JP2017005174A - 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017005174A JP2017005174A JP2015119668A JP2015119668A JP2017005174A JP 2017005174 A JP2017005174 A JP 2017005174A JP 2015119668 A JP2015119668 A JP 2015119668A JP 2015119668 A JP2015119668 A JP 2015119668A JP 2017005174 A JP2017005174 A JP 2017005174A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- conductive
- circuit board
- glass substrate
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 190
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 163
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 137
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 137
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 326
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 51
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 48
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 41
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 29
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 27
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 10
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 9
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Sn] Chemical compound [Ag].[Sn] QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag].[Sn] Chemical compound [Cu].[Ag].[Sn] PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- JWVAUCBYEDDGAD-UHFFFAOYSA-N bismuth tin Chemical compound [Sn].[Bi] JWVAUCBYEDDGAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 8
- 229910000969 tin-silver-copper Inorganic materials 0.000 claims description 8
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 claims description 7
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical compound [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 7
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 7
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 claims description 7
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- -1 copper nitride Chemical class 0.000 claims description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 14
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 49
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 239000002585 base Substances 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 239000002345 surface coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 230000004083 survival effect Effects 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000006089 photosensitive glass Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
- H01L23/15—Ceramic or glass substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/486—Via connections through the substrate with or without pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/13—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49827—Via connections through the substrates, e.g. pins going through the substrate, coaxial cables
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4038—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
- H05K3/4053—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques
- H05K3/4069—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques for via connections in organic insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4602—Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated
- H05K3/4605—Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated made from inorganic insulating material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4857—Multilayer substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
- H01L23/49816—Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49822—Multilayer substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/156—Material
- H01L2924/15786—Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
- H01L2924/15788—Glasses, e.g. amorphous oxides, nitrides or fluorides
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/095—Conductive through-holes or vias
- H05K2201/0959—Plated through-holes or plated blind vias filled with insulating material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/42—Plated through-holes or plated via connections
- H05K3/429—Plated through-holes specially for multilayer circuits, e.g. having connections to inner circuit layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
- Y10T428/24917—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including metal layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
パッケージ基板の材料としては、セラミックまたは樹脂が用いられている。
一方、樹脂製パッケージ基板は、めっきによる銅配線を用いるため、配線抵抗を下げることが可能であり、樹脂の誘電率は低く、高周波、高性能の半導体素子を搭載することが相対的に容易である。
また、近年では、ハイエンド向けのインターポーザーとして、基板の材質にシリコンやガラスを用いたインターポーザーの研究が活発に行われるようになり、大きな注目が集まっている。
また、線膨張係数が半導体素子と同等、もしくは、半導体素子に近い値となるため、加熱時の基板寸法変化が小さくなり、より高密度な実装・高密度配線を実現する可能性がある。さらに、貫通電極を採用することで、多ピン並列接続が可能となり、LSI自体を高速化させる必要が無く、優れた電気特性が得られるため、低消費電力化の実現が期待されている。
ガラス基板に貫通孔を形成する方法として、ドリルやブラスト法、反応性ガスやフッ酸によるエッチング法、レーザによる加工法があげられる。しかしながら、ガラス基板は非晶質の材料であり、弾性が低く材料引張応力に対し割れ易いなどの特性を持つ材料であるため、ドリルやブラスト法などの物理的な加工ではマイクロクラックの発生やガラス基板自体が割れてしまうなどの問題がある。
また、フッ素系の反応性ガスによるエッチング法は分解速度が遅く加工時間がかる、フッ酸によるエッチング法は等方的に反応が進む為小径の貫通孔の加工が対応できない、などの問題がある。
前記の方法の中で、UVレーザ、CO2レーザ、短パルスレーザによる加工法が、加工速度が速く、小径の貫通孔の加工が可能な方法である。しかし、加工速度と孔の真円度はトレードオフの関係にあり、加工速度を上げるとレーザによる熱によりガラス基板表面にガラス材が溶融して飛散したノジュールや貫通孔の回りに土手状にドロスが生じ、ガラス基板表面の平滑性が低下してしまう。このガラス基板の凹凸により、ガラス基板表面に微細配線を形成する事が困難であったり、凹凸部で配線に応力が集中し断線が生じたりする。
また、ガラス表面に導電性の材料をプレートめっきにて形成した後、形成された導伝層の厚みが厚い為、これをCMP(Chemical Mechanical Polishing)法で除去する事が可能である。その際CMPのポリッシュ液にてガラス表面の非晶質の弱い部分が研磨され、ガラス表面に微細な凹凸が生じ、ガラス表面の平滑性が低下してしまう。この場合もこのガラス基板の凹凸により、ガラス基板表面に微細配線を形成する事が困難であったり、凹凸部で配線に応力が集中し断線が生じたりする。
また、図9の(b)に示すように、ガラス表面に導電層の材料をプレートめっきにて形成した後、CMP法でガラス表面の導電層を除去する場合、CMPの導電層の溶解性を有する酸性のポリッシュ液にてガラス表面の非晶質の弱い部分や金属成分部分が研磨され、ガラス表面に微細な凹み24が生じる。このときの凹み24のガラス表面からの深さは3μm以下である。
また、CMP法でガラス表面の導電層を除去する場合、ポリッシュ液中の化学研磨成分以外にフィラーからなる物理研磨成分により貫通孔13内に形成した導電層や穴埋め樹脂14がガラス表面より深く研磨除去されディッシング23を生じてしまう。ディッシング23のガラス表面からの深さは10μm程度になり、この上に導電層を形成しても5μm程度のディッシング23が残ってしまう。
貫通電極を残して、ガラス基材表面に積層した第1の無機密着層及び第1の導電層を除去する不要層除去工程と、ガラス基材の表面のみを研磨する工程と、ガラス基材及び貫通電極上に第2の無機密着層を形成し、第2の無機密着層の上に第2の導電層を形成し貫通電極の上下端を被覆するとともに第1の配線群を形成する工程と、第1の配線群を被覆して絶縁性樹脂層を形成する絶縁性樹脂層工程と、絶縁性樹脂層のうち第1の配線群の配線上にビア孔を形成するビア形成工程と、絶縁性樹脂層上に導電性物質で第2の配線群及び導通ビアを形成する配線群・導通ビア形成工程と、絶縁性樹脂層と配線群とを所定層数形成する工程とを含む配線回路基板の製造方法である。
図1は本発明の一実施形態に係る配線回路基板100の断面図である。図1に示すように、配線回路基板(ガラスインターポーザー)100は、ガラス基材1と、貫通電極3と、第1の無機密着層4と、第2の導電層5と、ランド6と、絶縁性樹脂層7と、配線群8と、導通ビア9と、穴埋め樹脂14とを備えている。
ガラス基材1は、SiO2を主成分とする、ガラスからなる基板(ガラス基板)であり、貫通孔13を有している。
なお、上述の熱膨張率は、JIS:R3102やJIS:K7197に従い、TMA(熱機械分析)にて測定した値である。また、上述のガラス基材1のRa(算術平均粗さ)は触針式の膜厚計にて測定した値である。
ガラス基材1に貫通孔13を形成する方法としては、例えば、CO2レーザやUVレーザ、の他にピコ秒レーザやフェムト秒レーザ、エキシマレーザや放電加工、感光性ガラスやブラスト加工等を使用可能であり、ガラス基材1の厚さや貫通孔13の孔径で選択すれば良い。
また、ガラス基材1の片面から加工して貫通孔13を形成する方法や、両面から加工して貫通孔13を形成する方法を選択すれば良い。
また、第1の無機密着層4は、上記の材料を、単体、または、ITO膜(熱膨張率:9ppm/℃)のように、2種類以上の複合材料を単層にて使用する事が可能である。また、第1の無機密着層4は、クロム/銅、チタン/銅のように、2種類以上の複合材料を2層以上の積層膜にて使用することが可能である。
第1の無機密着層4の使用により、ガラス基材1と貫通電極3及び第1の導電層2との間の密着力を向上させることが可能となる。これに加え、第1の無機密着層4がガラス基材1に比べて熱膨張率が高い事で、貫通電極3及び第1の導電層2とガラス基材1との線膨張係数の差によって発生する、層間にかかる応力を低減することが可能となる。
また、第1の無機密着層4の形成方法は特に限定しないが、スパッタ成膜法、無電解めっき法等を用いることが可能である。
貫通電極3を形成する導電性材料としては、例えば、銅、銀、金、ニッケル、白金、パラジウム、ルテニウム、錫、錫銀、錫銀銅、錫銅、錫ビスマス、錫鉛のうちいずれかの単体金属、または、いずれかの単体金属の積層や化合物が使用可能であり、第1の無機密着層4との密着性や、電気的に接続安定性の高い材料を選定すれば良い。
また、例えば、第1の無機密着層4を形成した後に、第1の導電層2の内側を上述した材料のうち少なくとも1つの金属粉と樹脂材料との混合物である導電性を有する穴埋め樹脂14にて充填し形成することも可能である。
半導体装置の高密度化により、配線や貫通電極3の径Φが微細化され、貫通電極3が高アスペクト比になりフィルドめっき形態が不可能な領域が存在する。高アスペクト比の領域ではコンフォーマルめっき形態で貫通電極3を形成すれば良い。また低いアスペクト比の領域や貫通孔13の上下面の開口が広い形状などフィルドめっき形態で貫通電極3を形成すれば良い。
穴埋め樹脂14の熱膨張率は低いものが望ましく、260℃以下の領域で150ppm/℃以下、望ましくは100ppm/℃以下がよい。
選択研磨性を有するポリッシュ液として例えば、第1の導電層2向けポリッシュ液としてアルミナセや酸化ケイ素や酸化セリウムや添加剤成分として有機酸や過酸化水素ないし添有機アルカリやアルカリなどからなる薬液と、穴埋め樹脂14向けポリッシュ液として酸化ケイ素や酸化セリウムやアルミナなどからなる薬液を混合して使用すれば良い。
第1のCMP後で、ガラス表面のRaは300nm、ディッシング量(へこみ量)は10μmであった。
そして、第2のCMPのポリッシュ液として、第1のCMPにより生じたガラス表面の凹み24や、レーザ加工にて溶融付着したガラスからなるドロス21及びノジュール22を平滑化するために、ガラス基板と化学反応により凹凸の平滑化性の高い酸化セリウムからなる薬液を使用し、ガラス表面の平滑性を100nm以下、ディッシング量(へこみ量)は5μm以下とした。
また、第2のCMPのポリッシュ液として、コロイダルシリカやアルミナからなる薬液にて導電層や穴埋め樹脂14の研磨性を抑制した組成の薬液も使用可能である。
Ra(算術平均粗さ)や表面の凹凸の測定は、触針式の膜厚計や、焦点深度測定が可能な光学顕微鏡を使用した。
第2の導電層5を形成する導電性材料としては、例えば、銅、銀、金、ニッケル、白金、パラジウム、ルテニウム、錫、錫銀、錫銀銅、錫銅、錫ビスマス、錫鉛のうちいずれかの単体金属、または、いずれかの単体金属の積層や化合物が使用可能であり、無機密着層4との密着性や、電気的に接続安定性の高い材料を選定すれば良い。
または第2のCMPの後、第2の無機密着層を形成し感光性レジストにて配線回路になる部分が開口したパタンを形成し、開口部に第2の導電層5を形成した後、感光性レジストと第2の無機密着層を除去して配線郡8を形成ことも可能である。
また、回路基板100は、図1の層数に限定するものでははく、絶縁性樹脂層7と導通ビア9と配線郡8とを必要な層数を積層してなり、例えば、製品の設計により設定すれば良い。
また、配線群8の形成方法は特に限定しないが、シード層として無電解めっき、または、スパッタ膜を使用し、電解めっきにて厚付けし、セミアディティブ法やサブトラクティブ法によりパタン形成する方法を用いればよい。
この場合、例えば、絶縁性樹脂層7の材料を、熱膨張率が30ppm/℃〜100ppm/℃と導電性材料よりも高く、かつ弾性率が高い材料とすることにより、配線郡8を覆うことで配線郡8とガラス基材1との層間にかかる応力を減少させて、配線郡8の剥離を抑制する効果を付与することが可能となる。
配線群8は、第2の無機密着層上に形成されている。
絶縁性樹脂層7にビア孔9を形成する方法は、例えば、絶縁性樹脂層7の材料により選択すれば良く、絶縁性樹脂層7の材料が熱硬化性樹脂であれば、CO2レーザやUVレーザ等を用いた加工により形成可能であり、レーザ加工の後は、レーザ加工で発生したスミアを除去する為にデスミア処理を行えば良い。また、絶縁性樹脂層7の材料が感光性レジストの場合は、フォトリソ法にて形成すれば良い。
図2は本発明の一実施形態に係る半導体装置200の断面図である。図2に示すように、配線回路基板100に半導体素子11を接続し半導体装置200を形成することができる。
図2に示すように、半導体装置200は、配線回路基板100と、半導体素子11とを備えている。
配線回路基板100は、ハンダボールや導通バンプを用いて、図示しないプリント基板に搭載する。
なお、図2に示す半導体素子11の形状や、半導体素子11と配線回路基板100との接続方式は、一例であり、特に限定するものではない。
また、配線回路基板100のガラス基材1表面の平滑性を向上し、ガラス基材1表面の段差や凹凸を低減することにより、第2の導電層5からなる配線郡8の線幅や膜厚の均一性を向上させ、高温−低温の温度変化を伴う信頼性試験において剥離破断を回避し、高い接続信頼性を実現することが可能となる。
次に、本発明の実施形態に係る配線回路基板100の製造方法ついて、図3〜6を参照しつつ説明する。図3、4は第1の実施形態に係る配線回路基板の製造方法を示す断面図であり、図5、6は第2の実施形態に係る配線回路基板の製造方法を示す断面図である。
以下、実施例1について、図1−4を参照しつつ説明する。
ガラス基材1は、厚さ0.3mm、大きさ200mm×200mm、の低膨張ガラス(Ra:100nm、CTE:4ppm/℃)を使用した。
はじめに、ガラス基材1への貫通孔13の形成には、第4光長波のUV−YAGレーザを使用した。貫通孔13の内径は、Top60μmΦ、Bottom40μmΦにて形成した。(図3の(a))
さらに、貫通孔13のコンフォーマル銅めっきのスルーホールの内部には、酸化ケイ素とエポキシ系の有機樹脂との混合材料からなる穴埋め樹脂14をスクリーン印刷により充填した。(図3の(c))
配線群8は、第2の無機密着層としてスパッタ成膜にて0.05μm厚のTi膜と、0.2μm厚のCu膜を積層形成し、第2の無機密着層をシード層として使用しセミアディティブ法により電解銅めっきを厚さ4μm、配線群8のLS値を4μmにて形成した。(図4の(f))
導通ビア9は、コンフォーマルめっきにて形成した。絶縁性樹脂層7への導通ビア9の形成には、UV−YAGレーザを使用し、内径は20μmΦにて形成した(図4の(g))。
貫通孔形成工程では、図3の(a)に示すように、ガラス基材1に対し、UV−YAGレーザにて貫通孔13を形成した。
導電層・貫通電極形成工程では、図3の(c)に示すように、ガラス基材1の両面と貫通孔13の内部とに対し、第1の無機密着層4の上に、導電性材料を用いた電解銅めっきからなる第1の導電層2を形成した。電解銅めっきはコンフォーマルめっき構成として、コンフォーマルめっきの内部は、穴埋め樹脂14を真空印刷にて充填させた後に硬化させた。
そして、第2のCMPとして、ガラス基板1の表面の平滑化研磨をおこなった。
次に、貫通孔13の穴埋め樹脂14の上下面の電気的導通性を付与する無機密着層として、コア基板10の両面に図示しない第2の無機密着層を形成し、セミアディティブ法によりランド6のパタンが開口した感光性レジストパタンを形成し、コア基板10の表面に電解銅めっきを厚さ4μmで形成した。さらに、図4の(f)に示すように、感光性レジストを剥離しガラス基材1の表面のランド6以外の第2の無機密着層のTi膜とCu膜とをウエットエッチングした。
絶縁性樹脂層工程及びビア形成工程では、図4の(g)に示すように、コア基板10の両面に絶縁性樹脂層7をラミネートし、貫通電極3上の絶縁性樹脂層7にUV−YAGレーザにてビア孔を形成した。ここで、ビア孔の径は、貫通電極3の径よりも小径とした。また、UV−YAGレーザ加工にて生じたビア孔内の塵を、アルカリ水溶液系の処理液でデスミアしてクリーニングした。
また、実施例1の半導体装置200の製造方法としては、上述した配線回路基板の製造方法で製造された配線回路基板100に導通パッドを形成する導通パッド形成工程と、導通パッド上に半導体素子11を固定する半導体素子固定工程を含む方法を用いた。
半導体素子固定工程では、ハンダにより、導通パッド上に半導体素子11を固定した。
以下、実施例2について、図1、2を参照しつつ、図5、6を用いて説明する。
ガラス基材1は、厚さ0.3mm、大きさ200mm×200mm、の低膨張ガラス(Ra:100nm、CTE:4ppm/℃)を使用した。
はじめに、ガラス基材1への貫通孔13の形成には、第4光長波のUV−YAGレーザを使用した。貫通孔13の内径は、Top100μmΦ、Bottom80μmΦにて形成した。
(図5の(a))
次に、ガラス基材1表面の第1の導電層2を、酸化ケイ素とアルミナと有機酸の混合液からなるポリッシュ液を使用して、第1のCMPにて、ガラス基材1の表面が露出するまで研磨し除去した。このとき、ガラス基材1の表面にドロス21が、第1の導電層2にはディッシング23が発生した(図5の(d))。
配線群8は、第2の無機密着層としてスパッタ成膜にて0.05μm厚のNi−Cr膜と、0.2μm厚のCu膜を積層形成し、第2の無機密着層をシード層として使用しセミアディティブ法により電解銅めっきを厚さ4μm、配線群8のLS値を4μmにて形成した(図6の(f))。
導通ビア9は、コンフォーマルめっきにて形成した。絶縁性樹脂層7への導通ビア9の形成には、UV−YAGレーザを使用し、内径は20μmΦにて形成した(図6の(g))。
貫通孔形成工程では、図5の(a)に示すように、ガラス基材1に対し、UV−YAGレーザにて貫通孔13を形成した。
導電層・貫通電極形成工程では、図5の(c)に示すように、ガラス基材1の両面と貫通孔13内とに対し、第1の無機密着層4の上に、導電性材料を用いた電解銅めっきからなる第1の導電層2を形成した。電解銅めっきはフィルドめっき形状とした。
そして、第2のCMPとして、ガラス基材1の表面の平滑化研磨をおこなった。
次に、貫通孔13と電気的接続を有する導電層5を形成するための無機密着層として、コア基板10の両面に図示しない第2の無機密着層を形成し、セミアディティブ法によりランド6のパタンが開口した感光性レジストパタンを形成し、コア基板10の表面に電解銅めっきを厚さ4μmで形成した。さらに、図6の(f)に示すように、感光性レジストを剥離しガラス基材1の表面のランド6以外の第2の無機密着層のNi−Cr膜とCu膜とをウエットエッチングした。
絶縁性樹脂層工程及びビア形成工程では、図6の(g)に示すように、コア基板10の両面に絶縁性樹脂層7をラミネートし、貫通電極3上の絶縁性樹脂層7にUV−YAGレーザにてビア孔を形成した。ここで、ビア孔の径は、貫通電極3の径よりも小径とした。また、UV−YAGレーザ加工にて生じたビア孔内の塵を、アルカリ水溶液系の処理液でデスミアしてクリーニングした。
また、実施例2の半導体装置200の製造方法としては、上述した配線回路基板の製造方法で製造された配線回路基板100に導通パッドを形成する導通パッド形成工程と、導通パッド上に半導体素子11を固定する半導体素子固定工程を含む方法を用いた。
半導体素子固定工程では、ハンダにより、導通パッド上に半導体素子11を固定した。
実施例1と実施例2とに係る製造方法により、第2のCMP後のガラス表面の平滑性Raを100nm以下に、ガラス表面のドロス21やノジュール22の高さを5μm以下に減少することが可能である。
また、第2のCMP後の貫通孔13内の貫通電極3のディッシング23量を5μm以下にすることで、その上に形成した導電層5のディッシング量を5μm以下に抑えることが可能である。これらの結果、ガラス基材1表面にL/Sが5μm以下の微細な配線郡を有する配線回路基板100を得ることが可能であることを確認した。
また、配線回路基板100を使用して形成した半導体装置200にて、導電層5の線幅や膜厚の均一性を向上させ、高温−低温の温度変化を伴う信頼性試験において剥離破断を回避し、高い接続信頼性を得ることができることを確認した。
ガラス基板の平滑性Ra(算術平均粗さ)は、触針式膜厚計にて測定した。
信頼性試験は、冷熱衝撃試験(TST) JEDEC、JESD22−A106B、C:125℃〜−55℃、400サイクルにて、断線の有無で評価した。
表1に実施例1、2と、後ほど記載する比較例1のデータをまとめた。
本評価にてガラス基材1の表面の平滑性を向上させることにより、比較例に比べ配線の信頼性が約2倍に向上することが確認された。
以下、比較例について、図1から図6を参照しつつ、図7、8を用いて説明する。図7、8は比較例に係る配線回路基板100の製造方法を示す図である。
ガラス基材1は、厚さ0.3mm、大きさ200mm×200mm、の低膨張ガラス(Ra:100nm、CTE:4ppm/℃)を使用した。
はじめに、図7の(a)に示すように、ガラス基材1への貫通孔13の形成には、第4光長波のUV−YAGレーザを使用した。貫通孔13の内径は、Top60μmΦ、Bottom40μmΦにて形成した。
さらに、貫通孔13のコンフォーマル銅めっきのスルーホールの内部には、酸化ケイ素とエポキシ系の有機樹脂との混合材料からなる穴埋め樹脂14をスクリーン印刷により充填した。
導通ビア9は、コンフォーマルめっきにて形成した。絶縁性樹脂層7への導通ビア9の形成には、UV−YAGレーザを使用し、内径は20μmΦにて形成した。
比較例に係る製造方法により、ガラス基材1の表面に導電層5を形成し、絶縁性樹脂層7を積層し配線郡8を積層形成して配線回路基板を作製することが可能であるが、ガラス基材1の表面のドロス21やノジュール22及びガラス表面のへこみ23などの凹凸により、配線回路基板内で配線巾のバラツキが実施例1、2にくらべ約2倍と大きいことを確認した。
また導電層5に注目したTST信頼性試験後、貫通孔13のガラス孔のエッジ部での配線段差やガラス基材1表面の凹凸部で生じた配線巾や厚みのバラツキに起因し、実施例1、2に比べ導通の破断が約2倍大きいことを確認した。
2 第1の導電層
3 貫通電極
4 第1の無機密着層
5 第2の導電層
6 ランド
7 絶縁性樹脂層
8 配線群
9 導通ビア
10 コア基板
11 半導体素子
12 ソルダーレジスト
13 貫通孔
14 穴埋め樹脂
21 ドロス
22 ノジュール
23 ディッシング(凹み)
24 (ガラス)凹み
100 配線回路基板
200 半導体装置
Claims (13)
- 貫通孔を有するガラス基材と、
前記ガラス基材上に積層され、且つ導通ビアが形成された絶縁性樹脂層と、
前記絶縁性樹脂層に積層された配線群と、
前記貫通孔内の内径面に積層された第1の無機密着層と、
前記第1の無機密着層に積層された第1の導電層により形成される貫通電極と、
前記貫通電極の上下端と電気的に接続され、前記貫通電極および前記ガラス基材上に形成された第2の導電層とを含み、
前記ガラス基材の表面粗さRaが100nm以下であり、
前記第2の導電層の前記貫通電極上のへこみ量が5μm以下である、配線回路基板。 - 前記第1の導電層の内側が穴埋め樹脂で充填され、前記貫通電極の上下端が前記第2の導電層で被覆された、請求項1に記載した配線回路基板。
- 前記第1の無機密着層は前記第1の導電層により内側が充填されている、請求項1に記載した配線回路基板。
- 前記ガラス基材及び前記貫通電極上には第2の無機密着層が形成され、前記第2の導電層は前記第2の無機密着層の上に形成され配線群を形成する、請求項1から請求項3のいずれかに記載した配線回路基板。
- 前記配線群は熱膨張率が前記第2の導電層の材料より高い絶縁性樹脂層にて被覆されている、請求項1から請求項4のいずれかに記載した配線回路基板。
- 前記第1または第2の無機密着層は、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛、ニッケル、ニッケルリン、クロム、酸化クロム、チッ化アルミ、チッ化銅、酸化アルミ、タンタル、チタン、銅のいずれかを含む単層または積層の膜である、請求項1から請求項5のいずれかに記載した配線回路基板。
- 前記第1または第2の導電層及び貫通電極を形成する導電性材料が、銅、銀、金、ニッケル、白金、パラジウム、ルテニウム、錫、錫銀、錫銀銅、錫銅、錫ビスマス、錫鉛のうちいずれかを含む、請求項1から請求項6のいずれかに記載した配線回路基板。
- 前記穴埋め樹脂が、酸化ケイ素、銅、銀、金、ニッケル、白金、パラジウム、ルテニウム、錫、錫銀、錫銀銅、錫銅、錫ビスマス、錫鉛のうちのいずれかを含む粉体と、エポキシ/フェノール系樹脂、ポリイミド樹脂、シクロオレフィン、PBO樹脂のうちいずれかの樹脂材料との混合物である、請求項2に記載した配線回路基板。
- 前記絶縁性樹脂層の材料として、エポキシ/フェノール系樹脂、ポリイミド樹脂、シクロオレフィン、PBO樹脂、酸化ケイ素のいずれかを含む、請求項1から請求項8のいずれかに記載した配線回路基板。
- 請求項1から請求項9のいずれかに記載した配線回路基板と、前記配線回路基板に積層された半導体素子とを含む、半導体装置。
- ガラス基材に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
前記ガラス基材の両表面と前記貫通孔の内径面とに無機材料からなる第1の無機密着層を形成する無機密着層形成工程と、
前記第1の無機密着層の上に導電性材料からなる第1の導電層を形成するとともに前記貫通孔内の隙間に穴埋め樹脂を充填して貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、
前記貫通電極を残して、前記ガラス基材表面に積層した前記第1の無機密着層及び前記第1の導電層を除去する不要層除去工程と、
前記ガラス基材の表面のみを研磨する工程と、
前記ガラス基材及び前記貫通電極上に第2の無機密着層を形成し、前記第2の無機密着層の上に第2の導電層を形成し前記貫通電極の上下端を被覆するとともに第1の配線群を形成する工程と、
前記第1の配線群を被覆して絶縁性樹脂層を形成する絶縁性樹脂層工程と、
前記絶縁性樹脂層のうち第1の配線群の配線上にビア孔を形成するビア形成工程と、
前記絶縁性樹脂層上に導電性物質で第2の配線群及び導通ビアを形成する配線群・導通ビア形成工程と、
前記絶縁性樹脂層と前記配線群とを所定層数形成する工程とを含む配線回路基板の製造方法。 - ガラス基材に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
前記ガラス基材の両表面と前記貫通孔の内径面とに無機材料からなる第1の無機密着層を形成する無機密着層形成工程と、
前記第1の無機密着層の上に導電性材料からなる第1の導電層を形成し前記貫通孔内を導電性材料にて充填して貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、
前記貫通電極を残して、前記ガラス基材表面に積層した前記第1の無機密着層及び前記第1の導電層を除去する不要層除去工程と、
前記ガラス基材の表面のみを研磨する工程と、
前記ガラス基材及び前記貫通電極上に第2の無機密着層を形成し、前記第2の無機密着層の上に第2の導電層を形成し貫通電極の上下端を被覆するとともに第1の配線群を形成する工程と、
前記第1の配線群を被覆して絶縁性樹脂層を形成する絶縁性樹脂層工程と、
前記絶縁性樹脂層のうち第1の配線群の配線上にビア孔を形成するビア形成工程と、
前記絶縁性樹脂層上に導電性物質で第2の配線群及び導通ビアを形成する配線群・導通ビア形成工程と、
前記絶縁性樹脂層と前記配線群とを所定層数形成する工程とを含む配線回路基板の製造方法。 - 請求項12または請求項13に記載した配線回路基板の製造方法で製造された配線回路基板に導通パッドを形成する導通パッド形成工程と、
前記導通パッド上に半導体素子を固定する半導体素子固定工程とを含む、半導体装置の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015119668A JP6657609B2 (ja) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
TW105117835A TWI708352B (zh) | 2015-06-12 | 2016-06-06 | 配線電路基板之製造方法及半導體裝置之製造方法 |
CN201680034249.1A CN107683524A (zh) | 2015-06-12 | 2016-06-07 | 配线电路基板、半导体装置、配线电路基板的制造方法以及半导体装置的制造方法 |
PCT/JP2016/002736 WO2016199399A1 (ja) | 2015-06-12 | 2016-06-07 | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
KR1020187000749A KR102550276B1 (ko) | 2015-06-12 | 2016-06-07 | 배선 회로 기판, 반도체 장치, 배선 회로 기판의 제조 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US15/835,637 US10790209B2 (en) | 2015-06-12 | 2017-12-08 | Wiring circuit substrate, semiconductor device, method of producing the wiring circuit substrate, and method of producing the semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015119668A JP6657609B2 (ja) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017005174A true JP2017005174A (ja) | 2017-01-05 |
JP6657609B2 JP6657609B2 (ja) | 2020-03-04 |
Family
ID=57503468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015119668A Active JP6657609B2 (ja) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10790209B2 (ja) |
JP (1) | JP6657609B2 (ja) |
KR (1) | KR102550276B1 (ja) |
CN (1) | CN107683524A (ja) |
TW (1) | TWI708352B (ja) |
WO (1) | WO2016199399A1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180113050A (ko) * | 2017-04-05 | 2018-10-15 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판 제조 방법, 세라믹 기판 및 반도체 패키지 |
JP2018174194A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板およびその製造方法 |
JP2018207104A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-27 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板及びその製造方法 |
JP2019102572A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 凸版印刷株式会社 | ガラスコア、多層配線基板、及びガラスコアの製造方法 |
JP2022522590A (ja) * | 2019-03-07 | 2022-04-20 | アブソリックス インコーポレイテッド | パッケージング基板及びこれを含む半導体装置 |
JP7400575B2 (ja) | 2020-03-23 | 2023-12-19 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板 |
US11967542B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-04-23 | Absolics Inc. | Packaging substrate, and semiconductor device comprising same |
US11981501B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-05-14 | Absolics Inc. | Loading cassette for substrate including glass and substrate loading method to which same is applied |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6539992B2 (ja) * | 2014-11-14 | 2019-07-10 | 凸版印刷株式会社 | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法、半導体装置の製造方法 |
US10531566B2 (en) * | 2017-07-11 | 2020-01-07 | AGC Inc. | Glass substrate |
JP6806951B2 (ja) * | 2018-02-20 | 2021-01-06 | 三井金属鉱業株式会社 | ガラスキャリア付銅箔及びその製造方法 |
US10827624B2 (en) * | 2018-03-05 | 2020-11-03 | Catlam, Llc | Catalytic laminate with conductive traces formed during lamination |
CN112335037A (zh) * | 2018-06-08 | 2021-02-05 | 凸版印刷株式会社 | 玻璃装置的制造方法以及玻璃装置 |
US11171094B2 (en) * | 2019-02-05 | 2021-11-09 | Corning Incorporated | Hermetic fully-filled metallized through-hole vias |
CN113261094B (zh) * | 2019-03-07 | 2024-04-16 | 爱玻索立克公司 | 封装基板及包括其的半导体装置 |
JP7287116B2 (ja) * | 2019-05-30 | 2023-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイスおよび電子機器 |
US11694959B2 (en) * | 2019-07-29 | 2023-07-04 | Intel Corporation | Multi-die ultrafine pitch patch architecture and method of making |
CN117995806A (zh) * | 2022-10-31 | 2024-05-07 | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 | 封装件和制造封装件的方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008205356A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Siix Corp | 回路基板及び回路基板への電子部品実装方法 |
JP2013521663A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-06-10 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 無機インターポーザ上のパッケージ貫通ビア(tpv)構造およびその製造方法 |
JP2013222944A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Dainippon Printing Co Ltd | インターポーザおよびこれを用いた半導体装置 |
JP2015070189A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 凸版印刷株式会社 | インターポーザーおよびその製造方法、並びにインターポーザーを備える半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000246474A (ja) | 1999-02-25 | 2000-09-12 | Seiko Epson Corp | レーザ光による加工方法 |
JP2000302488A (ja) | 1999-04-23 | 2000-10-31 | Seiko Epson Corp | ガラスの微細穴加工方法 |
JP2001102479A (ja) | 1999-09-27 | 2001-04-13 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP4345153B2 (ja) * | 1999-09-27 | 2009-10-14 | ソニー株式会社 | 映像表示装置の製造方法 |
JP2002261204A (ja) | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Hitachi Aic Inc | インターポーザ基板及びその電子部品実装体 |
JP4488684B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2010-06-23 | イビデン株式会社 | 多層プリント配線板 |
US7485962B2 (en) * | 2002-12-10 | 2009-02-03 | Fujitsu Limited | Semiconductor device, wiring substrate forming method, and substrate processing apparatus |
KR100826068B1 (ko) * | 2003-09-09 | 2008-04-29 | 호야 가부시키가이샤 | 양면 배선 글래스 기판의 제조 방법 |
JP4564342B2 (ja) * | 2004-11-24 | 2010-10-20 | 大日本印刷株式会社 | 多層配線基板およびその製造方法 |
US7462784B2 (en) * | 2006-05-02 | 2008-12-09 | Ibiden Co., Ltd. | Heat resistant substrate incorporated circuit wiring board |
JP2009039827A (ja) | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Fujitsu Ltd | 研磨装置、基板及び電子機器の製造方法 |
US20100006334A1 (en) * | 2008-07-07 | 2010-01-14 | Ibiden Co., Ltd | Printed wiring board and method for manufacturing the same |
WO2012040063A1 (en) * | 2010-09-23 | 2012-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Integrated passives and power amplifier |
US9082764B2 (en) * | 2012-03-05 | 2015-07-14 | Corning Incorporated | Three-dimensional integrated circuit which incorporates a glass interposer and method for fabricating the same |
US9935166B2 (en) * | 2013-03-15 | 2018-04-03 | Qualcomm Incorporated | Capacitor with a dielectric between a via and a plate of the capacitor |
-
2015
- 2015-06-12 JP JP2015119668A patent/JP6657609B2/ja active Active
-
2016
- 2016-06-06 TW TW105117835A patent/TWI708352B/zh active
- 2016-06-07 CN CN201680034249.1A patent/CN107683524A/zh active Pending
- 2016-06-07 KR KR1020187000749A patent/KR102550276B1/ko active IP Right Grant
- 2016-06-07 WO PCT/JP2016/002736 patent/WO2016199399A1/ja active Application Filing
-
2017
- 2017-12-08 US US15/835,637 patent/US10790209B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008205356A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Siix Corp | 回路基板及び回路基板への電子部品実装方法 |
JP2013521663A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-06-10 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 無機インターポーザ上のパッケージ貫通ビア(tpv)構造およびその製造方法 |
JP2013222944A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Dainippon Printing Co Ltd | インターポーザおよびこれを用いた半導体装置 |
JP2015070189A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 凸版印刷株式会社 | インターポーザーおよびその製造方法、並びにインターポーザーを備える半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018174194A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板およびその製造方法 |
KR20180113050A (ko) * | 2017-04-05 | 2018-10-15 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판 제조 방법, 세라믹 기판 및 반도체 패키지 |
KR102357629B1 (ko) * | 2017-04-05 | 2022-02-04 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판 제조 방법 |
JP2018207104A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-27 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板及びその製造方法 |
JP7110731B2 (ja) | 2017-05-30 | 2022-08-02 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板及びその製造方法 |
JP2019102572A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 凸版印刷株式会社 | ガラスコア、多層配線基板、及びガラスコアの製造方法 |
US11756846B2 (en) | 2017-11-30 | 2023-09-12 | Toppan Printing Co., Ltd. | Glass core, multilayer circuit board, and method of manufacturing glass core |
JP2022522590A (ja) * | 2019-03-07 | 2022-04-20 | アブソリックス インコーポレイテッド | パッケージング基板及びこれを含む半導体装置 |
JP7293360B2 (ja) | 2019-03-07 | 2023-06-19 | アブソリックス インコーポレイテッド | パッケージング基板及びこれを含む半導体装置 |
US11967542B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-04-23 | Absolics Inc. | Packaging substrate, and semiconductor device comprising same |
US11981501B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-05-14 | Absolics Inc. | Loading cassette for substrate including glass and substrate loading method to which same is applied |
JP7400575B2 (ja) | 2020-03-23 | 2023-12-19 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107683524A (zh) | 2018-02-09 |
KR20180017117A (ko) | 2018-02-20 |
US20180166354A1 (en) | 2018-06-14 |
JP6657609B2 (ja) | 2020-03-04 |
WO2016199399A1 (ja) | 2016-12-15 |
TW201711153A (zh) | 2017-03-16 |
TWI708352B (zh) | 2020-10-21 |
US10790209B2 (en) | 2020-09-29 |
KR102550276B1 (ko) | 2023-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6657609B2 (ja) | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法および半導体装置の製造方法 | |
CN107112297B (zh) | 配线电路基板、半导体装置、配线电路基板的制造方法、半导体装置的制造方法 | |
TWI670803B (zh) | 中介層、半導體裝置、中介層的製造方法及半導體裝置的製造方法 | |
JP6747063B2 (ja) | ガラス回路基板 | |
JP6672859B2 (ja) | 配線回路基板用のコア基板の製造方法、配線回路基板の製造方法、および半導体装置の製造方法 | |
JP6840935B2 (ja) | 配線回路基板の製造方法 | |
JP6467814B2 (ja) | 配線基板の製造方法、並びに半導体装置の製造方法 | |
WO2016114133A1 (ja) | インターポーザ、半導体装置、およびそれらの製造方法 | |
JP2015198093A (ja) | インターポーザー、半導体装置、インターポーザーの製造方法、半導体装置の製造方法 | |
JP2017005081A (ja) | インターポーザ、半導体装置、およびそれらの製造方法 | |
JP2018186121A (ja) | 半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、および半導体装置 | |
JP2017107934A (ja) | 回路基板、電子機器、及び回路基板の製造方法 | |
JP2016058483A (ja) | インターポーザー、半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP5994484B2 (ja) | プリント配線板 | |
JP2017228727A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP6828733B2 (ja) | インターポーザー、半導体装置、インターポーザーの製造方法、半導体装置の製造方法 | |
JP6950795B2 (ja) | ガラス回路基板 | |
JP2020053512A (ja) | 配線回路基板、半導体装置および配線回路基板の製造方法 | |
JP2016134392A (ja) | インターポーザ、半導体装置、およびそれらの製造方法 | |
JP2017069399A (ja) | インターポーザ、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6657609 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |