JP2016163011A - 半導体装置および製造方法、並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1実施の形態:CMOSイメージセンサ(図1乃至図13)
2.第2実施の形態:CMOSイメージセンサ(図14乃至図18)
3.第3実施の形態:撮像装置(図19)
4.CMOSイメージセンサの使用例(図20)
(CMOSイメージセンサの第1実施の形態の構成例)
図1は、本開示を適用した半導体装置としてのCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサの第1実施の形態の構成例を示すブロック図である。
図2Aは、図1のCMOSイメージセンサ10の第1の構造例を示す断面図であり、図2Bは、CMOSイメージセンサ10の第1の構造例を光の照射側から見た図である。
図3は、図2のCMOSイメージセンサ10の製造方法の概要を説明する図である。
図6は、図1のCMOSイメージセンサ10の第2の構造例を示す断面図である。
図7は、図1のCMOSイメージセンサ10の第3の構造例の概略を示す断面図である。
図8は、図1のCMOSイメージセンサ10の第4の構造例の概略を示す断面図である。
図11乃至図13は、図7の領域92の形状の例を示す、半導体チップ11の一部を光の照射側から見た図である。
(CMOSイメージセンサの第2実施の形態の構成例の概要)
図14は、本開示を適用したCMOSイメージセンサの第2実施の形態の構成例の概要を示す図である。
図15は、図14のCMOSイメージセンサ140のダイシング前の構成例を示す斜視図であり、図16は、図15のA−A断面図である。
図18は、CMOSイメージセンサ140の製造方法を説明する斜視図である。
(撮像装置の一実施の形態の構成例)
図19は、本開示を適用した電子機器としての撮像装置の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。
図20は、上述のCMOSイメージセンサ10(140)を使用する使用例を示す図である。
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
半導体基板上に形成されたバンプと、
前記半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されたレンズ材と
を備える半導体装置。
(2)
前記レンズ材は、前記半導体基板上の画素領域にのみ形成される
ように構成された
前記(1)に記載の半導体装置。
(3)
前記レンズ材は、前記バンプを介して前記半導体基板に接合される半導体チップに対応する前記半導体基板上の領域以外の領域に形成される
ように構成された
前記(1)に記載の半導体装置。
(4)
前記レンズ材は、前記半導体チップに対応する、前記半導体チップより大きい前記半導体基板上の領域を開口するように形成される
ように構成された
前記(3)に記載の半導体装置。
(5)
前記半導体チップと前記半導体基板との間に形成されたアンダーフィル樹脂と、
前記半導体基板上に形成された、前記半導体基板上の前記半導体チップが接合される領域以外の領域への前記アンダーフィル樹脂の流出を防止するダムと
をさらに備え、
前記レンズ材は、前記半導体基板上の前記ダムの内側の全領域を開口するように形成される
ように構成された
前記(4)に記載の半導体装置。
(6)
前記半導体チップと前記半導体基板との間に形成されたアンダーフィル樹脂と、
前記半導体基板上に形成された、前記半導体基板上の前記半導体チップが接合される領域以外の領域への前記アンダーフィル樹脂の流出を防止するダムと
をさらに備え、
前記レンズ材は、前記半導体基板上の前記ダムの内側の一部の領域のみを開口するように形成される
ように構成された
前記(3)に記載の半導体装置。
(7)
前記レンズ材は、前記半導体チップに対応する、前記半導体チップより小さい前記半導体基板上の領域を開口するように形成される
ように構成された
前記(3)に記載の半導体装置。
(8)
前記バンプの直径の2倍と、前記バンプのピッチの最小値のいずれか大きい方よりも、前記バンプの最も前記レンズ材側から、前記レンズ材の最も前記バンプ側までの距離が大きくなる
ように構成された
前記(1)に記載の半導体装置。
(9)
前記半導体基板に形成され、前記バンプと接続されるバンプ接続用電極パッド
前記半導体基板に形成され、ワイヤーボンディングと接続されるワイヤーボンディング用電極パッドと、
をさらに備え、
前記バンプと前記バンプ接続用電極パッドを接続するための前記半導体基板の開口部であるバンプ用開口部のサイズに対する、前記バンプ用開口部の最も前記レンズ材側から、前記レンズ材の最も前記バンプ用開口部側までの距離の比率に比べて、前記ワイヤーボンディングと前記ワイヤーボンディング用電極パッドを接続するための前記半導体基板の開口部であるワイヤーボンディング用開口のサイズに対する、前記ワイヤーボンディング用開口部の最も前記レンズ材側から、前記レンズ材の最も前記ワイヤーボンディング用開口部側までの距離の比率が小さくなる
ように構成された
前記(1)に記載の半導体装置。
(10)
半導体基板上に形成されたバンプと、
前記半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されたレンズ材と
を備える半導体装置の製造方法。
(11)
半導体基板上に形成されたバンプと、
前記半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されたレンズ材と
を備える電子機器。
(12)
外形が矩形である第1乃至第3の半導体チップ
を備え、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺である第1の辺の少なくとも一部の領域と、前記第2の半導体チップの外形線の1辺である第2の辺の少なくとも一部の領域とが面一となり、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺のうちの、前記第1の辺と対向する第3の辺の少なくとも一部の領域と、前記第3の半導体チップの外形線の1辺である第4の辺の少なくとも一部が面一となる
ように構成された
半導体装置。
(13)
前記第1の辺および前記第3の辺は、前記第1の半導体チップの外形線をなすスクライブラインの1辺であり、
前記第2の辺は、前記第2の半導体チップの外形線をなすスクライブラインの1辺であり、
前記第4の辺は、前記第3の半導体チップの外形線をなすスクライブラインの1辺である
ように構成された
前記(12)に記載の半導体装置。
(14)
外形が矩形である第1乃至第3の半導体チップ
を備え、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺である第1の辺の少なくとも一部の領域と、前記第2の半導体チップの外形線の1辺である第2の辺の少なくとも一部の領域とが面一となり、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺のうちの、前記第1の辺と対向する第3の辺の少なくとも一部の領域と、前記第3の半導体チップの外形線の1辺である第4の辺の少なくとも一部が面一となる
ように構成された
半導体装置の製造方法。
(15)
外形が矩形である第1乃至第3の半導体チップ
を備え、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺である第1の辺の少なくとも一部の領域と、前記第2の半導体チップの外形線の1辺である第2の辺の少なくとも一部の領域とが面一となり、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺のうちの、前記第1の辺と対向する第3の辺の少なくとも一部の領域と、前記第3の半導体チップの外形線の1辺である第4の辺の少なくとも一部が面一となる
ように構成された
電子機器。
Claims (15)
- 半導体基板上に形成されたバンプと、
前記半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されたレンズ材と
を備える半導体装置。 - 前記レンズ材は、前記半導体基板上の画素領域にのみ形成される
ように構成された
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記レンズ材は、前記バンプを介して前記半導体基板に接合される半導体チップに対応する前記半導体基板上の領域以外の領域に形成される
ように構成された
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記レンズ材は、前記半導体チップに対応する、前記半導体チップより大きい前記半導体基板上の領域を開口するように形成される
ように構成された
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップと前記半導体基板との間に形成されたアンダーフィル樹脂と、
前記半導体基板上に形成された、前記半導体基板上の前記半導体チップが接合される領域以外の領域への前記アンダーフィル樹脂の流出を防止するダムと
をさらに備え、
前記レンズ材は、前記半導体基板上の前記ダムの内側の全領域を開口するように形成される
ように構成された
請求項4に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップと前記半導体基板との間に形成されたアンダーフィル樹脂と、
前記半導体基板上に形成された、前記半導体基板上の前記半導体チップが接合される領域以外の領域への前記アンダーフィル樹脂の流出を防止するダムと
をさらに備え、
前記レンズ材は、前記半導体基板上の前記ダムの内側の一部の領域のみを開口するように形成される
ように構成された
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記レンズ材は、前記半導体チップに対応する、前記半導体チップより小さい前記半導体基板上の領域を開口するように形成される
ように構成された
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記バンプの直径の2倍と、前記バンプのピッチの最小値のいずれか大きい方よりも、前記バンプの最も前記レンズ材側から、前記レンズ材の最も前記バンプ側までの距離が大きくなる
ように構成された
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板に形成され、前記バンプと接続されるバンプ接続用電極パッド
前記半導体基板に形成され、ワイヤーボンディングと接続されるワイヤーボンディング用電極パッドと、
をさらに備え、
前記バンプと前記バンプ接続用電極パッドを接続するための前記半導体基板の開口部であるバンプ用開口部のサイズに対する、前記バンプ用開口部の最も前記レンズ材側から、前記レンズ材の最も前記バンプ用開口部側までの距離の比率に比べて、前記ワイヤーボンディングと前記ワイヤーボンディング用電極パッドを接続するための前記半導体基板の開口部であるワイヤーボンディング用開口部のサイズに対する、前記ワイヤーボンディング用開口部の最も前記レンズ材側から、前記レンズ材の最も前記ワイヤーボンディング用開口部側までの距離の比率が小さくなる
ように構成された
請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体基板上に形成されたバンプと、
前記半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されたレンズ材と
を備える半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上に形成されたバンプと、
前記半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されたレンズ材と
を備える電子機器。 - 外形が矩形である第1乃至第3の半導体チップ
を備え、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺である第1の辺の少なくとも一部の領域と、前記第2の半導体チップの外形線の1辺である第2の辺の少なくとも一部の領域とが面一となり、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺のうちの、前記第1の辺と対向する第3の辺の少なくとも一部の領域と、前記第3の半導体チップの外形線の1辺である第4の辺の少なくとも一部が面一となる
ように構成された
半導体装置。 - 前記第1の辺および前記第3の辺は、前記第1の半導体チップの外形線をなすスクライブラインの1辺であり、
前記第2の辺は、前記第2の半導体チップの外形線をなすスクライブラインの1辺であり、
前記第4の辺は、前記第3の半導体チップの外形線をなすスクライブラインの1辺である
ように構成された
請求項12に記載の半導体装置。 - 外形が矩形である第1乃至第3の半導体チップ
を備え、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺である第1の辺の少なくとも一部の領域と、前記第2の半導体チップの外形線の1辺である第2の辺の少なくとも一部の領域とが面一となり、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺のうちの、前記第1の辺と対向する第3の辺の少なくとも一部の領域と、前記第3の半導体チップの外形線の1辺である第4の辺の少なくとも一部が面一となる
ように構成された
半導体装置の製造方法。 - 外形が矩形である第1乃至第3の半導体チップ
を備え、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺である第1の辺の少なくとも一部の領域と、前記第2の半導体チップの外形線の1辺である第2の辺の少なくとも一部の領域とが面一となり、
前記第1の半導体チップの外形線の1辺のうちの、前記第1の辺と対向する第3の辺の少なくとも一部の領域と、前記第3の半導体チップの外形線の1辺である第4の辺の少なくとも一部が面一となる
ように構成された
電子機器。
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