JP2016219764A - 円形分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一種の円形分割方法で、ウエハー10の上部に複数のブレード20を設置し、ウエハーの外縁11に切り残しの無い安全な距離値40かフープ30の内縁32を切り込まない安全な距離値に基づいてブレード交換の条件を設定し、ウェハー下辺から上辺に向けて分割を行う。
【効果】ブレードがフープのフレームを切ったり、完全なウエハー分割ができなくなることを予防し、生産性が向上する。
【選択図】図1
Description
11、外縁
20、ード
21、第一ブレード
22、第二ブレード
23、第三ブレード
24、第四ブレード
25、第五ブレード
26、ブレードエッジ
30、フープ
31、外縁
32、内縁
40、安全距離値
50、安全距離値
S100、(a) 複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称
S110、(b) ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割していく
S120、(c) 分割の過程においてそのブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする
S130、(d) ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する
S200、(a) 複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称
S210、(b) ウエハーの下辺からウエハーの上辺へ順に分割していく
S220、(c) 分割の過程においてそのフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする
S230、(d) フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する
Claims (6)
- 円形分割方法で、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてウエハー外縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置し、そのブレードの長さはそれぞれ異なり、
(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称;
(b)ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割を進める;
(c)分割の過程においてそのブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする;さらに
(d)ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する、分割ステップを有する円形分割方法。
- 前記複数のブレードは5種類の長さに分かれ、前記複数のブレードはその長短により第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付け、さらに(b)のステップで分割を行う際は第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードの順とする、請求項1に記載の円形分割方法。
- 前記ウエハー外縁の安全距離値はウエハー外縁からブレードエッジまでの距離とする、請求項1に記載の円形分割方法。
- 円形分割方法で、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてフープ内縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置し、そのブレードの長さはそれぞれ異なり、
(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称;
(b)ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割を進める;
(c)分割の過程においてそのフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする;さらに
(d)フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する、分割ステップを有する円形分割方法。
- 前記複数のブレードは5種類の長さに分かれ、複数のブレードはその長短により第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付け、さらに(b)のステップで分割を行う際は第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードの順とする、請求項4に記載の円形分割方法。
- 前記フープ内縁の安全距離値はフープ内縁からブレードエッジまでの距離とする、請求項4に記載の円形分割方法。
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