、ウェハWの面内での膜厚の均一性を向上させることができる。
図8及び図9は、それぞれ比較例及び実施例における、ウェハWの面内での膜厚の分布を示す図である。
比較例及び実施例では、ターゲット20としてTa製のものを使用し、成膜速度0.125nm/sの条件で、目標の膜厚を1nmとしてマグネトロンスパッタリングにより成膜を行った。つまり、成膜時間Tは8秒とした。
比較例及び実施例では、ターゲット20としてTa製のものを使用し、成膜速度0.125nm/sの条件で、目標の膜厚を1nmとしてマグネトロンスパッタリングにより成膜を行った。つまり、成膜時間Tは8秒とした。
また、比較例及び実施例では、載置台14の総回転回数Nwを8回として、載置台14の回転速度を(Nw/T)×60(Nwは8回、Tは8秒)の60rpmとした。
そして、実施例では、マグネットユニット23の総揺動回数Nmを、Nm/Nw、Nw/Nmの両方が整数にはならないという条件を満たすよう、Nm=Nw+1(Nwは8回)の9回とし、成膜中に、載置台14の回転運動における位相とマグネットユニット23の揺動における位相とが一致しないようにした。
一方、比較例では、マグネットユニット23の総揺動回数Nmを、Nm/Nw、Nw/Nmの両方が整数にはならないという条件を満たさないよう、Nm=Nw(Nwは8回)の8回とし、成膜中に、載置台14の回転運動における位相とマグネットユニット23の揺動における位相とが一致するようにした。
一方、比較例では、マグネットユニット23の総揺動回数Nmを、Nm/Nw、Nw/Nmの両方が整数にはならないという条件を満たさないよう、Nm=Nw(Nwは8回)の8回とし、成膜中に、載置台14の回転運動における位相とマグネットユニット23の揺動における位相とが一致するようにした。
図8に示すように、比較例では、成膜中に、載置台14の回転運動における位相とマグネットユニット23の揺動の位相とが一致する結果、Ta膜が極端に厚い部分が存在し、Ta膜の厚さがウェハWの面内で不均一であった。また、比較例では、膜厚の標準偏差を膜厚の平均値で除算した、膜厚の変動係数(CV:Coefficient Variation)が2.0%であった。
一方、実施例では、図9に示すように、比較例に比べて、Ta膜が極端に厚い部分が存在していなかった。また、実施例では、膜厚の変動係数が0.6%であった。
以上の結果から、本開示の手法を用いることで、マグネットスパッタリングを、マグネットユニット23を揺動させながら行う場合においても、変動係数が1%以下の膜厚分布を持つ薄膜をウェハW上に形成可能であることが分かる。
<変形例>
以上の例では、載置台14の総回転回数Nw及び回転速度Vwの決定が先に行われ、その後、マグネットユニット23の総揺動回数Nm及び揺動速度Vmの決定が後に行われていた。しかし、マグネットユニット23の総揺動回数Nm及び揺動速度Vmの決定が先に行われ、載置台14の総回転回数Nw及び回転速度Vwの決定が後に行われてもよい。具体的には、制御部Uが、まず、マグネットユニット23の総揺動回数Nmが自然数になるように、成膜時間Tに基づいて、所定の範囲から、マグネットユニット23の揺動速度Vmを決定してもよい。そして、制御部Uが、成膜中の載置台14の総回転回数Nwが上記(3)を満たす自然数になるように、成膜時間Tに基づいて、所定の範囲から、載置台14の回転速度Vwを決定してもよい。
以上の例では、載置台14の総回転回数Nw及び回転速度Vwの決定が先に行われ、その後、マグネットユニット23の総揺動回数Nm及び揺動速度Vmの決定が後に行われていた。しかし、マグネットユニット23の総揺動回数Nm及び揺動速度Vmの決定が先に行われ、載置台14の総回転回数Nw及び回転速度Vwの決定が後に行われてもよい。具体的には、制御部Uが、まず、マグネットユニット23の総揺動回数Nmが自然数になるように、成膜時間Tに基づいて、所定の範囲から、マグネットユニット23の揺動速度Vmを決定してもよい。そして、制御部Uが、成膜中の載置台14の総回転回数Nwが上記(3)を満たす自然数になるように、成膜時間Tに基づいて、所定の範囲から、載置台14の回転速度Vwを決定してもよい。
また、以上の例では、載置台14を回転させることとしていたが、載置台14の周期的な移動の態様はこれに限られない。例えば、載置台14を、マグネットユニット23と同様に、水平方向等の所定の方向に揺動させてもよい。この場合も本開示に係る技術を適用することができる。
さらに、以上の例では、マグネットユニット23を揺動させることとしていたが、マグネットユニット23の周期的な移動の態様はこれに限られない。例えば、ターゲット20が平面視円形のとき等は、ターゲット20の中心軸を中心に、ホルダ20aの裏面に沿ってマグネットユニット23を回転移動させてもよい。また、ターゲット20の中心軸を中心に、ホルダ20aの裏面に沿って、マグネットユニット23を矩形の軌跡を描くように移動させてもよい。これらの場合も本開示に係る技術を適用することができる。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
1 成膜装置
14 載置台
15 回転・移動機構
20 ターゲット
20a ホルダ
23 マグネットユニット
24 移動機構
102 中心マグネット
103 外周マグネット
Nm 総揺動回数
Nw 総回転回数
T 成膜時間
U 制御部
W ウェハ
14 載置台
15 回転・移動機構
20 ターゲット
20a ホルダ
23 マグネットユニット
24 移動機構
102 中心マグネット
103 外周マグネット
Nm 総揺動回数
Nw 総回転回数
T 成膜時間
U 制御部
W ウェハ
Claims (8)
- マグネトロンスパッタリングにより基板上に成膜する成膜装置であって、
基板を支持する基板支持部と、
スパッタ粒子を放出するターゲットが前記基板支持部に向くように、前記ターゲットを保持するホルダと、
前記ホルダの前記基板支持部とは反対側に設けられ、マグネットを有するマグネットユニットと、
前記基板支持部を周期的に移動させる第1移動機構と、
前記マグネットユニットを前記ホルダに保持された前記ターゲットに対して周期的に移動させる第2移動機構と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記基板支持部の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、
前記マグネットユニットの周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、
成膜中に、前記基板支持部の周期的な移動における位相と前記マグネットユニットの周期的な移動における位相とが一致しないよう、
前記第1移動機構及び前記第2移動機構を制御するように構成されている、成膜装置。 - 前記制御部は、成膜中の前記基板支持部の総移動回数Nwと成膜中の前記マグネットユニットの総移動回数Nmとが互いに異なる自然数となり、前記総移動回数Nmの総移動回数が前記総移動回数Nwの整数倍とならず、前記総移動回数Nwの総移動回数が前記総移動回数Nmの整数倍とならない、という条件を満たすよう、前記第1移動機構及び前記第2移動機構を制御するように構成されている、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、成膜中の前記基板支持部の総移動回数Nwが自然数になるように、成膜に要する時間に基づいて所定の範囲から決定された、前記基板支持部の単位時間当たりの移動回数で、前記基板支持部が移動するよう、前記第1移動機構を制御するように構成されている、請求項2に記載の成膜装置。
- 前記所定の範囲は、1分間あたり60~120回である、請求項3に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、成膜中の前記マグネットユニットの総移動回数Nmが前記条件を満たす自然数となるように、前記成膜に要する時間に基づいて他の所定の範囲から決定された、前記マグネットユニットの単位時間当たりの移動回数で、前記マグネットユニットが移動するよう、前記第2移動機構を制御するように構成されている、請求項3または4に記載の成膜装置。
- 前記他の所定の範囲は、1分間当たり30~120回である、請求項5に記載の成膜装置。
- 成膜装置を用いてマグネトロンスパッタリングにより基板上に成膜する処理条件を決定する方法であって、
前記成膜装置は、
基板を支持する基板支持部と、
スパッタ粒子を放出するターゲットが前記基板支持部に向くように、前記ターゲットを保持するホルダと、
前記ホルダの前記基板支持部とは反対側に設けられ、マグネットを有するマグネットユニットと、を有し、
成膜中に、前記基板支持部が、周期的に移動されると共に、前記マグネットユニットが、前記ホルダに保持された前記ターゲットに対して周期的に移動され、
前記基板支持部の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、前記マグネットユニットの周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、成膜中に、前記基板支持部の周期的な移動における位相と前記マグネットユニットの周期的な移動における位相とが一致しないよう、成膜中の前記基板支持部及び前記マグネットユニットの移動にかかる前記処理条件を決定する、条件決定方法。 - 成膜装置を用いてマグネトロンスパッタリングにより基板上に成膜する成膜方法であって、
前記成膜装置は、
基板を支持する基板支持部と、
スパッタ粒子を放出するターゲットが前記基板支持部に向くように、前記ターゲットを保持するホルダと、
前記ホルダの前記基板支持部とは反対側に設けられ、マグネットを有するマグネットユニットと、を有し、
前記基板支持部を周期的に移動させると共に、前記マグネットユニットを前記ホルダに保持された前記ターゲットに対して周期的に移動させ、マグネトロンスパッタリングにより基板上に成膜する工程を含み、
当該工程において、
前記基板支持部の周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、
前記マグネットユニットの周期的な移動における位相が成膜開始時と成膜終了時とで一致し、
成膜中に、前記基板支持部の周期的な移動における位相と前記マグネットユニットの周期的な移動における位相とが一致しないよう、
前記基板支持部及び前記マグネットユニットを移動させる、成膜方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2021105496A JP2023004037A (ja) | 2021-06-25 | 2021-06-25 | 成膜装置、処理条件決定方法及び成膜方法 |
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