JP6138189B2 - インプリント装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
D3=D1−D2
D6=(P1×P2)÷(P1−P2)÷2
K=P1÷(P1−P2)÷2
D5=D4×K=D4×P1÷(P1−P2)÷2
物品として、例えば、デバイス(半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子等)、カラーフィルター、またはハードディスク等の製造方法について説明する。かかる製造方法は、インプリント装置100を用いてパターンを基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)に形成する工程を含む。かかる製造方法は、パターンを形成された基板を処理する工程を更に含む。該処理ステップは、該パターンの残膜を除去するステップを含みうる。また、該パターンをマスクとして基板をエッチングするステップなどの周知の他のステップを含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性および生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (26)
- 基板上のインプリント材と型とを接触させて前記インプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型に設けられた第1の型側マーク及び第2の型側マークと前記基板に設けられた第1の基板側マーク及び第2の基板側マークからの光を同一視野で撮像素子を用いて検出したマーク検出の結果に基づいて、前記型と前記基板の位置合せを行う位置合せ手段を有し、前記位置合せ手段は、所定の方向における前記第1の型側マークと前記第1の基板側マークの位置ずれ量と、前記所定の方向における前記第2の型側マークと前記第2の基板側マークの位置ずれ量と、の差分又は比率を閾値と比較して、前記差分又は比率と前記閾値との大小関係により前記マーク検出の異常を判定する手段を有することを特徴とするインプリント装置。 - 前記位置合せ手段は、前記型のパターンに前記インプリント材を接触させた状態で、前記第1の型側マークと前記第1の基板側マークと前記第2の型側マークと前記第2の基板側マークとを検出することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ手段は、前記基板を保持する基板保持部を駆動する駆動部と、前記型を外周から加圧することで前記型の形状を補正する形状補正部と、を有し、
前記駆動部と前記形状補正部を制御して、前記型のパターンと前記基板上のショット領域の間の、位置ずれおよび形状差の少なくともいずれか一方を補正することを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。 - 前記位置合せ手段は、前記基板上の複数のショット領域のショット領域ごとに、前記型のパターンと前記基板上のショット領域の間の、位置ずれおよび形状差の一方または両方を補正することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記第1の型側マークと前記第2の型側マークとは形状が異なり、前記第1の基板側マークと前記第2の基板側マークとは形状が異なることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第1の型側マークと前記第1の基板側マークとは粗検出マークであり、前記第2の型側マークと前記第2の基板側マークとは精検出マークであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記精検出マークはモアレ縞を生じさせる格子パターンであり、前記第2の型側マークと前記第2の基板側マークの位置ずれ量を前記モアレ縞によって検出することを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。
- 前記閾値は変更が可能であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ手段は、前記マーク検出の異常と判定した場合に、位置ずれおよび形状差の少なくともいずれか一方を補正するための補正値の算出に前記位置ずれ量を使用しないか、または前記位置ずれ量が前記補正値の算出に与える影響を小さくすることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ手段は、前記マーク検出の異常と判定した場合に、前記第1及び第2の型側マークと前記第1及び第2の基板側マークとは別の型側マーク及び基板側マークと前記撮像素子を用いてマーク検出を行うことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第1の型側マーク及び前記第2の型側マークと前記第1の基板側マーク及び前記第2の基板側マークとは、前記撮像素子の同一の撮像面で同時に検出されることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記位置合せ手段は、前記基板上の複数のショット領域の連続した幾つかのショット領域において前記マーク検出が異常と判定された場合に、基板処理を終了することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第2の型側マークと前記第2の基板側マークとはモアレ縞を生じさせる格子パターンであり、
前記位置合せ手段は、前記モアレ縞を検出した前記マーク検出の結果に基づいて前記型と前記基板の位置合せを行う、ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載おインプリント装置。 - 請求項1乃至13のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて前記基板上に前記パターンを形成する工程と、前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程とを有し、前記処理工程で処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
- 第1物体に設けられた第1のマーク及び第2のマークと第2物体に設けられた第3のマーク及び第4のマークからの光を同一視野で撮像素子を用いて検出したマーク検出の結果に基づいて、前記第1物体と前記第2物体の位置合せを行う位置合せ方法であって、
所定の方向における前記第1のマークと前記第3のマークとの第1の位置ずれ量と、前記所定の方向における前記第2のマークと前記第4のマークとの第2の位置ずれ量と、を検出する工程と、
前記第1の位置ずれ量と前記第2の位置ずれ量の差分又は比率を閾値と比較して、前記差分又は比率と前記閾値との大小関係により前記マーク検出の異常を判定する工程と、
を含むことを特徴とする位置合せ方法。 - 前記第1のマークと前記第2のマークとは形状が異なり、前記第3のマークと前記第4のマークとは形状が異なることを特徴とする請求項15に記載の位置合せ方法。
- 前記第1のマークと前記第3のマークとは粗検出マークであり、前記第2のマークと前記第4のマークとは精検出マークであることを特徴とする請求項15又は16に記載の位置合せ方法。
- 前記精検出マークがモアレ縞を生じさせる格子パターンであり、前記第2のマークと前記第4のマークの位置ずれ量を前記モアレ縞によって検出することを特徴とする請求項17に記載の位置合せ方法。
- 前記第1のマーク、前記第2のマーク、前記第3のマーク及び前記第4のマークは、前記撮像素子の同一の撮像面で同時に検出されることを特徴とする請求項15乃至18のいずれか1項に記載の位置合せ方法。
- 前記第2のマークと前記第4のマークとはモアレ縞を生じさせる格子パターンであり、
前記モアレ縞を検出した前記マーク検出の結果に基づいて、前記第1物体と前記第2物体の位置合せを行う、ことを特徴とする請求項15乃至19のいずれか1項に記載の位置合せ方法。 - 第1物体に設けられた第1のマーク及び第2のマークと第2物体に設けられた第3のマーク及び第4のマークからの光を同一視野で撮像素子を用いて検出したマーク検出の結果に基づいて、前記第1物体と前記第2物体の位置合せを行う位置合せ装置であって、所定の方向における前記第1のマークと前記第3のマークとの位置ずれ量と、前記所定の方向における前記第2のマークと前記第4のマークとの位置ずれ量と、の差分又は比率を閾値と比較して、前記差分又は比率と前記閾値との大小関係により前記マーク検出の異常を判定する手段を有することを特徴とする位置合せ装置。
- 前記第1のマークと前記第2のマークとは形状が異なり、前記第3のマークと前記第4のマークとは形状が異なることを特徴とする請求項21に記載の位置合せ装置。
- 前記第1のマークと前記第3のマークとは粗検出マークであり、前記第2のマークと前記第4のマークとは精検出マークであることを特徴とする請求項21又は22に記載の位置合せ装置。
- 前記精検出マークがモアレ縞を生じさせる格子パターンであり、前記第2のマークと前記第4のマークの位置ずれ量を前記モアレ縞によって検出することを特徴とする請求項23に記載の位置合せ装置。
- 前記第1のマーク、前記第2のマーク、前記第3のマーク及び前記第4のマークは、前記撮像素子の同一の撮像面で同時に検出されることを特徴とする請求項21乃至24のいずれか1項に記載の位置合せ装置。
- 前記第2のマークと前記第4のマークとはモアレ縞を生じさせる格子パターンであり、
前記モアレ縞を検出した前記マーク検出の結果に基づいて、前記第1物体と前記第2物体の位置合せを行う、ことを特徴とする請求項21乃至25のいずれか1項に記載の位置合せ装置。
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