JP2016201423A - インプリント装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板W上のインプリント材と型Mとを接触させてインプリント材にパターンを形成するインプリント装置100であって、型Mに設けられた型側マークおよび基板Wに設けられた基板W側マークをマーク組としてマーク組を検出し、検出結果に基づいて型Mおよび基板Wの位置合せを行う位置合せ部200を有し、位置合せ部200は、第1の前記マーク組の検出結果と、第1のマーク組とは異なる第2のマーク組の検出結果とを用いて、互いに同じ方向についての第1のマーク組間の位置ずれに関連する情報と第2のマーク組間の位置ずれに関連する情報とを求め、第1のマーク組間の情報と第2のマーク組間の情報とを用いて判定値を求め、判定値が許容範囲内でない場合に異常なマーク検出と判定する。
【選択図】図1
Description
D3=D1−D2
D6=(P1×P2)÷(P1−P2)÷2
K=P1÷(P1−P2)÷2
D5=D4×K=D4×P1÷(P1−P2)÷2
物品として、例えば、デバイス(半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子等)、カラーフィルター、またはハードディスク等の製造方法について説明する。かかる製造方法は、インプリント装置100を用いてパターンを基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)に形成する工程を含む。かかる製造方法は、パターンを形成された基板を処理する工程を更に含む。該処理ステップは、該パターンの残膜を除去するステップを含みうる。また、該パターンをマスクとして基板をエッチングするステップなどの周知の他のステップを含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性および生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (18)
- 基板上のインプリント材と型とを接触させて前記インプリント材にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型に設けられた型側マークおよび前記基板に設けられた基板側マークをマーク組として前記マーク組を検出し、検出結果に基づいて前記型および前記基板の位置合せを行う位置合せ部を有し、
前記位置合せ部は、第1の前記マーク組の検出結果と、前記第1のマーク組とは異なる第2の前記マーク組の検出結果とを用いて、互いに同じ方向についての前記第1のマーク組間の位置ずれに関連する情報と前記第2のマーク組間の位置ずれに関連する情報とを求め、前記第1のマーク組間の前記情報と前記第2のマーク組間の前記情報とを用いて判定値を求め、前記判定値が許容範囲内でない場合に異常なマーク検出と判定する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記位置合せ部が求める前記判定値は、前記第1のマーク組間の位置ずれ量と前記第2のマーク組間の位置ずれ量との差分であることを特徴とする、請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ部が求める前記判定値は、前記第1のマーク組間の位置ずれ量と前記第2のマーク組間の位置ずれ量との比率であることを特徴とする、請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ部は、前記型のパターンにインプリント材を接触させた状態で前記マーク組を検出することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第1のマーク組と前記第2のマーク組は、前記位置合せ部の撮像素子における同一の撮像面で検出できる距離にあることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記インプリント装置は、前記基板を保持する基板保持部を駆動する駆動部と、前記型を外周方向から加圧することで前記型の形状を補正する形状補正部と、を更に有し、
前記位置合せ部は、前記駆動部と前記形状補正部を制御して、前記第1のマーク組間の位置ずれ量と前記第2のマーク組間の位置ずれ量とから算出した補正値を用いて、前記型のパターンと前記基板上のショット領域の間の、位置ずれおよび形状差の一方または両方を補正することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記位置合せ部は、前記基板上のショット領域ごとに、前記型のパターンと前記基板上のショット領域の間の、位置ずれおよび形状差の一方または両方を補正することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第1のマーク組は粗検出マーク又は精検出マークのいずれかであり、前記第2のマーク組は粗検出マーク又は精検出マークのいずれかであることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記粗検出マークが特定の形状のマークであり、前記精検出マークがモアレ縞を生じさせる格子パターンのマークであることを特徴とする、請求項8に記載のインプリント装置。
- 前記判定値が許容範囲内であるかを判定する時に使用する判定閾値は変更することができることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ部は、前記判定値が許容範囲内でないと判定した場合に、前記マーク組の位置ずれ量を補正値の算出に使用しないか、または前記マーク組の位置ずれ量が補正値の算出に与える影響を十分小さくすることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ部は、前記判定値が許容範囲内でないと判定した場合に、前記マーク組とは異なるマーク組を検出する制御を行うことを特徴とする、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記位置合せ部は、アライメント処理が完了したと判定した場合に、インプリント処理の充填を完了する制御を行うことを特徴とする、
請求項1乃至12のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記位置合せ部は、アライメント処理の時間がインプリント処理の充填時間を超過したと判定した場合に、前記アライメント処理を完了する制御を行うことを特徴とする、
請求項1乃至13のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記位置合せ部は、連続したショットでマーク検出が異常と判定されたマーク組があった場合に、基板処理を終了することを特徴とする、
請求項1乃至14のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 請求項1乃至15のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。 - 第1物体と第2物体の位置合せを行う位置合せ方法であって、
前記第1物体に設けられた第1マークおよび前記第2物体に設けられた第2マークをマーク組として検出する検出工程と、
前記マーク組の検出結果を用いて前記第1物体および前記第2物体の位置合せを行う位置合せ工程と、を有し、
前記検出工程は、第1の前記マーク組と、前記第1のマーク組とは異なる第2の前記マーク組とを検出して、
前記位置合せ工程は、互いに同じ方向についての前記第1のマーク組間の位置ずれに関連する情報と前記第2のマーク組間の位置ずれに関連する情報とを求め、前記第1のマーク組間の前記情報と前記第2のマーク組間の前記情報とを用いて判定値を求め、前記判定値が許容範囲内でない場合に異常なマーク検出と判定する、
ことを特徴とする位置合せ方法。 - 第1物体と第2物体の位置合せを行う位置合せ装置であって、
前記第1物体に設けられた第1マークおよび前記第2物体に設けられた第2マークをマーク組の検出結果に基づいて前記第1物体および前記第2物体の位置合せを行う位置合せ部を有し、
前記位置合せ部は、第1の前記マーク組の検出結果と、前記第1のマーク組とは異なる第2の前記マーク組の検出結果とを用いて、互いに同じ方向についての前記第1のマーク組間の位置ずれに関連する情報と前記第2のマーク組間の位置ずれに関連する情報とを求め、前記第1のマーク組間の前記情報と前記第2のマーク組間の前記情報とを用いて判定値を求め、前記判定値が許容範囲内でない場合に異常なマーク検出と判定する、
ことを特徴とする位置合せ装置。
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