JP2015142088A - パッケージ基板の分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、第一切削ステップにおいて切削されずに残った電極の切り残し部分は、第二切削ステップにおいて第二切削ブレードによって完全に切削されるとともに、第二切削ブレードで切削することにより発生したバリは当該切削溝の溝底に発生するため、パッケージ基板の上面にまで至らない。したがって、電極端子同士の短絡を防ぐことができる。
図1及び図2に示すパッケージ基板1は、QFN(Quad Flat Non-leaded Package)と称される技術により形成された被加工物の一例であり、延性材である金属からなる矩形板状の金属枠2を備えている。
(1)第一切削ステップ
図3に示すように、第一の幅11を有する第一切削ブレード10を用いてパッケージ基板1に対して切削を行う。第一の幅11は、分割予定ラインSの幅の範囲内であればよい。このように構成される第一切削ブレード10を図示しないモータによって回転させながら、第一切削ブレード10をパッケージ基板1に接近する方向に下降させ、パッケージ基板1に形成された電極5に切り込ませる。 このときの第一切削ブレード10の切り込み深さは、第一切削ブレード10の刃先の位置が、切削ブレード10によってパッケージ基板1の電極5を厚み方向に完全に切断しない第一の高さ12となる深さとする。
第一切削ステップを実施した後、図4に示すように、第二の幅21を有する第二切削ブレード20を用いてパッケージ基板1に対して切削を行う。第二の幅21は、図3に示す第一切削ブレード10の第一の幅11よりも狭い幅となっている。このように構成される第二切削ブレード20の下方にパッケージ基板1を移動させたら、第二切削ブレード20を図示しないモータによって回転させながら、第二切削ブレード20をパッケージ基板1に接近する方向に下降させ、電極5に切り込ませる。
また、第一切削ステップを実施した後は、第一の幅11よりも狭い第二の幅21を有する第二切削ブレード20で電極5の厚み方向にパッケージ基板1を完全切断する第二切削ステップを実施するため、電極5を除去する部分も少なくなり、電極5の破断面に発生するバリを小さくすることができるとともに、除去されずに残った第一切削溝13の溝底14においてバリが発生するため、パッケージ基板1の表面1aにバリが至ることがない。
パッケージ基板1を分割する方法としては、上記した例のほか、切削ブレードの厚みを切削ステップ毎に徐々に小さくして切削ステップを3段階以上にしてもよい。以下では、切削ステップを3段階にした場合のパッケージ基板1の分割する方法について説明する。
まず、図3で示した第一切削ステップを実施する。すなわち、図3に示す第一切削ブレード10を図示しないモータによって回転させながら、第一切削ブレード10をパッケージ基板1に接近する方向に下降させパッケージ基板1に形成された電極5に切り込ませる。このとき、第一切削ブレード10の刃先を、パッケージ基板1の電極5の厚み方向にパッケージ基板1を完全切断しない第一の高さ12に位置付け、第一切削ブレード10により、分割予定ラインSに沿ってパッケージ基板1を切削して電極5に第一切削溝13を形成する。
第一切削ステップを実施した後、後記の第二切削ステップを実施する前に、図5に示す第三の幅31を有する第三切削ブレード30を用いてパッケージ基板1に対して切削を行う。第三の幅31は、図3に示す第一切削ブレード10の第一の幅11よりも狭く、後記の第二切削ステップで用いられる図5に示す第二切削ブレード20aの第二の幅24よりも広い幅となっている。このように構成される第三切削ブレード30を図示しないモータによって回転させながら、第三切削ブレード30をパッケージ基板1に接近する方向に下降させパッケージ基板1に形成された電極5に切り込ませる。
第三切削ステップを実施した後、図6に示すように、第二の幅24を有する第二切削ブレード20aを用いてパッケージ基板1に対して切削を行う。第二の幅24は、図3に示す第一切削ブレード10の第一の幅11及び図5に示す第三切削ブレード30の第三の幅31よりも狭い幅となっている。このように構成される第二切削ブレード20aの下方にパッケージ基板1を移動させたら、第二切削ブレード20aを図示しないモータによって回転させながら、第二切削ブレード20aをパッケージ基板1に接近する方向に下降させ電極5に切り込ませる。
2:金属枠 3:デバイス形成部 4:デバイス領域 5:電極 6:ダイパッド
7:ボンディングワイヤ 8:樹脂封止部
D:デバイス S:分割予定ライン 100,100a:パッケージ
10:第一切削ブレード 11:第一の幅
12:第一の高さ 13:第一切削溝 14:溝底
20,20a:第二切削ブレード 21:第二の幅 22:第二の高さ
23:第二切削溝 24:第二の幅 25:第二の高さ 26:第二切削溝
30:第三切削ブレード 31:第三の幅 32:第三の高さ 33:第二切削溝
34:溝底
Claims (3)
- 交差する複数の分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが配設されるとともに該分割予定ラインからデバイス側に突出した所定厚みの電極が形成され、該デバイスが封止材で封止されたパッケージ基板を該分割予定ラインに沿って分割して複数のパッケージを形成するパッケージ基板の分割方法であって、
第一の幅を有する第一切削ブレードをパッケージ基板の該電極を厚み方向に完全切断しない第一の高さに位置付け、該第一切削ブレードで該分割予定ラインに沿ってパッケージ基板を切削して切削溝を形成する第一切削ステップと、
該第一切削ステップを実施した後、該第一の幅より狭い第二の幅を有する第二切削ブレードをパッケージ基板を厚み方向に完全切断する第二の高さに位置付け、該第二切削ブレードで該切削溝の形成された該分割予定ラインに沿ってパッケージ基板を切削する第二切削ステップと、を備えたパッケージ基板の分割方法。 - 前記第一切削ステップを実施した後、前記第二切削ステップを実施する前に、前記第一の幅より狭く前記第二の幅より広い第三の幅を有する第三切削ブレードを前記電極を厚み方向に完全切断しない前記第一の高さよりも低い第三の高さに位置付け、該第三切削ブレードで前記切削溝の形成された前記分割予定ラインに沿ってパッケージ基板を切削する第三切削ステップを更に備えた、請求項1に記載のパッケージ基板の分割方法。
- 前記第一切削ブレードは、前記第二切削ブレードに比べて含有する砥粒の平均砥粒サイズが小さいことを特徴とする、請求項1または2に記載のパッケージ基板の分割方法。
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