JPH04293250A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】［発明の目的］

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送装置に関する
。

【０００３】

【従来の技術】例えば、半導体装置の製造工程等では、
従来から基板例えば半導体ウエハあるいは液晶表示器用
ガラス基板等を支持して搬送する装置として、基板搬送
装置が多く用いられている。

【０００４】例えば、半導体ウエハの搬送を行う基板搬
送装置では、例えば所定方向に移動可能に構成された搬
送アームの先端に、ウエハピンセット等と称される基板
支持部が設けられており、このウエハピンセット上に半
導体ウエハを支持し、搬送するよう構成されている。な
お、常圧雰囲気下で使用される基板搬送装置では、ウエ
ハピンセット上に半導体ウエハを吸着保持する機構とし
て、真空チャックを備えたものもある。

【０００５】このような基板搬送装置において、基板の
確実な搬送を実施するためには、基板支持部上の基板の
有無等を正確に検出できることが望ましい。このため、
例えば真空チャックによってウエハピンセット上に半導
体ウエハを吸着保持する基板搬送装置では、例えば真空
チャックの真空系の圧力の変化により半導体ウエハ等の
有無を検出できる機構を備えたものがある。また、真空
チャックを有しない載置型の基板搬送装置等では、例え
ば搬送アームのホームポジション等に例えば対向する如
く配置された発光素子と受光素子からなる透過型センサ
を設け、発光素子と受光素子との間の光が遮られたか否
かによって半導体ウエハの有無を検出する機構を備えた
ものがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の基板搬送装置では、次のような問題がある。す
なわち、例えば真空チャンバ内で半導体ウエハ等を搬送
する基板搬送装置では、半導体ウエハを吸着保持する機
構として真空チャックを用いることができない。このた
め、真空チャックの吸着圧力の変化により基板支持部上
の半導体ウエハ等の有無の検出は行うことができない。 また、常圧雰囲気下で真空チャックを用いた場合、検出
精度等の点で難点がある。また、例えばホームポジショ
ン等に発光素子と受光素子からなる透過型センサを設け
た基板搬送装置では、ホームポジション以外では半導体
ウエハ等の有無を検出できず、さらに、例えば半導体ウ
エハ等が所定位置からずれて載置された場合等、このず
れの程度をを検出することが困難であるという問題もあ
った。

【０００７】本発明は、かかる従来の事情に対処してな
されたもので、基板支持部上の基板の有無等を正確に検
出することができ、基板を確実に搬送することのできる
基板搬送装置を提供しようとするものである。

【０００８】［発明の構成］

【０００９】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の基板
搬送装置は、基板支持部上に基板を支持し、この基板を
搬送する基板搬送装置において、前記基板支持部に、静
電容量センサを設けたことを特徴とする。

【００１０】

【作　　用】上記構成の本発明の基板搬送装置では、基
板が支持された際、基板支持部に設けられた静電容量セ
ンサによって検出される静電容量の変化によって基板の
有無を検出する。したがって、例えば真空雰囲気下で基
板搬送を実施する基板搬送装置であっても、正確に基板
の有無を検出することができ、また、例えば静電容量セ
ンサを分散させて複数設け、これらの静電容量センサの
変化を検出すれば、例えば半導体ウエハ等が所定位置か
らずれて載置された場合等、このずれの程度をを検出す
ることも可能となる。さらに、静電容量センサの検出部
分は、他のセンサに較べて厚みを非常に薄く設定するこ
とができるので、例えばロードロック室等に配置される
薄型のウエハピンセット等でも、容易に静電容量センサ
を設けることができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明を半導体ウエハの搬送を行う基
板搬送装置に適用した一実施例をを図面を参照して説明
する。

【００１２】図１および図２に示すように、ウエハピン
セット１はセラミック製で、厚さｔ例えば２　ミリ、幅
ｗ例えば８０ミリの矩形板状に形成されている。また、
このウエハピンセット１の先端近傍の上面には、ほぼ円
形に形成された半導体ウエハ２の形状に合せて形成され
たウエハ支持溝３が設けられており、このウエハ支持溝
３によって半導体ウエハ２を支持するよう構成されてい
る。 このウエハピンセット１は、図示しない駆動機構を具備
したウエハ搬送アームに接続されており、このウエハ搬
送アームにより、所定方向例えば、図２において左右・
前後等に所定距離移動して半導体ウエハ２を搬送するよ
う構成されている。

【００１３】また、ウエハ支持溝３内には、例えば薄板
状に形成された２　つの静電容量センサ４ａ、４ｂが埋
設されている。なお、静電容量センサは１つのみでも、
３　以上設けても幾つでもよい。これらの静電容量セン
サ４ａ、４ｂは、それぞれ静電容量測定部５ａ、５ｂに
電気的に接続されており、静電容量センサ４ａ、４ｂで
検出された静電容量の変化を、これらの静電容量測定部
５ａ、５ｂによって所定の電気信号、例えば静電容量の
増加に応じて大きな電圧信号に変換出力するよう構成さ
れている。

【００１４】上記静電容量測定部５ａ、５ｂの出力は、
比較部６ａ、６ｂに入力され、これらの比較部６ａ、６
ｂの出力は、判定部７に入力されるよう構成されている
。比較部６ａ、６ｂは、静電容量測定部５ａ、５ｂの出
力を予め設定された所定値と比較し、例えば静電容量測
定部５ａ、５ｂの出力が所定値以上の場合は載置信号を
発生するよう構成されている。また、判定部７は、比較
部６ａ、６ｂの両方から載置信号が入力された場合のみ
、載置確認信号Ａを発生し、比較部６ａ、６ｂのうちの
いずれか一方からのみ載置信号が入力された場合あるい
はどちらからも載置信号が入力されない場合は、載置確
認信号Ａを発生しないよう構成されている。

【００１５】この載置確認信号Ａは図示しない駆動制御
装置に入力され、この駆動制御装置は、載置確認信号Ａ
を参照しながら駆動機構を制御し、ウエハ搬送アームを
駆動して半導体ウエハ２を搬送するよう構成されている
。すなわち、例えば載置確認信号Ａが入力されている場
合は、ウエハピンセット１のウエハ支持溝３内の所定位
置に正しく半導体ウエハ２が載置されている場合であり
、この場合、駆動制御装置は、所定のシーケンスに従っ
て、駆動機構を作動させ、ウエハ搬送アームを駆動して
半導体ウエハ２を搬送する。

【００１６】これに対して、例えば載置確認信号Ａが入
力されるべき時に、載置確認信号Ａが入力されない場合
、例えば半導体ウエハ２が所定位置に正確に載置されな
かったか、例えば存在すべき半導体ウエハ２がなかった
場合であり、このような場合は、例えば動作を停止して
アラームを発生する等してトラブルの発生をオペレータ
等に通知する。

【００１７】次に、動作について説明する。なお、ここ
では、半導体ウエハ２を収納したウエハカセットから半
導体ウエハ２を１枚づつ搬出する場合の例について説明
する。　　図示しないウエハカセットに収納されている
半導体ウエハ２の下方を通ってウエハピンセット１をウ
エハカセット内の所定位置まで進入させた後、ウエハカ
セットを下降し、半導体ウエハ２をウエハピンセット１
上に載置する。

【００１８】半導体ウエハ２がウエハピンセット１上に
正常に支持された場合には、図１，２に示すように、半
導体ウエハ２はウエハ支持溝３内に支障なく位置される
。この時、静電容量センサ４ａおよび４ｂ上には半導体
ウエハ２が近接して載置されているので、静電容量セン
サで検出される静電容量は、半導体ウエハ２がないとき
と比較して増加する。

【００１９】したがって、静電容量測定部５ａ，５ｂの
出力電圧は共に所定値より大きくなるので比較部６ａお
よび６ｂから載置信号が発生され、判定部７の判定によ
り載置確認信号Ａを発生し、そのまま搬出動作が続行さ
れ、ウエハカセットから半導体ウエハ２を搬出する。

【００２０】しかし、ウエハピンセット１上に半導体ウ
エハ２を載置する際に何らかのトラブルが発生し、例え
ば、半導体ウエハ２が図の右方向にずれて、半導体ウエ
ハ２が静電容量センサ４ａの一部分にしか重ならなかっ
たり、あるいはまったく外れてしまった場合には、載置
確認信号Ａは発生されない。すなわち、静電容量センサ
４ｂ側は比較部６ｂから載置信号が発生されるが、静電
容量センサ４ａ側は静電容量の増加が少なく、あるいは
まったく増加しないので、比較部６ａからは載置信号は
発生されない。

【００２１】したがって、判定部７からは載置確認信号
Ａは発生されず、トラブル発生が検知され、搬出動作を
停止して、アラームを発生する。

【００２２】このように、本実施例の基板搬送装置では
、ウエハピンセット１のウエハ支持溝３内に設けられた
静電容量センサ４ａ、４ｂによって検出される静電容量
の変化によって半導体ウエハ２の有無および半導体ウエ
ハ２が正確に載置されているか否かを検出できる。した
がって、例えば真空雰囲気下で半導体ウエハ２を搬送す
る場合であっても、正確に半導体ウエハ２の有無および
半導体ウエハ２が正確に載置されているか否かを検出す
ることができ、半導体ウエハ２を確実に搬送することが
できる。また、例えばウエハ搬送アームのホームポジシ
ョン等に透過型のセンサなどを設けた場合と異なり、連
続的に半導体ウエハ２の有無等を検出することができる
ので、例えば搬送途中で何等かのトラブルが発生した場
合でも、直ちにトラブルの発生を検知することができる
。

【００２３】さらに、静電容量センサ４ａ、４ｂは、他
のセンサに較べて厚みを非常に薄く設定できるので、例
えばロードロック室等に配置される薄型のウエハピンセ
ット１等でも、容易に設けることができる。

【００２４】また、上記実施例では、ウエハピンセット
１に２　個の静電容量センサを設けた例について説明し
たが、半導体ウエハ２を載置したときに静電容量が増加
するのを検知できればよいので、例えば、大面積の静電
容量センサを１　個設けてもよく、また、小面積の静電
容量センサを３　個以上並設してもよい。特に、小面積
の静電容量センサを図の左右方向に多数並設することに
より、より木目細かく半導体ウエハ２の有無・支持位置
等を正確に検出できる。

【００２５】さらに、ウエハピンセット１の形状として
、半導体ウエハ２の裏面を支持する矩形板状に形成した
例について説明したが、他の形状、例えば、半導体ウエ
ハ２の周縁部を複数の瓜状部材で支持するウエハピンセ
ットにも適用が可能で、この場合、静電容量センサを上
記瓜状部材あるいは半導体ウエ周辺部に対向する位置に
設けるようにしてもよい。

【００２６】上記説明したように、この搬送機構は、半
導体ウエハを正確に検知し、また位置ずれをも検知でき
るため、ロボットアーム等による高精度な搬送が要求さ
れる装置にも対応が可能となる。また、搬送ミスに伴う
トラブル等を未然に防止できるため、半導体ウエハ等の
破損も発生せず、クリーンな搬送ができる。したがって
、例えば、半導体製造のレジスト塗布現像装置、露光装
置、洗浄装置等に適用して有効である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板搬送
装置によれば、基板支持部上の基板の有無を正確に検出
することができ、基板を確実に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の基板搬送装置の要部構成を
示す図である。

【図２】図１のウエハピンセットの平面図である。

【符号の説明】

１　　ウエハピンセット ２　　半導体ウエハ ３　　ウエハ支持溝 ４ａ、４ｂ　　静電容量センサ ５ａ、５ｂ　　静電容量測定部 ６ａ、６ｂ　　比較部 ７　　判定部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　基板支持部上に基板を支持し、この基
   板を搬送する基板搬送装置において、前記基板支持部に
   、静電容量センサを設けたことを特徴とする基板搬送装
   置。