JP2009039827A - 研磨装置、基板及び電子機器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークWの両面Wa及びWbを同時に研磨する研磨装置であって、一対の研磨面142a,162aの一方の回転軸の周りに設けられた太陽歯車156と、ワークWを収納する収納穴と、太陽歯車156と係合して太陽歯車156の周りを自転しつつ公転する遊星歯車として機能するための歯を有するキャリア110と、太陽歯車156とキャリア110の収納穴との間で、研磨面142a,162aに対向するキャリア110の一面に接触する第1の弾性部材220を有する第1の防塵機構200と、を有することを特徴とする研磨装置を提供する。
【選択図】図19
Description
前記一対の研磨面の一方の回転軸の周りに設けられた太陽歯車と、
前記ワークを収納する収納穴と、前記太陽歯車と係合して前記太陽歯車の周りを自転しつつ公転する遊星歯車として機能するための歯を有するキャリアと、
前記太陽歯車と前記キャリアの収納穴との間で、前記研磨面に対向する前記キャリアの一面に接触する第1の弾性部材を有する第1の防塵機構と、
を有することを特徴とする研磨装置。(1)
(付記2) 前記第1の弾性部材は、前記回転軸を中心として前記太陽歯車と同心円状に延びることを特徴とする付記1に記載の研磨装置。
(付記4) 前記第1のブロックは、前記ワークの両面を研磨する一対のパッドを有する一対の定盤に対して、研磨中に固定されることを特徴とする付記3に記載の研磨装置。
(付記6) 前記第1のブロックは、前記第1の流体供給部が供給する前記流体が通過する貫通孔を有し、前記回転軸から見て前記貫通孔よりも外側に前記第1の弾性部材が取り付けられる第1のブロックを更に有することを特徴とする付記5に記載の研磨装置。
前記外輪歯車と前記キャリアの収納穴との間で、前記研磨面に対向する前記キャリアの一面に接触する第2の弾性部材を有する第2の防塵機構と、
を更に有することを特徴とする付記1に記載の研磨装置。(4)
(付記8) 前記第2の弾性部材は、前記回転軸を中心として前記外輪歯車と同心円状に延びることを特徴とする付記7に記載の研磨装置。
(付記10) 前記第2のブロックは、前記ワークの両面を研磨する一対のパッドを有する一対の定盤に対して、研磨中に固定されることを特徴とする付記9に記載の研磨装置。
(付記12) 前記第2のブロックは、前記第1の流体供給部が供給する前記流体が通過する貫通孔を有し、前記回転軸から見て前記貫通孔よりも内側に前記第2の弾性部材が取り付けられる第2のブロックを更に有することを特徴とする付記9に記載の研磨装置。
(付記16) 基板を作成するステップと、前記基板に加工を施すステップと、を有する基板の製造方法において、
前記作成ステップは、ワークをラップする仕上げステップと、前記ワークを化学機械研磨する超仕上げステップと、を有し、
前記仕上げステップ及び前記超仕上げステップの少なくとも一方は、付記1乃至15のうちいずれか一項に記載の研磨装置を使用することを特徴とする製造方法。(8)
(付記17) 基板を作成するステップと、前記基板を加工するステップと、前記基板を平坦化するステップとを有する基板の製造方法において、
前記作成ステップ及び前記平坦化ステップの少なくとも一方は、ワークをラップする仕上げステップと、前記ワークを化学機械研磨する超仕上げステップと、を有し、
前記仕上げステップ及び前記超仕上げステップの少なくとも一方は、付記1乃至15のうちいずれか一項に記載の研磨装置を使用することを特徴とする基板の製造方法。(9)
(付記18) 付記16又は17に記載の基板の製造方法によって基板を製造するステップと、
電子部品を製造するステップと、
前記基板と前記電子部品から電子機器を製造するステップと、
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。(10)
110−110L キャリア
113−113B 収納穴
140、160 上下定盤
142、162 パッド
142a、162a パッド面(研磨面)
148、168 タコジェネレータ(検出部)
150 ギアボックス
170 シリンダ(加圧部)
200、240 第1、第2の防塵機構
210、250 第1、第2のブロック
220、260 ワイパー(第1、第2の弾性部材)
400 メムスセンサ(電子機器)
420 ガラス基板
430 メムスチップ(電子部品)
W ワーク
Claims (10)
- ワークの両面を同時に研磨する研磨装置であって、
前記一対の研磨面の一方の回転軸の周りに設けられた太陽歯車と、
前記ワークを収納する収納穴と、前記太陽歯車と係合して前記太陽歯車の周りを自転しつつ公転する遊星歯車として機能するための歯を有するキャリアと、
前記太陽歯車と前記キャリアの収納穴との間で、前記研磨面に対向する前記キャリアの一面に接触する第1の弾性部材を有する第1の防塵機構と、
を有することを特徴とする研磨装置。 - 前記第1の防塵機構は、前記回転軸を中心として前記太陽歯車と同心円状に設けられ、前記第1の弾性部材が取り付けられる第1のブロックを更に有することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記第1の防塵機構は、前記キャリアの前記歯と前記第1の弾性部材との間に流体を供給する第1の流体供給部を更に有することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記キャリアの歯と係合する外輪歯車と、
前記外輪歯車と前記キャリアの収納穴との間で、前記研磨面に対向する前記キャリアの一面に接触する第2の弾性部材を有する第2の防塵機構と、
を更に有することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記第2の防塵機構は、前記回転軸を中心として前記外輪歯車と同心円状に設けられ、前記第2の弾性部材が取り付けられる第2のブロックを更に有することを特徴とする請求項4に記載の研磨装置。
- 前記第2の防塵機構は、前記キャリアの前記歯と前記第2の弾性部材との間に流体を供給する第2の流体供給部を更に有することを特徴とする請求項5に記載の研磨装置。
- 前記研磨装置は、化学機械研磨によって前記ワークを研磨することを特徴とする付記1乃至6のうちいずれか一項に記載の研磨装置。
- 基板を作成するステップと、前記基板に加工を施すステップと、を有する基板の製造方法において、
前記作成ステップは、ワークをラップする仕上げステップと、前記ワークを化学機械研磨する超仕上げステップと、を有し、
前記仕上げステップ及び前記超仕上げステップの少なくとも一方は、請求項1乃至7のうちいずれか一項に記載の研磨装置を使用することを特徴とする製造方法。 - 基板を作成するステップと、前記基板を加工するステップと、前記基板を平坦化するステップとを有する基板の製造方法において、
前記作成ステップ及び前記平坦化ステップの少なくとも一方は、ワークをラップする仕上げステップと、前記ワークを化学機械研磨する超仕上げステップと、を有し、
前記仕上げステップ及び前記超仕上げステップの少なくとも一方は、請求項1乃至7のうちいずれか一項に記載の研磨装置を使用することを特徴とする基板の製造方法。 - 請求項8又は9に記載の基板の製造方法によって基板を製造するステップと、
電子部品を製造するステップと、
前記基板と前記電子部品から電子機器を製造するステップと、
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
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