JP2014003098A - 固体撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】撮像領域10に形成された光電変換部とパッド領域20に形成されたパッド電極120とを含む構造体を準備する工程と、前記構造体の前記撮像領域に配置される第1有機物部を含む第1有機膜130を前記撮像領域および前記パッド領域に形成する工程と、前記第1有機物部の上にカラーフィルタ層140を形成する工程と、前記カラーフィルタ層を覆うように前記撮像領域および前記パッド領域に第2有機膜150を形成する工程と、前記第2有機膜を覆うように無機膜170を前記撮像領域および前記パッド領域に形成する工程と、前記パッド電極に通じる開口が形成されるように前記無機膜、前記第2有機膜および前記第1有機膜をエッチングする工程と、を含む。
【選択図】図3
Description
エッチングガス:CF4/Ar
電力:200〜1500(W)
圧力:30〜230(mTorr)
時間:40〜120(sec)
条件1によれば、第2有機膜169の上面でエッチングが停止する。
エッチングガス:O2/N2/Ar
電力:300〜1500(W)
圧力:1000〜2000(mTorr)
時間:120〜250(sec)
条件2によれば、パッド電極120でエッチングが停止する。その後、レジストパターン195を除去する。これにより、図3(b)に示す固体撮像装置が得られる。
エッチングガス:CF4/Ar
電力:200〜1500(W)
圧力:30〜230(mTorr)
時間:40〜120(sec)
条件1によれば、第2有機膜317の上面でエッチングが停止する。
エッチングガス:O2/N2/Ar
電力:300〜1500(W)
圧力:1000〜2000(mTorr)
時間:120〜250(sec)
条件2によれば、パッド電極120でエッチングが停止する。その後、レジストパターン340を除去する。これにより、図6(b)に示す固体撮像装置が得られる。
エッチングガス:CF4/Ar
電力:200〜1500(W)
圧力:30〜230(mTorr)
時間:40〜120(sec)
条件1によれば、第2有機膜429の上面でエッチングが停止する。
エッチングガス:O2/N2/Ar
電力:300〜1500(W)
圧力:1000〜2000(mTorr)
時間:120〜250(sec)
条件2によれば、パッド電極120でエッチングが停止する。その後、レジストパターン440を除去する。これにより、図9(b)に示す固体撮像装置が得られる。
Claims (19)
- 撮像領域とパッド領域とを有する固体撮像装置の製造方法であって、
前記撮像領域に形成された光電変換部と前記パッド領域に形成されたパッド電極とを含む構造体を準備する工程と、
前記構造体の前記撮像領域に配置される第1有機物部を含む第1有機膜を前記撮像領域および前記パッド領域に形成する工程と、
前記第1有機物部の上にカラーフィルタ層を形成する工程と、
前記カラーフィルタ層を覆うように前記撮像領域および前記パッド領域に第2有機膜を形成する工程と、
前記第2有機膜を覆うように無機膜を前記撮像領域および前記パッド領域に形成する工程と、
前記パッド電極に通じる開口が形成されるように前記無機膜、前記第2有機膜および前記第1有機膜をエッチングする工程と、を含み、
前記無機膜、前記第2有機膜および前記第1有機膜をエッチングする工程では、少なくとも前記無機膜については、プラズマエッチングによってエッチングを行い、
前記第2有機膜は、前記カラーフィルタ層を覆うように前記撮像領域に配置される第2有機物部と、前記第2有機物部の上に配置されるマイクロレンズと、前記パッド領域に配置される部分とを含み、
前記パッド領域における前記第2有機膜の上面に対する前記パッド電極の上面の深さは、前記第1有機物部の厚さと前記第2有機物部の厚さとの合計よりも大きい、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2有機膜を形成する工程は、前記第2有機膜の前記部分の一部および前記第2有機物部を形成する工程と、それに次いで前記第2有機膜の前記部分の他の一部および前記マイクロレンズを形成する工程と、を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2有機膜を形成する工程は、有機膜を形成した後に該有機膜をエッチングすることによって前記マイクロレンズを形成する工程を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記無機膜は、前記撮像領域において反射防止膜として機能する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 撮像領域とパッド領域とを有する固体撮像装置であって、
前記撮像領域は、光電変換部と、前記光電変換部の上に配置された配線構造と、前記配線構造の上に配置された第1有機物部と、前記第1有機物部の上に配置されたカラーフィルタ層と、前記カラーフィルタ層の上に配置された第2有機物部と、前記第2有機物部の上に配置されたマイクロレンズと、前記マイクロレンズの上に配置された無機膜とを含み、
前記パッド領域は、パッド電極と、前記パッド電極の上に配置された有機膜と、前記有機膜の上に配置され前記無機膜と同一材料からなるカバー膜とを含み、
前記有機膜の上面に対する前記パッド電極の上面の深さは、前記第1有機物部の厚さと前記第2有機物部の厚さとの合計よりも大きい、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記有機膜は、前記第1有機物部と同一材料からなる第1部分と、前記第1部分の上に配置され前記第2有機物部と同一材料からなる第2部分と、前記第2部分の上に配置され前記マイクロレンズと同一材料からなる第3部分とを含む、
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記第2部分が前記第1部分に接触している、
ことを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記第1有機物部と前記第1部分とは、それらを構成する材料と同一材料で構成された部分によって連結され、前記第2有機物部と前記第2部分とは、それらを構成する材料と同一材料で構成された部分によって連結されている、
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の固体撮像装置。 - 前記マイクロレンズと前記第3部分とは、それらを構成する材料と同一材料で構成された部分によって連結されている、
ことを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。 - 前記第2有機物部と前記マイクロレンズとは、互いに異なる材料からなる、
ことを特徴とする請求項5乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2有機物部と前記マイクロレンズとは、同一材料からなる、
ことを特徴とする請求項5乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記有機膜は、前記カラーフィルタ層と同一材料からなる膜を含む、
ことを特徴とする請求項5乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記無機膜および前記カバー膜は、酸化シリコンで構成されている、
ことを特徴とする請求項5乃至12のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記無機膜および前記カバー膜は、複数の膜を含む、
ことを特徴とする請求項5乃至12のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の膜は、酸化シリコン膜および窒化シリコン膜を含む、
ことを特徴とする請求項14に記載の固体撮像装置。 - 前記有機膜の上面に対する前記パッド電極の上面の深さは、1μm以上である、
ことを特徴とする請求項5乃至14のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 平面視における前記パッド電極の外縁と前記有機膜の外縁との距離が1μm以上である、
ことを特徴とする請求項5乃至16のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記無機膜は、前記撮像領域において反射防止膜として機能する、
ことを特徴とする請求項5乃至17のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 請求項5乃至18のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
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