JP2020200520A - 成膜装置、スパッタリングターゲット機構及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記スパッタリングターゲット機構は、一軸方向に延在し、上記一軸方向を中心に回転可能な筒状のターゲットと、上記ターゲットの内部に設けられ、上記ターゲットの表面から漏洩する磁場を発生させる複数の磁石ユニットを有し、上記複数の磁石ユニットが上記一軸方向に分割配置され、上記複数の磁石ユニットのそれぞれが上記一軸方向を中心に独立して回転することが可能な磁場発生機構とを有する。
上記遮蔽板は、上記ターゲットに対向し、上記ターゲットから放出されるスパッタリング粒子を通過させる隙間部が形成され、上記隙間部が上記一軸方向に延在する。
成膜装置。
上記ターゲットは、軸方向に延在した隙間部を有する遮蔽板に対向し、上記一軸方向に延在し、上記一軸方向を中心に回転可能になっている。
磁場発生機構は、上記ターゲットの内部に設けられ、上記ターゲットの表面から漏洩する磁場を発生させる複数の磁石ユニットを有し、上記複数の磁石ユニットが上記一軸方向に分割配置され、上記複数の磁石ユニットのそれぞれが上記一軸方向を中心に独立して回転することが可能になっている。
10d…排気口
10a…基板搬入部
10b…基板搬出部
20…基板搬送機構
20f…フレーム部
20r…ローラ回転機構
21…基板
21d…成膜面
22…基板ホルダ
30…スパッタリングターゲット機構
31…ターゲット
31c…中心軸
32…バッキングチューブ
33…磁場発生機構
40…遮蔽板
50…電源
60…制御部
70…ガス供給源
71…流量調整器
72…ガスノズル
80…プラズマ
101…成膜装置
331、332、333、334…磁石ユニット
331m、332m、333m、334m…磁石部
331y、332y、333y、334y…ヨーク部
334s…間隙
335、336、337…モータ
338…軸部
401…隙間部
S1…スパッタリング粒子
Claims (7)
- 一軸方向に延在し、前記一軸方向を中心に回転可能な筒状のターゲットと、前記ターゲットの内部に設けられ、前記ターゲットの表面から漏洩する磁場を発生させる複数の磁石ユニットを有し、前記複数の磁石ユニットが前記一軸方向に分割配置され、前記複数の磁石ユニットのそれぞれが前記一軸方向を中心に独立して回転することが可能な磁場発生機構とを有するスパッタリングターゲット機構と、
前記ターゲットに対向し、前記ターゲットから放出されるスパッタリング粒子を通過させる隙間部が形成され、前記隙間部が前記一軸方向に延在した遮蔽板と
を具備する成膜装置。 - 請求項1に記載された成膜装置であって、
前記遮蔽板の電位は、グランド電位である
成膜装置。 - 請求項1または2に記載された成膜装置であって、
前記複数の磁石ユニットは、
第1磁石ユニットと、
前記一軸方向において、前記第1磁石ユニットの両側に配置された一対の第2磁石ユニットと、
前記一軸方向において、前記第1磁石ユニットとは反対側に設けられた前記一対の第2磁石ユニットのそれぞれの横に設けられた一対の第3磁石ユニットと、
を有し、
前記一軸方向において、前記第1磁石ユニットの長さが前記一対の第2磁石ユニットのそれぞれの長さ及び前記一対の第3磁石ユニットのそれぞれの長さよりも長い
成膜装置。 - 一軸方向に延在した隙間部を有する遮蔽板に対向し、前記一軸方向に延在し、前記一軸方向を中心に回転可能な筒状のターゲットと、
前記ターゲットの内部に設けられ、前記ターゲットの表面から漏洩する磁場を発生させる複数の磁石ユニットを有し、前記複数の磁石ユニットが前記一軸方向に分割配置され、前記複数の磁石ユニットのそれぞれが前記一軸方向を中心に独立して回転することが可能な磁場発生機構と
を具備するスパッタリングターゲット機構。 - 一軸方向に延在し、前記一軸方向を中心に回転可能な筒状のターゲットと、前記ターゲットの内部に設けられ、前記ターゲットの表面から漏洩する磁場を発生させる複数の磁石ユニットを有し、前記複数の磁石ユニットが前記一軸方向に分割配置され、前記複数の磁石ユニットのそれぞれが前記一軸方向を中心に独立して回転することが可能な磁場発生機構とを有するスパッタリングターゲット機構を用い、
前記ターゲットから放出されるスパッタリング粒子を通過させる隙間部が形成され、前記隙間部が前記一軸方向に延在した遮蔽板を前記ターゲットに対向させて基板に膜を形成する成膜方法。 - 請求項5に記載された成膜方法であって、
前記複数の磁石ユニットのそれぞれを前記一軸方向を中心に独立して回転することにより、前記ターゲットの表面におけるプラズマを選択的に移動させて、前記基板に形成される前記膜の膜厚分布を調整する成膜方法。 - 請求項5に記載された成膜方法であって、
前記複数の磁石ユニットのそれぞれを前記一軸方向を中心に独立して回転することにより、前記ターゲットから放出されるスパッタリング粒子を選択的に前記遮蔽板に付着させて、前記基板に形成される前記膜の膜厚分布を調整する成膜方法。
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CN115125498A (zh) * | 2021-03-24 | 2022-09-30 | 株式会社新柯隆 | 磁控溅射源及其溅射成膜装置 |
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-
2019
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