JP2020025263A - 積層型受光センサ及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】チップ内でより高度な処理を実行する。【解決手段】実施形態に係る積層型受光センサは、第1基板と、前記第1基板に貼り合わされた第2基板とを備え、前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、前記第2基板は、前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部とを備え、前記変換器の少なくとも一部は、前記第2基板における第1辺側に配置され、前記処理部は、前記第2基板における前記第1辺とは反対の第2辺側に配置されている。【選択図】図4

Description

本開示は、積層型受光センサ及び電子機器に関する。
従来、静止画や動画を取得する撮像装置として、センサチップや、メモリチップや、DSP(Digital Signal Processor)チップなどのチップ同士を複数のバンプで並列に接続した平置き型のイメージセンサが存在する。
また、近年では、撮像装置の小型化を目的として、複数のダイが積層された積層構造を有する1チップのイメージセンサが提案されている。
国際公開第2018/051809号
ところで、近年では、画像処理の多様化・高速化や個人情報の保護等の観点から、イメージセンサチップ内でより高度な処理を実行することが望まれている。
そこで本開示では、チップ内でより高度な処理を実行することが可能な積層型受光センサ及び電子機器を提案する。
上記の課題を解決するために、本開示に係る一形態の積層型受光センサは、第1基板と、前記第1基板に貼り合わされた第2基板とを備え、前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、前記第2基板は、前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部とを備え、前記変換器の少なくとも一部は、前記第2基板における第1辺側に配置され、前記処理部は、前記第2基板における前記第1辺とは反対の第2辺側に配置されている。
第1の実施形態に係る電子機器としての撮像装置の概略構成例を示すブロック図である。 第1の実施形態に係るイメージセンサのチップ構成例を示す模式図である。 第1の実施形態に係る第1のレイアウト例における第1基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第1のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第2のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第3のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第4のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第5のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第6のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第7のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第8のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第1の実施形態に係る第9のレイアウト例における第2基板のレイアウト例を示す図である。 第2の実施形態に係るイメージセンサにおける第1基板の概略構成例を示すレイアウト図である。 第2の実施形態に係るイメージセンサのチップ構成例を示す模式図である。 第3の実施形態に係るイメージセンサにおける第1基板の概略構成例を示すレイアウト図である。 第3の実施形態に係るイメージセンサにおける第2基板の概略構成例を示すレイアウト図である。 第3の実施形態に係るイメージセンサのチップ構成例を示す模式図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。 内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。 カメラヘッド及びCCUの機能構成の一例を示すブロック図である。 診断支援システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。
以下に、本開示の一実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。
また、以下に示す項目順序に従って本開示を説明する。
1.第1の実施形態
1.1 撮像装置の概略構成例
1.2 イメージセンサチップのチップ構成例
1.3 学習済みモデルに基づく演算を実行する処理部を搭載したイメージセンサチップの課題
1.4 ノイズ低減手法
1.4.1 第1のレイアウト例
1.4.1.1 第1基板のレイアウト例
1.4.1.2 第2基板のレイアウト例
1.4.2 第2のレイアウト例
1.4.3 第3のレイアウト例
1.4.4 第4のレイアウト例
1.4.5 第5のレイアウト例
1.4.6 第6のレイアウト例
1.4.7 第7のレイアウト例
1.4.8 第8のレイアウト例
1.4.9 第9のレイアウト例
1.5 作用・効果
2.第2の実施形態
2.1 イメージセンサチップのチップ構成例
2.2 作用・効果
3.第3の実施形態
3.1 イメージセンサチップのチップ構成例
3.2 作用・効果
4.他のセンサへの適用
5.移動体への応用例
6.内視鏡手術システムへの応用例
7.WSI(Whole Slide Imaging)システムへの応用例
1.第1の実施形態
まず、第1の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
1.1 撮像装置の概略構成例
図1は、第1の実施形態に係る電子機器としての撮像装置の概略構成例を示すブロック図である。図1に示すように、撮像装置1は、固体撮像装置であるイメージセンサ10と、アプリケーションプロセッサ20とを備える。イメージセンサ10は、撮像部11と、コントロール部12と、変換器(Analog to Digital Converter:以下、ADCという)17と、信号処理部13と、DSP(Digital Signal Processor)14と、メモリ15と、セレクタ(出力部ともいう)16とを備えている。
コントロール部12は、例えば、ユーザの操作や設定された動作モードに従い、イメージセンサ10内の各部を制御する。
撮像部11は、例えば、ズームレンズ、フォーカスレンズ、絞り等を備える光学系104と、フォトダイオードなどの受光素子を含む単位画素(図2の単位画素101a)が2次元マトリクス状に配列した構成を備える画素アレイ部101とを備える。外部から入射した光は、光学系104を介することで、画素アレイ部101における受光素子が配列した受光面に結像される。画素アレイ部101の各単位画素101aは、その受光素子に入射した光を光電変換することで、入射光の光量に応じた電荷を読出可能に蓄積する。
ADC17は、撮像部11から読み出された単位画素101a毎のアナログの画素信号をデジタル値に変換することで、デジタルの画像データを生成し、生成した画像データを信号処理部13及び/又はメモリ15へ出力する。なお、ADC17には、電源電圧等から撮像部11を駆動するための駆動電圧を生成する電圧生成回路等が含まれてもよい。
信号処理部13は、ADC17から入力されたデジタルの画像データ又はメモリ15から読み出されたデジタルの画像データ(以下、処理対象の画像データという)に対して種々の信号処理を実行する。例えば、処理対象の画像データがカラー画像である場合、信号処理部13は、この画像データをYUVの画像データやRGBの画像データなどにフォーマット変換する。また、信号処理部13は、例えば、処理対象の画像データに対し、ノイズ除去やホワイトバランス調整等の処理を必要に応じて実行する。その他、信号処理部13は、処理対象の画像データに対し、DSP14がその画像データを処理するのに必要となる種々の信号処理(前処理ともいう)を実行する。
DSP14は、例えば、メモリ15に格納されているプログラムを実行することで、ディープニューラルネットワーク(DNN)を利用した機械学習によって作成された学習済みモデル(ニューラルネットワーク計算モデルともいう)を用いて各種処理を実行する処理部として機能する。この学習済みモデル(ニューラルネットワーク計算モデル)は、画素アレイ部101の出力に相当する入力信号と、当該入力信号に対するラベルとが紐付いている学習データとを所定の機械学習モデルに入力して生成されたパラメータに基づいて設計されていてもよい。また、所定の機械学習モデルは、多層のニューラルネットワークを利用した学習モデル(多層ニューラルネットワークモデルともいう)であってもよい。
例えば、DSP14は、メモリ15に記憶されている学習済みモデルに基づいた演算処理を実行することで、メモリ15に記憶されている辞書係数と画像データと掛け合わせる処理を実行する。このような演算処理により得られた結果(演算結果)は、メモリ15及び/又はセレクタ16へ出力される。なお、演算結果には、学習済みモデルを用いた演算処理を実行することで得られた画像データや、その画像データから得られる各種情報(メタデータ)が含まれ得る。また、DSP14には、メモリ15へのアクセスを制御するメモリコントローラが組み込まれていてもよい。
なお、DSP14が処理対象とする画像データは、画素アレイ部101から通常に読み出された画像データであってもよいし、この通常に読み出された画像データの画素を間引くことでデータサイズが縮小された画像データであってもよい。若しくは、画素アレイ部101に対して画素を間引いた読み出しを実行することで通常よりも小さいデータサイズで読み出された画像データであってもよい。なお、ここでの通常の読み出しとは、画素を間引かずに読み出すことであってよい。
メモリ15は、ADC17から出力された画像データ、信号処理部13で信号処理された画像データ、DSP14で得られた演算結果等を必要に応じて記憶する。また、メモリ15は、DSP14が実行する学習済みモデルのアルゴリズムをプログラム及び辞書係数として記憶する。
なお、DSP14は、学習データを用いて学習モデル内の各種パラメータの重み付けを変更することで学習モデルを学習したり、複数の学習モデルを用意しておき演算処理の内容に応じて使用する学習モデルを変更したり、外部の装置から学習済みの学習モデルを取得したりして、上記演算処理を実行することができる。
セレクタ16は、例えばコントロール部12からの選択制御信号に従うことで、DSP14から出力された画像データやメモリ15に記憶されている画像データや演算結果を選択的に出力する。なお、DSP14が信号処理部13から出力された画像データに対して処理を実行しない場合であって、セレクタ16がDSP14から出力された画像データを出力する場合には、セレクタ16は、信号処理部13から出力された画像データをそのまま出力する。
以上のようにしてセレクタ16から出力された画像データや演算結果は、表示やユーザインタフェースなどを処理するアプリケーションプロセッサ20に入力される。アプリケーションプロセッサ20は、例えば、CPU(Central Processing Unit)等を用いて構成され、オペレーティングシステムや各種アプリケーションソフトウエア等を実行する。このアプリケーションプロセッサ20には、GPU(Graphics Processing Unit)やベースバンドプロセッサなどの機能が搭載されていてもよい。アプリケーションプロセッサ20は、入力された画像データや演算結果に対し、必要に応じた種々処理を実行したり、ユーザへの表示を実行したり、所定のネットワーク40を介して外部のクラウドサーバ30へ送信したりする。
なお、所定のネットワーク40には、例えば、インターネットや、有線LAN(Local Area Network)又は無線LANや、移動体通信網や、Bluetooth(登録商標)など、種々のネットワークを適用することができる。また、画像データや演算結果の送信先は、クラウドサーバ30に限定されず、単一で動作するサーバや、各種データを保管するファイルサーバや、携帯電話機等の通信端末など、通信機能を有する種々の情報処理装置(システム)であってよい。
1.2 イメージセンサチップのチップ構成例
次に、図1に示すイメージセンサ10のチップ構成の例について、以下に図面を参照して詳細に説明する。
図2は、本実施形態に係るイメージセンサのチップ構成例を示す模式図である。図2に示すように、イメージセンサ10は、四角形の平板状の第1基板(ダイ)100と、同じく四角形の平板状の第2基板(ダイ)120とが貼り合わされた積層構造を有している。
第1基板100と第2基板とのサイズは、例えば、同じであってよい。また、第1基板100と第2基板120とは、それぞれシリコン基板などの半導体基板であってよい。
第1基板100には、図1に示すイメージセンサ10の構成において、撮像部11の画素アレイ部101が配置される。また、第1基板100には、光学系104の一部又は全部がオンチップで設けられていてもよい。
第2基板120には、図1に示すイメージセンサ10の構成において、ADC17と、コントロール部12と、信号処理部13と、DSP14と、メモリ15と、セレクタ16とが配置されている。なお、第2基板120には、不図示のインタフェース回路やドライバ回路などが配置されていてもよい。
第1基板100と第2基板120との貼り合わせは、第1基板100及び第2基板120をそれぞれチップに個片化した後、これら個片化された第1基板100及び第2基板120を貼り合わせる、いわゆるCoC(Chip on Chip)方式であってもよいし、第1基板100と第2基板120とのうち一方(例えば、第1基板100)をチップに個片化した後、この個片化された第1基板100を個片化前(すなわち、ウエハ状態)の第2基板120に貼り合わせる、いわゆるCoW(Chip on Wafer)方式であってもよいし、第1基板100と第2基板120とを共にウエハの状態で貼り合わせる、いわゆるWoW(Wafer on Wafer)方式であってもよい。
第1基板100と第2基板120との接合方法には、例えば、プラズマ接合等を使用することができる。ただし、これに限定されず、種々の接合方法が用いられてよい。
1.3 学習済みモデルに基づく演算を実行する処理部を搭載したイメージセンサチップの課題
以上のように、DSP14を学習済みモデルに基づいた演算処理を実行する処理部として動作させる場合、その動作アルゴリズムの実装が、プログラムの実行による、いわゆるソフトウエア実装となる。また、学習済みモデルの動作アルゴリズムは、日々更新されている。そのため、学習済みモデルに基づいた演算処理を実行するDSP14がどのタイミングで処理を実行するかや、DSP14の処理のピークがどのタイミングになるかなどを事前に把握することは困難である。
そして、図2に例示するように、第1基板100に画素アレイ部101を搭載し、第2基板120にDSP14を搭載したチップ構成において、DSP14を学習済みモデルに基づいた演算を実行する処理部として動作させる場合、画素アレイ部101のリセット中や画素アレイ部101の露光中や画素アレイ部101の各単位画素101aからの画素信号を読出中にDSP14が演算処理を開始したりDSP14の処理がピークを迎えたりすると、画素アレイ部101から読み出される画素信号にノイズ(電流や電界の揺らぎ等)が重畳され、結果的に、イメージセンサ10で取得する画像の品質が低下してしまう。
そこで本実施形態では、画素アレイ部101とDSP14との位置関係を調整することで、画素アレイ部101へのDSP14の信号処理に起因したノイズの入り込みを低減する。これにより、DSP14を学習済みモデルに基づいた演算を実行する処理部として動作させた場合でも、品質の劣化が低減された画像を取得することが可能となる。
1.4 ノイズ低減手法
次に、本実施形態に係る画素アレイ部101とDSP14との位置関係について、以下に図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では、各層(第1基板100及び第2基板120)のレイアウト(フロアマップともいう)について幾つか例を挙げることで、画素アレイ部101とDSP14との位置関係を説明する。
1.4.1 第1のレイアウト例
図3及び図4は、本実施形態に係る第1のレイアウト例を説明するための図である。なお、図3は、第1基板100のレイアウト例を示し、図4は、第2基板120のレイアウト例を示す。
1.4.1.1 第1基板のレイアウト例
図3に示すように、第1基板100には、図1に示すイメージセンサ10の構成において、撮像部11の画素アレイ部101が配置されている。なお、第1基板100に光学系104の一部又は全部を搭載する場合には、画素アレイ部101と対応する位置に設けられる。
画素アレイ部101は、第1基板100の4つの辺L101〜L104のうち、1つの辺L101側に片寄って配置される。言い換えれば、画素アレイ部101は、その中心部O101が第1基板100の中心部O100よりも辺L101に近接するように、配置されている。なお、第1基板100における画素アレイ部101が設けられた面が長方形である場合、辺L101は、例えば、短い方の辺であってもよい。ただし、これに限定されず、長い方の辺に、画素アレイ部101が片寄って配置されてもよい。
画素アレイ部101の4つの辺のうちの辺L101に近接する領域、言い換えれば、辺L101と画素アレイ部101との間の領域には、画素アレイ部101中の各単位画素101aを第2基板120に配置されたADC17に電気的に接続させるための配線として、第1基板100を貫通する複数の貫通配線(Through Silicon Via:以下、TSVという)が配列するTSVアレイ102が設けられている。このように、TSVアレイ102を画素アレイ部101が近接する辺L101に近接させることで、第2基板120において、ADC17等の各部を配置スペースを確保し易くすることができる。
なお、TSVアレイ102は、辺L101と交わる2つの辺L103及びL104のうち一方の辺L104(ただし、辺L103であってもよい)に近接する領域、言い換えれば、辺L104(又は、辺L103)と画素アレイ部101との間の領域にも設けられていてよい。
第1基板100の4つの辺L101〜L104のうち、画素アレイ部101が片寄って配置されていない辺L102〜L103それぞれには、直線状に配列された複数のパッドよりなるパッドアレイ103が設けられている。パッドアレイ103に含まれるパッドには、例えば、画素アレイ部101やADC17などのアナログ回路用の電源電圧が印加されるパッド(電源ピンともいう)や、信号処理部13やDSP14やメモリ15やセレクタ16やコントロール部12等のデジタル回路用の電源電圧が印加されるパッド(電源ピンともいう)や、MIPI(Mobile Industry Processor Interface)やSPI(Serial Peripheral Interface)などのインタフェース用のパッド(信号ピンともいう)や、クロックやデータの入出力のためのパッド(信号ピンともいう)などが含まれている。各パッドは、例えば、外部の電源回路やインタフェース回路とワイヤを介して電気的に接続される。各パッドアレイ103とTSVアレイ102とは、パッドアレイ103中の各パッドに接続されたワイヤからの信号の反射の影響を無視できる程度に十分に離れていることが好ましい。
1.4.1.2 第2基板のレイアウト例
一方、図4に示すように、第2基板120には、図1に示すイメージセンサ10の構成において、ADC17と、コントロール部12と、信号処理部13と、DSP14と、メモリ15とが配置されている。なお、第1のレイアウト例では、メモリ15がメモリ15Aとメモリ15Bとの2つの領域に分かれている。同様に、ADC17がADC17AとDAC(Digital to Analog Converter)17Bとの2つの領域に分かれている。DAC17Bは、ADC17AへAD変換用の参照電圧を供給する構成であり、広い意味でADC17の一部に含まれる構成である。また、図4には図示されていないが、セレクタ16も第2基板120に配置されている。
さらに、第2基板120には、第1基板100を貫通するTSVアレイ102中の各TSV(以下、単にTSVアレイ102とする)と接触することで電気的に接続された配線122と、第1基板100のパッドアレイ103における各パッドと電気的に接続される複数のパッドが直線状に配列されてなるパッドアレイ123とが設けられている。
TSVアレイ102と配線122との接続には、例えば、第1基板100に設けられたTSVと第1基板100から第2基板120にかけて設けられたTSVとの2つのTSVをチップ外表で接続する、いわゆるツインTSV方式や、第1基板100から第2基板120にかけて設けられた共通のTSVで接続する、いわゆるシェアードTSV方式などを採用することができる。ただし、これらに限定されず、例えば、第1基板100の接合面と第2基板120の接合面とにそれぞれ露出させた銅(Cu)同士を接合する、いわゆるCu−Cuボンディング方式など、種々の接続形態を採用することが可能である。
第1基板100のパッドアレイ103における各パッドと、第2基板120のパッドアレイ123における各パッドとの接続形態は、例えば、ワイヤボンディングである。ただし、これに限定されず、スルーホールやキャスタレーション等の接続形態であってもよい。
第2基板120のレイアウト例では、例えば、TSVアレイ102と接続される配線122の近傍を上流側とし、画素アレイ部101から読み出された信号の流れに沿って、上流から順に、ADC17Aと、信号処理部13と、DSP14とが配置されている。すなわち、画素アレイ部101から読み出された画素信号が最初に入力されるADC17Aが最も上流側である配線122の近傍に配置され、次いで、信号処理部13が配置され、配線122から最も遠い領域にDSP14が配置されている。このように、ADC17からDSP14までを信号の流れに沿って上流側から配置したレイアウトとすることで、各部を接続する配線を短縮することが可能となる。それにより、信号遅延の低減や信号の伝搬損失の低減やS/N比の向上や消費電力の低減が可能となる。
また、コントロール部12は、例えば、上流側である配線122の近傍に配置される。図4では、ADC17Aと信号処理部13との間にコントロール部12が配置されている。このようなレイアウトとすることで、コントロール部12が画素アレイ部101を制御する際の信号遅延の低減や信号の伝搬損失の低減やS/N比の向上や消費電力の低減が可能となる。また、アナログ回路用の信号ピンや電源ピンをアナログ回路の近傍(例えば、図4中の下側)にまとめて配置し、残りのデジタル回路用の信号ピンや電源ピンをデジタル回路の近傍(例えば、図4中の上側)にまとめて配置したり、アナログ回路用の電源ピンとデジタル回路用の電源ピンとを十分に離して配置したりなどが可能となるというメリットも存在する。
また、図4に示すレイアウトでは、DSP14が最も下流側であるADC17Aとは反対側に配置されている。このようなレイアウトとすることで、言い換えれば、第1基板100と第2基板120との積層方向(以下、単に上下方向という)において、画素アレイ部101と重畳しない領域に、DSP14を配置することが可能となる。
このように、上下方向において画素アレイ部101とDSP14とが重畳しない構成とすることで、DSP14が信号処理を実行することで発生したノイズが画素アレイ部101に入り込むことを低減することが可能となる。その結果、DSP14を学習済みモデルに基づいた演算を実行する処理部として動作させた場合でも、画素アレイ部101へのDSP14の信号処理に起因したノイズの入り込みを低減することが可能となるため、品質の劣化が低減された画像を取得することが可能となる。
なお、DSP14と信号処理部13とは、DSP14の一部又は信号線で構成された接続部14aによって接続される。また、セレクタ16は、例えば、DSP14の近傍に配置される。接続部14aをDSP14の一部とした場合、上下方向において一部のDSP14が画素アレイ部101と重なることとなるが、このような場合でも、全てのDSP14が上下方向において画素アレイ部101と重畳する場合と比較して、画素アレイ部101へのノイズの入り込みを低減することが可能である。
メモリ15A及び15Bは、例えば、DSP14を3方向から囲むように配置される。このように、DSP14を囲むようにメモリ15A及び15Bを配置することで、メモリ15における各メモリ素子とDSP14との配線上の距離を平均化しつつ全体的に短くすることが可能となる。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力を低減することが可能となる。
パッドアレイ123は、例えば、第1基板100のパッドアレイ103と上下方向において対応する第2基板120上の位置に配置される。ここで、パッドアレイ123に含まれるパッドのうち、ADC17Aの近傍に位置するパッドは、アナログ回路(主にADC17A)用の電源電圧やアナログ信号の伝搬に使用される。一方、コントロール部12や信号処理部13やDSP14やメモリ15A及び15Bの近傍に位置するパッドは、デジタル回路(主に、コントロール部12、信号処理部13、DSP14、メモリ15A及び15B)用の電源電圧やデジタル信号の伝搬に使用される。このようなパッドレイアウトとすることで、各パッドと各部とを接続する配線上の距離を短くすることが可能となる。それにより、信号遅延の低減や信号や電源電圧の伝搬損失の低減やS/N比の向上や消費電力の低減が可能となる。
1.4.2 第2のレイアウト例
次に、第2のレイアウト例について説明する。なお、第2のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図5は、第2のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図5に示すように、第2のレイアウト例では、第1のレイアウト例と同様のレイアウトにおいて、DSP14が、DSP14とメモリ15とを配置する領域の中央に配置されている。言い換えれば、第2のレイアウト例では、メモリ15がDSP14を4方向から囲むように配置されている。
このように、DSP14を4方向から囲むようにメモリ15A及び15Bを配置することで、メモリ15における各メモリ素子とDSP14との配線上の距離をより平均化しつつ全体的にさらに短くすることが可能となる。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
なお、図5では、DSP14と画素アレイ部101とが上下方向において重畳しないように配置されているが、これに限られず、DSP14の一部が画素アレイ部101と上下方向において重畳してもよい。そのような場合でも、全てのDSP14が上下方向において画素アレイ部101と重畳する場合と比較して、画素アレイ部101へのノイズの入り込みを低減することが可能である。
その他のレイアウトについては、第1のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.3 第3のレイアウト例
次に、第3のレイアウト例について説明する。なお、第3のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図6は、第3のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図6に示すように、第3のレイアウト例では、第1のレイアウト例と同様のレイアウトにおいて、DSP14が信号処理部13に隣接して配置されている。このような構成によれば、信号処理部13からDSP14までの信号線を短くすることが可能となる。それにより、信号遅延の低減や信号や電源電圧の伝搬損失の低減やS/N比の向上や消費電力の低減が可能となる。
また、第3のレイアウト例においても、メモリ15は、DSP14を3方向から囲むように配置される。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力を低減することが可能となる。
なお、第3のレイアウト例では、DSP14の一部が画素アレイ部101と上下方向において重畳しているが、そのような場合でも、全てのDSP14が上下方向において画素アレイ部101と重畳する場合と比較して、画素アレイ部101へのノイズの入り込みを低減することが可能である。
その他のレイアウトについては、他のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.4 第4のレイアウト例
次に、第4のレイアウト例について説明する。なお、第4のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図7は、第4のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図7に示すように、第4のレイアウト例では、第3のレイアウト例と同様のレイアウト、すなわちDSP14が信号処理部13に隣接して配置されたレイアウトにおいて、DSP14が2つのTSVアレイ102の両方から遠い位置に配置されている。
このように、DSP14を2つのTSVアレイ102の両方から遠い位置に配置することで、ADC17AからDSP14までを信号の流れにより忠実に配置することが可能となるため、信号処理部13からDSP14までの信号線をさらに短くすることが可能となる。その結果、信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
また、第4のレイアウト例においては、メモリ15は、DSP14を2方向から囲むように配置される。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力を低減することが可能となる。
なお、第4のレイアウト例でも、DSP14の一部が画素アレイ部101と上下方向において重畳しているが、そのような場合でも、全てのDSP14が上下方向において画素アレイ部101と重畳する場合と比較して、画素アレイ部101へのノイズの入り込みを低減することが可能である。
その他のレイアウトについては、他のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.5 第5のレイアウト例
次に、第5のレイアウト例について説明する。なお、第5のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図8は、第5のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図8に示すように、第5のレイアウト例では、第1のレイアウト例と同様のレイアウト、すなわちDSP14が最も下流側に配置されたレイアウトにおいて、DSP14が2つのTSVアレイ102の両方から遠い位置に配置されている。
このようなレイアウトによっても、ADC17AからDSP14までを信号の流れにより忠実に配置することが可能となるため、信号処理部13からDSP14までの信号線をさらに短くすることが可能となる。その結果、信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
その他のレイアウトについては、他のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.6 第6のレイアウト例
次に、第6のレイアウト例について説明する。なお、第6のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図9は、第6のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図9に示すように、第6のレイアウト例では、DSP14が2つの領域に分割されたメモリ15C及び15Dにより、図面中上下方向から挟まれた構成を有する。
このように、DSP14を挟むようにメモリ15C及び15Dを配置することで、メモリ15における各メモリ素子とDSP14との配線上の距離を平均化しつつ全体的に短くすることが可能となる。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
その他のレイアウトについては、第1のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.7 第7のレイアウト例
次に、第7のレイアウト例について説明する。なお、第7のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図10は、第7のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図10に示すように、第7のレイアウト例では、メモリ15が2つの領域に分割されたDSP14A及び14Bにより、図面中上下方向から挟まれた構成を有する。
このように、メモリ15を挟むようにDSP14A及び14Bを配置することで、メモリ15における各メモリ素子とDSP14との配線上の距離を平均化しつつ全体的に短くすることが可能となる。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
その他のレイアウトについては、第1のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.8 第8のレイアウト例
次に、第8のレイアウト例について説明する。なお、第8のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図11は、第8のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図11に示すように、第8のレイアウト例では、DSP14が2つの領域に分割されたメモリ15E及び15Fにより、図面中左右方向から挟まれた構成を有する。
このように、DSP14を挟むようにメモリ15C及び15Dを配置することで、メモリ15における各メモリ素子とDSP14との配線上の距離を平均化しつつ全体的に短くすることが可能となる。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
その他のレイアウトについては、第1のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.4.9 第9のレイアウト例
次に、第9のレイアウト例について説明する。なお、第9のレイアウト例において、第1基板100のレイアウト例は、第1のレイアウト例において図3を用いて説明したレイアウト例と同様であってよい。
図12は、第9のレイアウト例に係る第2基板のレイアウト例を示す図である。図12に示すように、第9のレイアウト例では、メモリ15が2つの領域に分割されたDSP14C及び14Dにより、図面中左右方向から挟まれた構成を有する。
このように、メモリ15を挟むようにDSP14C及び14Dを配置することで、メモリ15における各メモリ素子とDSP14との配線上の距離を平均化しつつ全体的に短くすることが可能となる。それにより、DSP14がメモリ15へアクセスする際の信号遅延や信号の伝搬損失や消費電力をより低減することが可能となる。
その他のレイアウトについては、第1のレイアウト例と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
1.5 作用・効果
以上のように、本実施形態によれば、第2基板120のDSP14の少なくとも一部が第1基板100と第2基板120との積層方向(上下方向)において画素アレイ部101と重畳しないように、画素アレイ部101とDSP14との位置関係が調整されている。それにより、画素アレイ部101へのDSP14の信号処理に起因したノイズの入り込みを低減することが可能となるため、DSP14を学習済みモデルに基づいた演算を実行する処理部として動作させた場合でも、品質の劣化が低減された画像を取得することが可能となる。
2.第2の実施形態
次に、第2の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、第1の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
第2の実施形態に係る電子機器としての撮像装置は、例えば、第1の実施形態において図1を用いて説明した撮像装置1と同様であってよいため、ここではそれを引用して詳細な説明を省略する。
2.1 イメージセンサチップのチップ構成例
つづいて、本実施形態に係るイメージセンサのチップ構成の例について、以下に図面を参照して詳細に説明する。図13は、本実施形態に係るイメージセンサにおける第1基板の概略構成例を示すレイアウト図である。図14は、本実施形態に係るイメージセンサのチップ構成例を示す模式図である。
図13及び図14に示すように、本実施形態では、第1基板200のサイズが第2基板120のサイズよりも小さい。例えば、第1基板200のサイズは、画素アレイ部101のサイズに合せて縮小されている。このように、第1基板200のサイズを縮小することで、1つの半導体ウエハからより大量の第1基板200を作製することが可能になる。また、イメージセンサ10のチップサイズをより小型化することも可能となる。
なお、第1基板200と第2基板120との貼り合わせには、第1基板200及び第2基板120をそれぞれチップに個片化した後に貼り合わせるCoC(Chip on Chip)方式や、個片化された第1基板200をウエハ状態の第2基板120に貼り合わせるCoW(Chip on Wafer)方式を採用することができる。
なお、第1基板200のレイアウトは、例えば、第1の実施形態において例示した第1基板100における上側の部分を除いたレイアウトと同様であってよい。また、第2基板120のレイアウトは、例えば、第1の実施形態において例示した第2基板120と同様であってよい。さらに、第2基板120に対する第1基板200の貼合せ場所は、第1の実施形態と同様に、画素アレイ部101の少なくとも一部が第2基板120のDSP14と上下方向において重畳しない位置であってよい。
2.2 作用・効果
以上のように、第1基板200を画素アレイ部101のサイズに合せて縮小した場合でも、第1の実施形態と同様に、画素アレイ部101へのDSP14の信号処理に起因したノイズの入り込みを低減することが可能となる。それにより、DSP14を学習済みモデルに基づいた演算を実行する処理部として動作させた場合でも、品質の劣化が低減された画像を取得することが可能となる。なお、他の構成(第2基板120のレイアウト例を含む)及び効果については、第1の実施形態と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
3.第3の実施形態
次に、第3の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、第1又は第2の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
第3の実施形態に係る電子機器としての撮像装置は、例えば、第1の実施形態において図1を用いて説明した撮像装置1と同様であってよいため、ここではそれを引用して詳細な説明を省略する。
3.1 イメージセンサチップのチップ構成例
つづいて、本実施形態に係るイメージセンサのチップ構成の例について、以下に図面を参照して詳細に説明する。図15は、本実施形態に係るイメージセンサにおける第1基板の概略構成例を示すレイアウト図である。図16は、本実施形態に係るイメージセンサにおける第2基板の概略構成例を示すレイアウト図である。図17は、本実施形態に係るイメージセンサのチップ構成例を示す模式図である。
図15〜図17に示すように、本実施形態では、第1基板300のサイズが、画素アレイ部101のサイズに合せて縮小されている。また、本実施形態では、第2基板320のサイズが、第1基板300のサイズと同程度に縮小されている。このような構成により、本実施形態では、第1基板300の余剰領域を削減することが可能となるため、イメージセンサ10のチップサイズがより小型化されている。
ただし、本実施形態では、第1基板300と第2基板320との積層方向(以下、単に上下方向という)において、画素アレイ部101とDSP14とが重畳している。そのため、場合によっては画素アレイ部101から読み出される画素信号にDSP14起因のノイズが重畳されて、イメージセンサ10で取得する画像の品質を低下させる可能性がある。
そこで本実施形態では、ADC17AとDSP14とを離した構成とする。具体的には、例えば、ADC17Aを第2基板320の1つの端L321に寄せて配置し、DSP14を、ADC17Aが配された端L321とは反対側の端L322に寄せて配置する。
このような配置により、DSP14からADC17Aに伝搬するノイズを低減することが可能となるため、イメージセンサ10で取得する画像の品質の低下を抑制することが可能となる。なお、ADC17Aが近接される端L321は、TSVアレイ102と接続される配線122が設けられた端であってよい。
また、このような配置によれば、上述した実施形態と同様に、例えば、TSVアレイ102と接続される配線122の近傍を上流側とし、画素アレイ部101から読み出された信号の流れに沿って、上流から順に、ADC17Aと、信号処理部13と、DSP14とが配置されるため、各部を接続する配線を短縮することが可能となる。それにより、伝送負荷が低減され、信号遅延の低減や消費電力の低減が可能となる。
3.2 作用・効果
以上のように、第1基板300と第2基板320と画素アレイ部101のサイズに合せて縮小した場合には、ADC17AとDSP14とを離して配置することで、DSP14からADC17Aに伝搬するノイズを低減することが可能となる。それにより、イメージセンサ10で取得する画像の品質の低下を抑制することが可能となる。
その他の構成及び効果については、上述した実施形態と同様であってよいため、ここでは詳細な説明を省略する。
4.他のセンサへの適用
なお、上述した実施形態では、2次元画像を取得する固体撮像装置(イメージセンサ10)に対して本開示に係る技術を適用した場合を例示したが、本開示に係る技術の適用先は固体撮像装置に限定されるものではない。例えば、ToF(Time of Flight)センサや赤外線(IR)センサやDVS(Dynamic Vision Sensor)等、種々の受光センサに対して本開示に係る技術を適用することが可能である。すなわち、受光センサのチップ構造を積層型とすることで、センサ結果に含まれるノイズの低減やセンサチップの小型化等を達成することが可能である。
5.移動体への応用例
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図18は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図18に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(Interface)12053が図示されている。
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12030に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図18の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
図19は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
図19では、撮像部12031として、撮像部12101、12102、12103、12104、12105を有する。
撮像部12101、12102、12103、12104、12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102、12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図19には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031等に適用され得る。撮像部12031等に本開示に係る技術を適用することにより、撮像部12031等を小型化することが可能となるため、車両12100のインテリアやエクステリアの設計が容易となる。また、撮像部12031等に本開示に係る技術を適用することにより、ノイズの低減されたクリアな画像を取得することが可能となるため、より見やすい撮影画像をドライバに提供することができる。それにより、ドライバの疲労を軽減することが可能になる。
6.内視鏡手術システムへの応用例
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
図20は、本開示に係る技術(本技術)が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
図20では、術者(医師)11131が、内視鏡手術システム11000を用いて、患者ベッド11133上の患者11132に手術を行っている様子が図示されている。図示するように、内視鏡手術システム11000は、内視鏡11100と、気腹チューブ11111やエネルギー処置具11112等の、その他の術具11110と、内視鏡11100を支持する支持アーム装置11120と、内視鏡下手術のための各種の装置が搭載されたカート11200と、から構成される。
内視鏡11100は、先端から所定の長さの領域が患者11132の体腔内に挿入される鏡筒11101と、鏡筒11101の基端に接続されるカメラヘッド11102と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒11101を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡11100を図示しているが、内視鏡11100は、軟性の鏡筒を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。
鏡筒11101の先端には、対物レンズが嵌め込まれた開口部が設けられている。内視鏡11100には光源装置11203が接続されており、当該光源装置11203によって生成された光が、鏡筒11101の内部に延設されるライトガイドによって当該鏡筒の先端まで導光され、対物レンズを介して患者11132の体腔内の観察対象に向かって照射される。なお、内視鏡11100は、直視鏡であってもよいし、斜視鏡又は側視鏡であってもよい。
カメラヘッド11102の内部には光学系及び撮像素子が設けられており、観察対象からの反射光(観察光)は当該光学系によって当該撮像素子に集光される。当該撮像素子によって観察光が光電変換され、観察光に対応する電気信号、すなわち観察像に対応する画像信号が生成される。当該画像信号は、RAWデータとしてカメラコントロールユニット(CCU: Camera Control Unit)11201に送信される。
CCU11201は、CPU(Central Processing Unit)やGPU(Graphics Processing Unit)等によって構成され、内視鏡11100及び表示装置11202の動作を統括的に制御する。さらに、CCU11201は、カメラヘッド11102から画像信号を受け取り、その画像信号に対して、例えば現像処理(デモザイク処理)等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。
表示装置11202は、CCU11201からの制御により、当該CCU11201によって画像処理が施された画像信号に基づく画像を表示する。
光源装置11203は、例えばLED(Light Emitting Diode)等の光源から構成され、術部等を撮影する際の照射光を内視鏡11100に供給する。
入力装置11204は、内視鏡手術システム11000に対する入力インタフェースである。ユーザは、入力装置11204を介して、内視鏡手術システム11000に対して各種の情報の入力や指示入力を行うことができる。例えば、ユーザは、内視鏡11100による撮像条件(照射光の種類、倍率及び焦点距離等)を変更する旨の指示等を入力する。
処置具制御装置11205は、組織の焼灼、切開又は血管の封止等のためのエネルギー処置具11112の駆動を制御する。気腹装置11206は、内視鏡11100による視野の確保及び術者の作業空間の確保の目的で、患者11132の体腔を膨らめるために、気腹チューブ11111を介して当該体腔内にガスを送り込む。レコーダ11207は、手術に関する各種の情報を記録可能な装置である。プリンタ11208は、手術に関する各種の情報を、テキスト、画像又はグラフ等各種の形式で印刷可能な装置である。
なお、内視鏡11100に術部を撮影する際の照射光を供給する光源装置11203は、例えばLED、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成することができる。RGBレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色(各波長)の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置11203において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、RGBレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド11102の撮像素子の駆動を制御することにより、RGBそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にカラーフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。
また、光源装置11203は、出力する光の強度を所定の時間ごとに変更するようにその駆動が制御されてもよい。その光の強度の変更のタイミングに同期してカメラヘッド11102の撮像素子の駆動を制御して時分割で画像を取得し、その画像を合成することにより、いわゆる黒つぶれ及び白とびのない高ダイナミックレンジの画像を生成することができる。
また、光源装置11203は、特殊光観察に対応した所定の波長帯域の光を供給可能に構成されてもよい。特殊光観察では、例えば、体組織における光の吸収の波長依存性を利用して、通常の観察時における照射光(すなわち、白色光)に比べて狭帯域の光を照射することにより、粘膜表層の血管等の所定の組織を高コントラストで撮影する、いわゆる狭帯域光観察(Narrow Band Imaging)が行われる。あるいは、特殊光観察では、励起光を照射することにより発生する蛍光により画像を得る蛍光観察が行われてもよい。蛍光観察では、体組織に励起光を照射し当該体組織からの蛍光を観察すること(自家蛍光観察)、又はインドシアニングリーン(ICG)等の試薬を体組織に局注するとともに当該体組織にその試薬の蛍光波長に対応した励起光を照射し蛍光像を得ること等を行うことができる。光源装置11203は、このような特殊光観察に対応した狭帯域光及び/又は励起光を供給可能に構成され得る。
図21は、図20に示すカメラヘッド11102及びCCU11201の機能構成の一例を示すブロック図である。
カメラヘッド11102は、レンズユニット11401と、撮像部11402と、駆動部11403と、通信部11404と、カメラヘッド制御部11405と、を有する。CCU11201は、通信部11411と、画像処理部11412と、制御部11413と、を有する。カメラヘッド11102とCCU11201とは、伝送ケーブル11400によって互いに通信可能に接続されている。
レンズユニット11401は、鏡筒11101との接続部に設けられる光学系である。鏡筒11101の先端から取り込まれた観察光は、カメラヘッド11102まで導光され、当該レンズユニット11401に入射する。レンズユニット11401は、ズームレンズ及びフォーカスレンズを含む複数のレンズが組み合わされて構成される。
撮像部11402を構成する撮像素子は、1つ(いわゆる単板式)であってもよいし、複数(いわゆる多板式)であってもよい。撮像部11402が多板式で構成される場合には、例えば各撮像素子によってRGBそれぞれに対応する画像信号が生成され、それらが合成されることによりカラー画像が得られてもよい。あるいは、撮像部11402は、3D(dimensional)表示に対応する右目用及び左目用の画像信号をそれぞれ取得するための1対の撮像素子を有するように構成されてもよい。3D表示が行われることにより、術者11131は術部における生体組織の奥行きをより正確に把握することが可能になる。なお、撮像部11402が多板式で構成される場合には、各撮像素子に対応して、レンズユニット11401も複数系統設けられ得る。
また、撮像部11402は、必ずしもカメラヘッド11102に設けられなくてもよい。例えば、撮像部11402は、鏡筒11101の内部に、対物レンズの直後に設けられてもよい。
駆動部11403は、アクチュエータによって構成され、カメラヘッド制御部11405からの制御により、レンズユニット11401のズームレンズ及びフォーカスレンズを光軸に沿って所定の距離だけ移動させる。これにより、撮像部11402による撮像画像の倍率及び焦点が適宜調整され得る。
通信部11404は、CCU11201との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部11404は、撮像部11402から得た画像信号をRAWデータとして伝送ケーブル11400を介してCCU11201に送信する。
また、通信部11404は、CCU11201から、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を受信し、カメラヘッド制御部11405に供給する。当該制御信号には、例えば、撮像画像のフレームレートを指定する旨の情報、撮像時の露出値を指定する旨の情報、並びに/又は撮像画像の倍率及び焦点を指定する旨の情報等、撮像条件に関する情報が含まれる。
なお、上記のフレームレートや露出値、倍率、焦点等の撮像条件は、ユーザによって適宜指定されてもよいし、取得された画像信号に基づいてCCU11201の制御部11413によって自動的に設定されてもよい。後者の場合には、いわゆるAE(Auto Exposure)機能、AF(Auto Focus)機能及びAWB(Auto White Balance)機能が内視鏡11100に搭載されていることになる。
カメラヘッド制御部11405は、通信部11404を介して受信したCCU11201からの制御信号に基づいて、カメラヘッド11102の駆動を制御する。
通信部11411は、カメラヘッド11102との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部11411は、カメラヘッド11102から、伝送ケーブル11400を介して送信される画像信号を受信する。
また、通信部11411は、カメラヘッド11102に対して、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を送信する。画像信号や制御信号は、電気通信や光通信等によって送信することができる。
画像処理部11412は、カメラヘッド11102から送信されたRAWデータである画像信号に対して各種の画像処理を施す。
制御部11413は、内視鏡11100による術部等の撮像、及び、術部等の撮像により得られる撮像画像の表示に関する各種の制御を行う。例えば、制御部11413は、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を生成する。
また、制御部11413は、画像処理部11412によって画像処理が施された画像信号に基づいて、術部等が映った撮像画像を表示装置11202に表示させる。この際、制御部11413は、各種の画像認識技術を用いて撮像画像内における各種の物体を認識してもよい。例えば、制御部11413は、撮像画像に含まれる物体のエッジの形状や色等を検出することにより、鉗子等の術具、特定の生体部位、出血、エネルギー処置具11112の使用時のミスト等を認識することができる。制御部11413は、表示装置11202に撮像画像を表示させる際に、その認識結果を用いて、各種の手術支援情報を当該術部の画像に重畳表示させてもよい。手術支援情報が重畳表示され、術者11131に提示されることにより、術者11131の負担を軽減することや、術者11131が確実に手術を進めることが可能になる。
カメラヘッド11102及びCCU11201を接続する伝送ケーブル11400は、電気信号の通信に対応した電気信号ケーブル、光通信に対応した光ファイバ、又はこれらの複合ケーブルである。
ここで、図示する例では、伝送ケーブル11400を用いて有線で通信が行われていたが、カメラヘッド11102とCCU11201との間の通信は無線で行われてもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る内視鏡手術システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、例えば、カメラヘッド11102の撮像部11402等に適用され得る。カメラヘッド11102に本開示に係る技術を適用することにより、カメラヘッド11102等を小型化することが可能となるため、内視鏡手術システム11000をコンパクト化が可能となる。また、カメラヘッド11102等に本開示に係る技術を適用することにより、ノイズの低減されたクリアな画像を取得することが可能となるため、より見やすい撮影画像を術者に提供することができる。それにより、術者の疲労を軽減することが可能になる。
なお、ここでは、一例として内視鏡手術システムについて説明したが、本開示に係る技術は、その他、例えば、顕微鏡手術システム等に適用されてもよい。
7.WSI(Whole Slide Imaging)システムへの応用例
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、医師等が患者から採取された細胞や組織を観察して病変を診断する病理診断システムやその支援システム等(以下、診断支援システムと称する)に適用されてもよい。この診断支援システムは、デジタルパソロジー技術を利用して取得された画像に基づいて病変を診断又はその支援をするWSI(Whole Slide Imaging)システムであってもよい。
図22は、本開示に係る技術が適用される診断支援システム5500の概略的な構成の一例を示す図である。図22に示すように、診断支援システム5500は、1以上の病理システム5510を含む。さらに医療情報システム5530と、導出装置5540とを含んでもよい。
1以上の病理システム5510それぞれは、主に病理医が使用するシステムであり、例えば研究所や病院に導入される。各病理システム5510は、互いに異なる病院に導入されてもよく、それぞれWAN(Wide Area Network)(インターネットを含む)やLAN(Local Area Network)や公衆回線網や移動体通信網などの種々のネットワークを介して医療情報システム5530及び導出装置5540に接続される。
各病理システム5510は、顕微鏡5511と、サーバ5512と、表示制御装置5513と、表示装置5514とを含む。
顕微鏡5511は、光学顕微鏡の機能を有し、ガラススライドに収められた観察対象物を撮像し、デジタル画像である病理画像を取得する。観察対象物とは、例えば、患者から採取された組織や細胞であり、臓器の肉片、唾液、血液等であってよい。
サーバ5512は、顕微鏡5511によって取得された病理画像を図示しない記憶部に記憶、保存する。また、サーバ5512は、表示制御装置5513から閲覧要求を受け付けた場合に、図示しない記憶部から病理画像を検索し、検索された病理画像を表示制御装置5513に送る。
表示制御装置5513は、ユーザから受け付けた病理画像の閲覧要求をサーバ5512に送る。そして、表示制御装置5513は、サーバ5512から受け付けた病理画像を、液晶、EL(Electro-Luminescence)、CRT(Cathode Ray Tube)などを用いた表示装置5514に表示させる。なお、表示装置5514は、4Kや8Kに対応していてもよく、また、1台に限られず、複数台であってもよい。
ここで、観察対象物が臓器の肉片等の固形物である場合、この観察対象物は、例えば、染色された薄切片であってよい。薄切片は、例えば、臓器等の検体から切出されたブロック片を薄切りすることで作製されてもよい。また、薄切りの際には、ブロック片がパラフィン等で固定されてもよい。
薄切片の染色には、HE(Hematoxylin-Eosin)染色などの組織の形態を示す一般染色や、IHC(Immunohistochemistry)染色などの組織の免疫状態を示す免疫染色など、種々の染色が適用されてよい。その際、1つの薄切片が複数の異なる試薬を用いて染色されてもよいし、同じブロック片から連続して切り出された2以上の薄切片(隣接する薄切片ともいう)が互いに異なる試薬を用いて染色されてもよい。
顕微鏡5511は、低解像度で撮像するための低解像度撮像部と、高解像度で撮像するための高解像度撮像部とを含み得る。低解像度撮像部と高解像度撮像部とは、異なる光学系であってもよいし、同一の光学系であってもよい。同一の光学系である場合には、顕微鏡5511は、撮像対象に応じて解像度が変更されてもよい。
観察対象物が収容されたガラススライドは、顕微鏡5511の画角内に位置するステージ上に載置される。顕微鏡5511は、まず、低解像度撮像部を用いて画角内の全体画像を取得し、取得した全体画像から観察対象物の領域を特定する。続いて、顕微鏡5511は、観察対象物が存在する領域を所定サイズの複数の分割領域に分割し、各分割領域を高解像度撮像部により順次撮像することで、各分割領域の高解像度画像を取得する。対象とする分割領域の切替えでは、ステージを移動させてもよいし、撮像光学系を移動させてもよいし、それら両方を移動させてもよい。また、各分割領域は、ガラススライドの意図しない滑りによる撮像漏れ領域の発生等を防止するために、隣接する分割領域との間で重複していてもよい。さらに、全体画像には、全体画像と患者とを対応付けておくための識別情報が含まれていてもよい。この識別情報は、例えば、文字列やQRコード(登録商標)等であってよい。
顕微鏡5511で取得された高解像度画像は、サーバ5512に入力される。サーバ5512は、各高解像度画像をより小さいサイズの部分画像(以下、タイル画像と称する)に分割する。例えば、サーバ5512は、1つの高解像度画像を縦横10×10個の計100個のタイル画像に分割する。その際、隣接する分割領域が重複していれば、サーバ5512は、テンプレートマッチング等の技法を用いて互いに隣り合う高解像度画像にスティッチング処理を施してもよい。その場合、サーバ5512は、スティッチング処理により貼り合わされた高解像度画像全体を分割してタイル画像を生成してもよい。ただし、高解像度画像からのタイル画像の生成は、上記スティッチング処理の前であってもよい。
また、サーバ5512は、タイル画像をさらに分割することで、より小さいサイズのタイル画像を生成し得る。このようなタイル画像の生成は、最小単位として設定されたサイズのタイル画像が生成されるまで繰り返されてよい。
このように最小単位のタイル画像を生成すると、サーバ5512は、隣り合う所定数のタイル画像を合成することで1つのタイル画像を生成するタイル合成処理を、全てのタイル画像に対して実行する。このタイル合成処理は、最終的に1つのタイル画像が生成されるまで繰り返され得る。このような処理により、各階層が1つ以上のタイル画像で構成されたピラミッド構造のタイル画像群が生成される。このピラミッド構造では、ある層のタイル画像とこの層とは異なる層のタイル画像との画素数は同じであるが、その解像度が異なっている。例えば、2×2個の計4つのタイル画像を合成して上層の1つのタイル画像を生成する場合、上層のタイル画像の解像度は、合成に用いた下層のタイル画像の解像度の1/2倍となっている。
このようなピラミッド構造のタイル画像群を構築することによって、表示対象のタイル画像が属する階層次第で、表示装置に表示される観察対象物の詳細度を切り替えることが可能となる。例えば、最下層のタイル画像が用いられる場合には、観察対象物の狭い領域を詳細に表示し、上層のタイル画像が用いられるほど観察対象物の広い領域が粗く表示されるようにすることができる。
生成されたピラミッド構造のタイル画像群は、例えば、各タイル画像を一意に識別可能な識別情報(タイル識別情報と称する)とともに、不図示の記憶部に記憶される。サーバ5512は、他の装置(例えば、表示制御装置5513や導出装置5540)からタイル識別情報を含むタイル画像の取得要求を受け付けた場合に、タイル識別情報に対応するタイル画像を他の装置へ送信する。
なお、病理画像であるタイル画像は、焦点距離や染色条件等の撮像条件毎に生成されてもよい。撮像条件毎にタイル画像が生成される場合、特定の病理画像とともに、特定の撮像条件と異なる撮像条件に対応する他の病理画像であって、特定の病理画像と同一領域の他の病理画像を並べて表示してもよい。特定の撮像条件は、閲覧者によって指定されてもよい。また、閲覧者に複数の撮像条件が指定された場合には、各撮像条件に対応する同一領域の病理画像が並べて表示されてもよい。
また、サーバ5512は、ピラミッド構造のタイル画像群をサーバ5512以外の他の記憶装置、例えば、クラウドサーバ等に記憶してもよい。さらに、以上のようなタイル画像の生成処理の一部又は全部は、クラウドサーバ等で実行されてもよい。
表示制御装置5513は、ユーザからの入力操作に応じて、ピラミッド構造のタイル画像群から所望のタイル画像を抽出し、これを表示装置5514に出力する。このような処理により、ユーザは、観察倍率を変えながら観察対象物を観察しているような感覚を得ることができる。すなわち、表示制御装置5513は仮想顕微鏡として機能する。ここでの仮想的な観察倍率は、実際には解像度に相当する。
なお、高解像度画像の撮像方法は、どの様な方法を用いてもよい。ステージの停止、移動を繰り返しながら分割領域を撮像して高解像度画像を取得してもよいし、所定の速度でステージを移動しながら分割領域を撮像してストリップ上の高解像度画像を取得してもよい。また、高解像度画像からタイル画像を生成する処理は必須の構成ではなく、スティッチング処理により貼り合わされた高解像度画像全体の解像度を段階的に変化させることで、解像度が段階的に変化する画像を生成してもよい。この場合でも、広いエリア域の低解像度画像から狭いエリアの高解像度画像までを段階的にユーザに提示することが可能である。
医療情報システム5530は、いわゆる電子カルテシステムであり、患者を識別する情報、患者の疾患情報、診断に用いた検査情報や画像情報、診断結果、処方薬などの診断に関する情報を記憶する。例えば、ある患者の観察対象物を撮像することで得られる病理画像は、一旦、サーバ5512を介して保存された後、表示制御装置5513によって表示装置5514に表示され得る。病理システム5510を利用する病理医は、表示装置5514に表示された病理画像に基づいて病理診断を行う。病理医によって行われた病理診断結果は、医療情報システム5530に記憶される。
導出装置5540は、病理画像に対する解析を実行し得る。この解析には、機械学習によって作成された学習モデルを用いることができる。導出装置5540は、当該解析結果として、特定領域の分類結果や組織の識別結果等を導出してもよい。さらに、導出装置5540は、細胞情報、数、位置、輝度情報等の識別結果やそれらに対するスコアリング情報等を導出してもよい。導出装置5540によって導出されたこれらの情報は、診断支援情報として、病理システム5510の表示装置5514に表示されてもよい。
なお、導出装置5540は、1台以上のサーバ(クラウドサーバを含む)等で構成されたサーバシステムであってもよい。また、導出装置5540は、病理システム5510内の例えば表示制御装置5513又はサーバ5512に組み込まれた構成であってもよい。すなわち、病理画像に対する各種解析は、病理システム5510内で実行されてもよい。
本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、例えば、顕微鏡5511に好適に適用され得る。具体的には、顕微鏡5511における低解像度撮像部及び/又は高解像度撮像部に本開示に係る技術を適用することができる。本開示に係る技術を低解像度撮像部及び/又は高解像度撮像部に適用することで、低解像度撮像部及び/又は高解像度撮像部の小型化、強いては、顕微鏡5511の小型化が可能となる。それにより、顕微鏡5511の運搬が容易となるため、システム導入やシステム組換え等を容易化することが可能となる。さらに、本開示に係る技術を低解像度撮像部及び/又は高解像度撮像部に適用することで、病理画像の取得から病理画像の解析までの処理の一部又は全部を顕微鏡5511内においてオンザフライで実行可能となるため、より迅速且つ的確な診断支援情報の出力も可能となる。
なお、上記で説明した構成は、診断支援システムに限らず、共焦点顕微鏡や蛍光顕微鏡、ビデオ顕微鏡等の生物顕微鏡全般にも適用され得る。ここで、観察対象物は、培養細胞や受精卵、精子等の生体試料、細胞シート、三次元細胞組織等の生体材料、ゼブラフィッシュやマウス等の生体であってもよい。また、観察対象物は、ガラススライドに限らず、ウェルプレートやシャーレ等に格納された状態で観察されることもできる。
さらに、顕微鏡を利用して取得した観察対象物の静止画像から動画像が生成されてもよい。例えば、所定期間連続的に撮像した静止画像から動画像を生成してもよいし、所定の間隔を空けて撮像した静止画像から画像シーケンスを生成してもよい。このように、静止画像から動画像を生成することで、がん細胞や神経細胞、心筋組織、精子等の拍動や伸長、遊走等の動きや培養細胞や受精卵の分裂過程など、観察対象物の動的な特徴を機械学習を用いて解析することが可能となる。
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示の技術的範囲は、上述の各実施形態そのままに限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、異なる実施形態及び変形例にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
また、本明細書に記載された各実施形態における効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、他の効果があってもよい。
さらに、上述した各実施形態は、それぞれ単独で使用されてもよいし、他の実施形態と組み合わせて使用されてもよい。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)
第1基板と、
前記第1基板に貼り合わされた第2基板と、
を備え、
前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、
前記第2基板は、
前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、
前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部と、
を備え、
前記変換器の少なくとも一部は、前記第2基板における第1辺側に配置され、
前記処理部は、前記第2基板における前記第1辺とは反対の第2辺側に配置されている
積層型受光センサ。
(2)
前記ニューラルネットワーク計算モデルは、前記画素アレイ部の出力に相当する入力信号と当該入力信号に対するラベルとが紐付いている学習データとを所定の機械学習モデルに入力して生成されたパラメータに基づいて設計されている前記(1)に記載の積層型受光センサ。
(3)
前記所定の機械学習モデルは、多層ニューラルネットワークモデルである前記(2)に記載の積層型受光センサ。
(4)
前記画像データに基づくデータは、前記画素アレイ部から読み出された前記画像データ又は当該画像データの画素を間引くことでデータサイズが縮小された画像データである前記(1)〜(3)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(5)
前記第1基板は、当該第1基板と前記第2基板とを貼り合わせた状態で前記第2基板の前記第1辺と対応する第3辺側に、前記画素アレイ部と前記変換器とを電気的に接続する接続配線を備える前記(1)〜(4)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(6)
前記接続配線は前記第1基板を貫通するTSV(Through Silicon Via)である前記(5)に記載の積層型受光センサ。
(7)
前記第2基板は、前記変換器と電気的に接続された接続配線を前記第1辺側に有し、
前記第1基板の接続配線と前記第2基板の接続配線は、金属接合により直接接合された前記(5)に記載の積層型受光センサ。
(8)
前記第2基板は、前記画像データを信号処理する信号処理部をさらに備え、
前記信号処理部は、前記第2基板において、前記変換器と前記処理部との間に配置される
前記(1)〜(7)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(9)
前記第2基板は、データを記憶するメモリをさらに備え、
前記メモリは、前記第2基板において、前記処理部と隣接する領域に配置される
前記(1)〜(8)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(10)
前記メモリは、前記処理部と少なくとも2方向において隣接する領域に配置される前記(9)に記載の積層型受光センサ。
(11)
前記メモリは、前記処理部を2方向から挟む領域に配置される前記(9)に記載の積層型受光センサ。
(12)
前記処理部は、前記第2基板において2つの領域に分割して配置され、
前記メモリは、前記分割された処理部に挟まれる領域に配置される
前記(9)に記載の積層型受光センサ。
(13)
前記メモリは、前記処理部が前記処理を実行するためのプログラムを記憶する前記(9)に記載の積層型受光センサ。
(14)
前記第2基板は、前記画素アレイ部からの前記画素信号の読出を制御するコントロール部をさらに備え、
前記コントロール部は、前記第2基板において、前記変換器と前記処理部との間に配置される
前記(1)〜(13)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(15)
前記第1基板における前記第2基板に貼り合わされる面のサイズは、前記第2基板における前記第1基板に貼り合わされる面のサイズと実質的に同じである前記(1)〜(14)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(16)
前記第1基板における前記第2基板に貼り合わされる面のサイズは、前記第2基板における前記第1基板に貼り合わされる面のサイズよりも小さい前記(1)〜(14)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(17)
前記第1基板と前記第2基板とは、CoC(Chip on Chip)方式と、CoW(Chip on Wafer)方式と、WoW(Wafer on Wafer)方式とのうちの何れかで貼り合わされている前記(1)〜(16)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(18)
前記第1基板は、前記第3辺とは異なる辺の少なくとも一つに近接するパッドを備える前記(5)〜(7)の何れか1項に記載の積層型受光センサ。
(19)
前記パッドは、前記変換器へ供給される電源電圧が印加される第1電源パッドと、前記処理部へ供給される電源電圧が印加される第2電源パッドとを含み、
前記第1電源パッドは、前記第2電源パッドよりも前記変換器に近い位置に配置され、
前記第2電源パッドは、前記第1電源パッドよりも前記処理部に近い位置に配置される
前記(18)に記載の積層型受光センサ。
(20)
第1基板と、前記第1基板に貼り合わされた第2基板とを備え、前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、前記第2基板は、前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部とを備え、前記変換器の少なくとも一部は、前記第2基板における第1辺側に配置され、前記処理部は、前記第2基板における前記第1辺とは反対の第2辺側に配置されている積層型受光センサと、
前記積層型受光センサから出力された画像データに対して所定の処理を実行するプロセッサと、
を備える電子機器。
(21)
第1基板と、
前記第1基板に貼り合わされた第2基板と、
を備え、
前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、
前記第2基板は、
前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、
前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部と、
を備え、
前記第2基板は、前記第1基板と前記第2基板との積層方向において、当該第2基板において前記処理部が配置された領域の半分以上が前記第1基板において前記画素アレイ部が配置された領域と重畳しないように、前記第1基板に貼り合わされている
積層型受光センサ。
1 撮像装置
10 イメージセンサ
11 撮像部
12 コントロール部
13 信号処理部
14、14A、14B、14C、14D DSP(機械学習部)
14a 接続部
15、15A、15B、15C、15D、15E、15F メモリ
16 セレクタ
17、17A ADC
17B DAC
20 アプリケーションプロセッサ
30 クラウドサーバ
40 ネットワーク
100、200、300 第1基板
101 画素アレイ部
101a 単位画素
102 TSVアレイ
103 パッドアレイ
104 光学系
120、320 第2基板
L101〜L104 辺
O100 第1基板の中心
O101 画素アレイ部の中心

Claims (21)

  1. 第1基板と、
    前記第1基板に貼り合わされた第2基板と、
    を備え、
    前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、
    前記第2基板は、
    前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、
    前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部と、
    を備え、
    前記変換器の少なくとも一部は、前記第2基板における第1辺側に配置され、
    前記処理部は、前記第2基板における前記第1辺とは反対の第2辺側に配置されている
    積層型受光センサ。
  2. 前記ニューラルネットワーク計算モデルは、前記画素アレイ部の出力に相当する入力信号と当該入力信号に対するラベルとが紐付いている学習データとを所定の機械学習モデルに入力して生成されたパラメータに基づいて設計されている請求項1に記載の積層型受光センサ。
  3. 前記所定の機械学習モデルは、多層ニューラルネットワークモデルである請求項2に記載の積層型受光センサ。
  4. 前記画像データに基づくデータは、前記画素アレイ部から読み出された前記画像データ又は当該画像データの画素を間引くことでデータサイズが縮小された画像データである請求項1に記載の積層型受光センサ。
  5. 前記第1基板は、当該第1基板と前記第2基板とを貼り合わせた状態で前記第2基板の前記第1辺と対応する第3辺側に、前記画素アレイ部と前記変換器とを電気的に接続する接続配線を備える請求項1に記載の積層型受光センサ。
  6. 前記接続配線は、前記第1基板を貫通するTSV(Through Silicon Via)である請求項5に記載の積層型受光センサ。
  7. 前記第2基板は、前記変換器と電気的に接続された接続配線を前記第1辺側に有し、
    前記第1基板の前記接続配線と前記第2基板の前記接続配線は、金属接合により直接接合された請求項5に記載の積層型受光センサ。
  8. 前記第2基板は、前記画像データを信号処理する信号処理部をさらに備え、
    前記信号処理部は、前記第2基板において、前記変換器と前記処理部との間に配置される
    請求項1に記載の積層型受光センサ。
  9. 前記第2基板は、データを記憶するメモリをさらに備え、
    前記メモリは、前記第2基板において、前記処理部と隣接する領域に配置される
    請求項1に記載の積層型受光センサ。
  10. 前記メモリは、前記処理部と少なくとも2方向において隣接する領域に配置される請求項9に記載の積層型受光センサ。
  11. 前記メモリは、前記処理部を2方向から挟む領域に配置される請求項9に記載の積層型受光センサ。
  12. 前記処理部は、前記第2基板において2つの領域に分割して配置され、
    前記メモリは、前記分割された処理部に挟まれる領域に配置される
    請求項9に記載の積層型受光センサ。
  13. 前記メモリは、前記処理部が前記処理を実行するためのプログラムを記憶する請求項9に記載の積層型受光センサ。
  14. 前記第2基板は、前記画素アレイ部からの前記画素信号の読出を制御するコントロール部をさらに備え、
    前記コントロール部は、前記第2基板において、前記変換器と前記処理部との間に配置される
    請求項1に記載の積層型受光センサ。
  15. 前記第1基板における前記第2基板に貼り合わされる面のサイズは、前記第2基板における前記第1基板に貼り合わされる面のサイズと実質的に同じである請求項1に記載の積層型受光センサ。
  16. 前記第1基板における前記第2基板に貼り合わされる面のサイズは、前記第2基板における前記第1基板に貼り合わされる面のサイズよりも小さい請求項1に記載の積層型受光センサ。
  17. 前記第1基板と前記第2基板とは、CoC(Chip on Chip)方式と、CoW(Chip on Wafer)方式と、WoW(Wafer on Wafer)方式とのうちの何れかで貼り合わされている請求項1に記載の積層型受光センサ。
  18. 前記第1基板は、前記第3辺とは異なる辺の少なくとも一つに近接するパッドを備える請求項5に記載の積層型受光センサ。
  19. 前記パッドは、前記変換器へ供給される電源電圧が印加される第1電源パッドと、前記処理部へ供給される電源電圧が印加される第2電源パッドとを含み、
    前記第1電源パッドは、前記第2電源パッドよりも前記変換器に近い位置に配置され、
    前記第2電源パッドは、前記第1電源パッドよりも前記処理部に近い位置に配置される
    請求項18に記載の積層型受光センサ。
  20. 第1基板と、前記第1基板に貼り合わされた第2基板とを備え、前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、前記第2基板は、前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部とを備え、前記変換器の少なくとも一部は、前記第2基板における第1辺側に配置され、前記処理部は、前記第2基板における前記第1辺とは反対の第2辺側に配置されている積層型受光センサと、
    前記積層型受光センサから出力された画像データに対して所定の処理を実行するプロセッサと、
    を備える電子機器。
  21. 第1基板と、
    前記第1基板に貼り合わされた第2基板と、
    を備え、
    前記第1基板は、複数の単位画素が2次元マトリクス状に配列された画素アレイ部を備え、
    前記第2基板は、
    前記画素アレイ部から出力されるアナログの画素信号をデジタルの画像データへ変換する変換器と、
    前記画像データに基づくデータに対してニューラルネットワーク計算モデルに基づく処理を実行する処理部と、
    を備え、
    前記第2基板は、前記第1基板と前記第2基板との積層方向において、当該第2基板において前記処理部が配置された領域の半分以上が前記第1基板において前記画素アレイ部が配置された領域と重畳しないように、前記第1基板に貼り合わされている
    積層型受光センサ。
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