JP2020043311A - 切削装置及びパッケージ基板の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る切削装置及びパッケージ基板の加工方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る切削装置及びパッケージ基板の加工方法の加工対象のパッケージ基板を示す平面図である。図2は、図1中のII−II線に沿う断面図である。図3は、実施形態1に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図4は、図3に示された切削装置の電圧付与手段等の構成を示す図である。図5は、実施形態1に係るパッケージ基板の加工方法の流れを示すフローチャートである。
10 チャックテーブル
20 切削ユニット(切削手段)
21 切削ブレード
30 切削送りユニット(切削送り手段)
40 割り出し送りユニット(割り出し送り手段)
50 切り込み送りユニット(切り込み送り手段)
60 制御ユニット(制御部)
61 警告ユニット(表示部)
62 切り込み検出部
63 警告指令部
70 電圧付与手段
100 パッケージ基板
101 分割予定ライン
102 金属基板
103 チップ領域
104 デバイスチップ
105 樹脂封止層
ST1 載置ステップ
ST2 位置付けステップ
ST3 切削ステップ
Claims (3)
- 交差する複数の分割予定ラインが形成された金属基板上のチップ領域に配設された複数のデバイスチップと、該デバイスチップを被覆する樹脂封止層と、を有するパッケージ基板の該金属基板への切り込みを監視しながら該パッケージ基板を切削する切削装置であって、
パッケージ基板を保持する導電性を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルで保持されたパッケージ基板を切削する導電性を有する切削ブレードを含む切削手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にX軸方向に切削送りする切削送り手段と、
該切削手段を、該X軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、
該切削手段を、該X軸方向及び該Y軸方向と直交するZ軸方向に切り込み送りする切り込み送り手段と、
該チャックテーブルおよび該切削手段との間に電圧を印加する電圧付与手段と、
制御部と、を備え、
該制御部は、
該電圧付与手段が該チャックテーブルと該切削手段との間に付与する電圧の変化量に基づいて、切削加工中に該パッケージ基板の金属基板に該切削ブレードが接触したことを検知する切り込み検出部と、
該切り込み検出部が接触を検知した際、表示部に警告を発生させる警告指令部と、を含むことを特徴とする切削装置。 - パッケージ基板を保持する導電性を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルで保持されたパッケージ基板を切削する導電性を有する切削ブレードを含む切削手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にX軸方向に切削送りする切削送り手段と、
該切削手段を該X軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、
該切削手段を該X軸方向及び該Y軸方向と直交するZ軸方向に切り込み送りする切り込み送り手段と、
該チャックテーブルおよび該切削手段との間に電圧を印加する電圧付与手段と、を備える切削装置を用いて、
交差する複数の分割予定ラインが形成された金属基板上のチップ領域に配設された複数のデバイスチップと、該デバイスチップを被覆する樹脂封止層と、を有するパッケージ基板を加工する加工方法であって、
該パッケージ基板を該チャックテーブルに載置する載置ステップと、
該切り込み送り手段によって該切削手段を該パッケージ基板の所定の深さに位置づける位置付けステップと、
該チャックテーブルおよび該切削手段に電圧を付与しながら該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に移動させ、該パッケージ基板を切削する切削ステップと、を含み、
該切削ステップにおいて、
該切削ブレードの刃先が該金属基板と接触した際、該チャックテーブルと該切削手段との電気的な導通によって該接触を検知することを特徴とする、パッケージ基板の加工方法。 - 該切削ステップにおいて、切削液を供給しないことを特徴とする請求項2に記載のパッケージ基板の加工方法。
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