JP2016219764A - 円形分割方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ウェハーのサイズが大きくなっても、固定台のサイズを大きくせずにブレードの条件を変更するだけで分割できる方法を提供する。
【解決手段】一種の円形分割方法で、ウエハー10の上部に複数のブレード20を設置し、ウエハーの外縁11に切り残しの無い安全な距離値40かフープ30の内縁32を切り込まない安全な距離値に基づいてブレード交換の条件を設定し、ウェハー下辺から上辺に向けて分割を行う。
【効果】ブレードがフープのフレームを切ったり、完全なウエハー分割ができなくなることを予防し、生産性が向上する。
【選択図】図1

Description

この発明は一種の円形分割方法に関するもので、特にブレードの交換条件を設定するステップに利用できるものを指し、生産性を高める効果を持ち、ウエハー分割工程や類似の製造工程に適用する。
目下の半導体産業において、ウエハー製造完成後はすべて分割工程に進む必要があり、ウエハーを分割して一つ一つのチップにした後、封入作業に進むことができる。
しかしながら、目下産業上で使用している分割工程はウエハーをより大きなサイズの台に固定して、例えば12インチのウエハーなら16インチの台に固定し、ブレードが分割する際、台のフレームを切って刃を損傷したり、ウエハーを一度で完全に分割できなくなることを防止している。これでは工程時間を増やすだけでなく、ウエハーの生産性も上がらない。
他にも、ウエハーのサイズが大きくなるに合わせて、より大きな台を用意しなければならず、非常に非経済的である。
したがって、本発明者は上述の欠点を鑑みて、一種のブレードの条件を変更する円形分割方法を提案できる。ユーザーは簡単に操作組立できるので、研究、組立設計に没頭できる。ユーザーに利便性をもたらすことが、本発明者が研究開発した発明の動機である。
この発明の主な目的は、一種の円形分割方法に提供するもので、主に半導体のウエハーの運用に関係する。ウエハーの上部に複数のブレードを設置して、ウエハー外縁の安全距離値かフープ内縁の安全距離値に基づいてブレードの交換条件を設定するステップに用い、ブレードが分割する際にフレームを切ってウエハーの分割が完成できなくなることを予防できる。これは生産性を高める効果があり、さらに全体の実用性を高めるものである。
この発明のもう一つの目的は、円形分割方法において、複数のブレードが5種類の長さに分かれ、その長短によって第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付けられており、(b)ステップで分割を行う際に、第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードという順で進み、ウエハー外縁かフープ内縁に基づいて設定した安全距離値によってブレード交換の段取りを行い、ウエハーの長さやフープ内縁の長さの変化に沿って適当なブレードに交換し、さらには全体の安全性を高めるものである。
上述の目的を達成するために、この発明の円形分割方法は主に2種類あり、第一種はフープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置し、ウエハー外縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置、その複数のブレードの長さはそれぞれ異なり、その主な分割ステップは以下の通り:(a)複数のブレードのサイズはウエハー円心と対称;(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割していく;(c)分割の過程において、ブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする;並びに(d)ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する。或は第二種は、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてフープ内縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置、複数のブレードの長さはそれぞれ異なり、その主な分割ステップは以下の通り:(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称;(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割していく;(c)分割の過程において、フープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする;並びに(d)フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する。
更に進んでこの発明の特徴を理解する為、特徴と技術内容は、以下のこの発明に関する詳細説明と添付図を参照してください。ただしすべての添付図は参考と説明に提供するだけであり、この発明を制限するのに使うものではありません。
図1はこの発明の第一種のステップの平面構造図である。 図2はこの発明の第一種のステップのプロセス図である。 図3はこの発明の第二種のステップの平面構造図である。 図4はこの発明の第二種のステップのプロセス図である。
図1〜4を参照。これはこの発明の実施例を示す図で、この発明の円形分割方法は主にウエハー10分割工程での運用に関係し、以下の分割ステップを通してブレード20が分割を行う際にフープ30のフレームを切ってウエハー10の分割が完成できなくなることを予防し、生産性を高める効果があるものである。
この発明の円形分割方法は主に二種類あり、第一種はフープ30を設置し、そのフープ30内にウエハー10を設置、そして12インチ(300mm)のウエハー10であれば、そのフープ30の外縁31は16インチ(400mm)とし、またフープ30の内縁32が14インチ(350mm)ならば、ウエハー10はフープ30内にちょうど収まる(図1に表示)。
それから、ウエハー10上部に複数のブレード20を設置し、複数のブレード20の長さはそれぞれ異なり、その複数のブレード20の長さは五種類に分かれ、長短によって第一ブレード21、第二ブレード22、第三ブレード23、第四ブレード24、第五ブレード25と取り付け、第一ブレード21の長さが最も長く、第五ブレード25の長さが最も短い。ブレード20の取り付け位置はウエハー10円心から同じ距離で外に向かって順に取り付け、その中の第一ブレード21の取り付け位置が最もウエハー10円心に近く、第五ブレード25の取り付け位置がウエハー10円心から最も遠く、ウエハー10の端である(図1に表示)。
ほかにこの発明はウエハー10外縁11に関して安全距離値40を設定し、その安全距離値40はウエハー10外縁11からブレード20のエッジ26までの距離で、その主な分割ステップでまず最初に行うステップS100は(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称;(図2に表示)まず、複数のブレード20のサイズはウエハー10の円心と対称にし、各ブレード20がウエハー10を切る時、完全にウエハー10を分割し、半分だけ分割するような事態が発生しないようにし、上述のステップS100が完成した後次のステップに進む。
ほかに、次に進むステップS110は(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割すること;(図2表示)分割を行う際は複数のブレード20を通してウエハー10の下辺からウエハー10の上辺へと順に分割を進め、その使用する複数のブレード20の順序は第五ブレード25、第四ブレード24、第三ブレード23、第二ブレード22、第一ブレード21、第一ブレード21、第二ブレード22、第三ブレード23、第四ブレード24、第五ブレード25の順、ブレード20は分割するウエハー10の長さに合わせて交換でき、上述のステップS110が完成した後次のステップに進む。
また、次に進むステップS120は(c)分割の過程においてブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くすること;(図2表示)完全にウエハー10を分割する為に、分割の過程においてそのブレード20の長さとウエハー10の長さの差異は安全距離値40より低くする、例えば、ウエハー10の長さが300mm、ブレード20の長さが320mmとして、その安全距離値40を11mmに設定(ウエハー10外縁からブレード20エッジ26までの距離)した時、そのブレード20の長さ320mm引くウエハー20の長さ300mmは20mmでさらに2で割り(両端)それぞれ10mmが設定した安全距離値40を超えない距離で、ウエハー10を完全に分割させられる。そして上述のステップS120が完成した後、次のステップに進む。
次に進むステップS130は(d)ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時、すぐにブレードを交換することである;(図2に表示)ブレード20の長さが長すぎて分割時にフープ30を切ることを防ぐ為、分割の過程において、そのブレード20の長さとウエハー10の長さの差異が安全距離値40より大きい時は、すぐにブレード20を交換する。例えば、分割後のウエハー10の長さを300mmにして、分割したいウエハー10の長さが250mmの時、もし元々のブレード20(長さ320mm)を使って分割を進めるとブレード20の長さ320mm引くウエハー10の長さ250mmは70mmでさらに2で割り(両端)各35mmが設定した安全距離値40 11mm(ウエハー10外縁11からブレード20エッジ26までの距離)を容易に超え、ブレード20の長さが長すぎるために容易にフープ30を切ってしまい、ウエハー10の完全分割ができなくなるため、ブレード20の長さ270mmに交換し、ブレード20の長さ270mm引くウエハー10の長さ250mmは20mmさらに2で割り(両端)各10mmで設定した安全距離値40を超えず、ウエハー10の完全分割が可能になる。
この発明の円形分割方法の第二種はフープ30を設置し、そのフープ30内にウエハー10を設置、12インチのウエハー(300mm)を例にすると、そのフープ30外縁31は16インチ(400mm)、またフープ30の内縁32が14インチ(350mm)なら、ウエハー10はフープ30内にちょうど収まる(図3に表示)。
ウエハー10の上部に複数のブレード20を設置し、その複数のブレード20の長さはそれぞれ異なり、複数のブレード20は五種類の長さに分かれ、長短によって第一ブレード21、第二ブレード22、第三ブレード23、第四ブレード24、第五ブレード25と取り付け、第一ブレード21の長さが最も長く、第五ブレード25の長さが最も短い。ブレード20の取り付け位置はウエハー10円心から同じ距離で外に向かって順に取り付け、その中の第一ブレード21の取り付け位置が最もウエハー10円心に近く、第五ブレード25の取り付け位置がウエハー10円心から最も遠く、ウエハー10の端である(図3に表示)。
この発明はフープ30内縁32に関して安全距離値50を設定し、その安全距離値50はフープ30内縁32からブレード20エッジ26までの距離で、その主な分割ステップにおいて最初に行うステップS200は、(a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称であること;(図4に表示)まず、複数のブレード20のサイズはウエハー10の円心と対称にし、各ブレード20がウエハー10を切る時、完全にウエハー10を分割し、半分だけ分割するような事態が発生しないようにし、上述のステップS200が完成した後次のステップに進む。
ほかに、次に進むステップS210は(b)ウエハーの下辺からウエハーの上辺へと順に分割すること;(図4表示)分割を行う際は複数のブレード20を通してウエハー10の下辺からウエハー10の上辺へと順に分割を進め、その使用する複数のブレード20の順序は第五ブレード25、第四ブレード24、第三ブレード23、第二ブレード22、第一ブレード21、第一ブレード21、第二ブレード22、第三ブレード23、第四ブレード24、第五ブレード25の順、ブレード20は分割するウエハー10の長さに合わせて交換でき、上述のステップS210が完成した後次のステップに進む。
また、次に進むステップS220は(c)分割の過程においてフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くすること;(図4表示)完全にウエハー10を分割する為に、分割の過程においてそのブレード20の長さとフープ30内縁32の長さの差異は安全距離値50より低くする、例えば、ウエハー10の長さが250mm、フープ30内縁32の長さが280mmとして、そのブレードの長さが270mmで、その安全距離値50を11mmに設定(フープ30内縁32からブレード20エッジ26までの距離)した時、そのフープ30内縁32の長さ280mm引くブレード20の長さ270mmは10mmでさらに2で割り(両端)各5mmが設定した安全距離値50を超えない距離で、ウエハー10を完全に分割させられる。そして上述のステップS220が完成した後、次のステップに進む。
次に進むステップS230は(d)フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時、すぐにブレードを交換することである;(図4に表示)ブレード20の長さが短すぎるために完全にウエハー10を分割できないことを防ぐ為に、分割の過程においてフープ30内縁32の長さとブレード20の長さの差異が安全距離値50より大きい時、すぐにブレード20を交換する。例えば、分割後のウエハー10の長さを250mmとした後、分割したいウエハー10の長さが300mm、そのフープ30内縁32の長さが340mmの時、もし元々のブレード20(長さ270mm)を使って分割を進めれば、フープ30内縁32長さ340mm引く元のブレード20の長さ270mmは70mmでさらに2で割り(両端)各35mmで容易に設定の安全距離値50の11mmを超えてしまい(フープ30内縁32からブレード20エッジ26までの距離)、ブレード20の長さが短すぎるためにウエハー10の完全な分割ができなくなる。したがって、ブレード20を長さを320mmに交換して、フープ30内縁32長さ340mm引くブレード20長さ320mmは20mmでさらに2で割り(両端)各10mmで設定の安全距離値50を超えず、ウエハー10を完全に分割できる。
これにより、この発明はウエハー10外縁11かフープ30内縁32に基づいて設定した安全距離値40、50でブレード20を交換し、ブレード20はウエハー10の長さかフープ30内縁32の長さの変化に合わせて適当なブレード20に交換し、さらに全体の安全性を高めるものである。
以上の詳細説明により、この項目を熟知している技術者はこの発明が前述の目的を確実に達成できることを了解できる。事実が特許法の規定に符合しているため、ここに特許出願する。
ただし以上に述べたことは、この発明の望ましい実施例に過ぎず、これによりこの発明の実施範囲を限定することはできない;それゆえ、この発明で出願する特許範囲と発明の説明書内容がもたらす単純な同等の変化及び修正はおしなべてみな、この発明の特許範囲内でカバーするものとする。
10、ウエハー
11、外縁
20、ード
21、第一ブレード
22、第二ブレード
23、第三ブレード
24、第四ブレード
25、第五ブレード
26、ブレードエッジ
30、フープ
31、外縁
32、内縁
40、安全距離値
50、安全距離値
S100、(a) 複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称
S110、(b) ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割していく
S120、(c) 分割の過程においてそのブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする
S130、(d) ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する
S200、(a) 複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称
S210、(b) ウエハーの下辺からウエハーの上辺へ順に分割していく
S220、(c) 分割の過程においてそのフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする
S230、(d) フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する

Claims (6)

  1. 円形分割方法で、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてウエハー外縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置し、そのブレードの長さはそれぞれ異なり、
    (a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称;
    (b)ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割を進める;
    (c)分割の過程においてそのブレードの長さとウエハーの長さの差異は安全距離値より低くする;さらに
    (d)ブレードの長さとウエハーの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する、分割ステップを有する円形分割方法。
  2. 前記複数のブレードは5種類の長さに分かれ、前記複数のブレードはその長短により第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付け、さらに(b)のステップで分割を行う際は第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードの順とする、請求項1に記載の円形分割方法。
  3. 前記ウエハー外縁の安全距離値はウエハー外縁からブレードエッジまでの距離とする、請求項1に記載の円形分割方法。
  4. 円形分割方法で、フープを設置し、そのフープ内にウエハーを設置、そしてフープ内縁に関して安全距離値を設定、さらにウエハー上部に複数のブレードを設置し、そのブレードの長さはそれぞれ異なり、
    (a)複数のブレードのサイズはウエハーの円心と対称;
    (b)ウエハー下辺からウエハー上辺へ順に分割を進める;
    (c)分割の過程においてそのフープ内縁の長さとブレードの長さの差異は安全距離値より低くする;さらに
    (d)フープ内縁の長さとブレードの長さの差異が安全距離値より大きい時は、すぐにブレードを交換する、分割ステップを有する円形分割方法。
  5. 前記複数のブレードは5種類の長さに分かれ、複数のブレードはその長短により第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードとして取り付け、さらに(b)のステップで分割を行う際は第五ブレード、第四ブレード、第三ブレード、第二ブレード、第一ブレード、第一ブレード、第二ブレード、第三ブレード、第四ブレード、第五ブレードの順とする、請求項4に記載の円形分割方法。
  6. 前記フープ内縁の安全距離値はフープ内縁からブレードエッジまでの距離とする、請求項4に記載の円形分割方法。
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