JP2016135922A - タングステン焼結体スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて成膜したタングステン膜 - Google Patents
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- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 126
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 98
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 title claims abstract description 98
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims abstract description 32
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 64
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 57
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 49
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 claims abstract description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 19
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 7
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 28
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
- B22F3/15—Hot isostatic pressing
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
- B22F7/008—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression characterised by the composition
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
- B22F7/02—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite layers
- B22F7/04—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite layers with one or more layers not made from powder, e.g. made from solid metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
- C22C1/045—Alloys based on refractory metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
- C22C27/04—Alloys based on tungsten or molybdenum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
- C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3414—Targets
- H01J37/3426—Material
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
Description
この超LSI用の電極材や配線材料は、一般にスパッタリング法とCVD法で製造されているが、スパッタリング法は装置の構造及び操作が比較的単純で、容易に成膜でき、また低コストであることからCVD法よりも広く使用されている。
以上の特許文献は、主としてタングステンターゲットの高密度化を達成するのが狙いで、電気抵抗の低減化を意図するものではない。
1)タングステン焼結体スパッタリングターゲットであって、タングステンの純度が5N(99.999%)以上であり、タングステンに含有する不純物の炭素が5wtppm以下であることを特徴とするタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
2)不純物の炭素が3wtppm以下であることを特徴とする上記1)記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
3)不純物の炭素が1wtppm以下であることを特徴とする上記2)記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
4)ターゲットの相対密度が98%以上であることを特徴とする上記1)〜3)いずれか一項に記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
6)焼結体の側面にも金属箔がくるように、金属箔を配置してホットプレス(HP)することを特徴とする上記5)記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲットの製造方法。
焼結の際に、焼結体原料の両面に配置するチタン、タンタル、ジルコニウム箔は、任意に選択でき、いずれの箔でも良い。又、1種以上の箔を2枚以上重ねることもできる。
この場合は、上面と下面に金属箔を設置することになり、側面からCが混入することも考えられるが、焼結するタングステンターゲットの厚みが小さいので、上面と下面の面積に比べて側面から混入するC量は無視できるほどの少ない量であり、問題はない。
しかしながら、可能であれば、側面にも金属箔を設置して包むようにすることが望ましいと言える。特に、側面の面積が大きい場合には、そのようにすると良い。
また、このような酸素及び炭素の低減化は、組織の均一化と共に、ターゲットの割れや亀裂の発生を抑制する効果も有する。そして、これらのタングステン焼結体スパッタリングターゲットは、基板上に成膜することができ、半導体デバイスの作製に有用である。
酸素は、タングステンに含有する不純物と結合し、酸化物を形成するので、低減させることが望ましい。また、酸素のガス成分は、タングステンとも反応して、同様に酸化物を形成する。これは、スパッタリング成膜時のLSI用配線材の内部に混入して、タングステン配線の機能を低下させる要因となるので、できるだけ少ない方が良いと言える。
予めカーボンダイスに0.5mm厚のTi箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後6時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1600°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.5mm厚のTi箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後4時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1570°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.5mm厚のTi箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後4時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1570°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.5mm厚のTi箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1570°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のTa箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1570°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のTa箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1570°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のTa箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1800°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のTa箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1800°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のZr箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1650°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のカーボンシートを配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記カーボンシートで包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1800°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.5mm厚のTi箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1400°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.5mm厚のTi箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1500°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
予めカーボンダイスに0.2mm厚のMo箔を配置し、このダイスの中に、純度99.999%、平均粒径1.0μmのタングステン粉末を充填し、これを前記金属箔で包んだ。
次に、上パンチと下パンチで密閉した後、ダイスに210kgf/cm2の圧力を付加し、外部加熱により1200°Cで加熱後2時間保持し、ホットプレスした。最高温度は1570°C×2時間である。ホットプレスの形状は、φ(直径)456mm×10mmt(厚)である。
これらの値より膜の比抵抗を求めた。この結果、実施例4の比抵抗は12.02μΩ・cmとなり、比較例1の12.38μΩ・cmと比べて、3%低減したことを確認した。なお、タングステン膜の比抵抗を下げることは非常に難しいのであるが、その意味で3%の低下は、大きな効果があると言える。
Claims (8)
- タングステン焼結体スパッタリングターゲットであって、タングステンの純度が5N(99.999%)以上であり、タングステンに含有する不純物の炭素が5wtppm以下であることを特徴とするタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
- 不純物の炭素が3wtppm以下であることを特徴とする請求項1記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
- 不純物の炭素が1wtppm以下であることを特徴とする請求項2記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
- ターゲットの相対密度が98%以上であることを特徴とする請求項1〜3いずれか一項に記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲット。
- タングステン粉末をグラファイト製のダイスに充填してホットプレスする際に、ダイスにチタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)から選択した1種以上の金属箔を置き、これにタングステン粉を充填し、さらにその上に前記金属箔を置いてホットプレス(HP)することを特徴とするタングステン焼結体スパッタリングターゲットの製造方法。
- 焼結体の側面にも金属箔がくるように、金属箔を配置してホットプレス(HP)することを特徴とする請求項5記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲットの製造方法。
- タングステン粉末をグラファイト製のダイスに充填してホットプレスする際に、ダイスにチタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)から選択した1種以上の金属箔を置き、これにタングステン粉を充填し、タングステン粉を前記金属箔で包んで、ホットプレス(HP)することを特徴とするタングステン焼結体スパッタリングターゲットの製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のタングステン焼結体スパッタリングターゲットを用いて基板上に成膜したタングステン膜であって、該膜の比抵抗が12.3μΩ・cm以下であることを特徴とするタングステン膜。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012047162 | 2012-03-02 | ||
JP2012047162 | 2012-03-02 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014502270A Division JP5944482B2 (ja) | 2012-03-02 | 2013-02-27 | タングステン焼結体スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて成膜したタングステン膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016135922A true JP2016135922A (ja) | 2016-07-28 |
JP6084718B2 JP6084718B2 (ja) | 2017-02-22 |
Family
ID=49082629
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014502270A Active JP5944482B2 (ja) | 2012-03-02 | 2013-02-27 | タングステン焼結体スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて成膜したタングステン膜 |
JP2016025489A Active JP6084718B2 (ja) | 2012-03-02 | 2016-02-15 | タングステン焼結体スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて成膜したタングステン膜 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014502270A Active JP5944482B2 (ja) | 2012-03-02 | 2013-02-27 | タングステン焼結体スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて成膜したタングステン膜 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10047433B2 (ja) |
JP (2) | JP5944482B2 (ja) |
KR (2) | KR20160108621A (ja) |
WO (1) | WO2013129434A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7278463B1 (ja) | 2022-06-27 | 2023-05-19 | 株式会社アルバック | タングステンターゲットおよびその製造方法 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201503724RA (en) | 2013-03-22 | 2015-06-29 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Tungsten sintered compact sputtering target and method for producing same |
WO2015146617A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 炭化タングステン又は炭化チタンからなるスパッタリングターゲット |
KR101960206B1 (ko) * | 2014-09-30 | 2019-03-19 | 제이엑스금속주식회사 | 텅스텐 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법 |
US10043670B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-08-07 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for low resistivity physical vapor deposition of a tungsten film |
JP7174476B2 (ja) | 2017-03-31 | 2022-11-17 | Jx金属株式会社 | タングステンターゲット |
JP7308013B2 (ja) * | 2017-11-10 | 2023-07-13 | Jx金属株式会社 | タングステンスパッタリングターゲット及びその製造方法 |
KR20230170144A (ko) | 2018-03-13 | 2023-12-18 | 제이엑스금속주식회사 | 스퍼터링 타깃 및 스퍼터링 타깃의 제조 방법 |
JP7272972B2 (ja) | 2020-01-22 | 2023-05-12 | Ykk Ap株式会社 | 窓装置及び窓の施工方法 |
KR102376291B1 (ko) * | 2020-03-19 | 2022-03-21 | 서울대학교산학협력단 | 텅스텐 소결체의 형성 방법 |
CN111763914A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-13 | 厦门虹鹭钨钼工业有限公司 | 一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法 |
CN112126902A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-25 | 浙江最成半导体科技有限公司 | 一种半导体用高纯钨靶材及其制备方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0593267A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Hitachi Metals Ltd | 半導体用タングステンターゲツトおよびその製造方法 |
JPH0776771A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Japan Energy Corp | タングステンスパッタリングターゲット |
JPH10330924A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-15 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 酸化錫−酸化第一アンチモン焼結体ターゲットおよびその製造方法 |
JP3086447B1 (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-11 | 株式会社ジャパンエナジー | スパッタリング用タングステンターゲットおよびその製造方法 |
JP2001035808A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 配線およびその作製方法、この配線を備えた半導体装置、ドライエッチング方法 |
WO2001023635A1 (fr) * | 1999-09-28 | 2001-04-05 | Nikko Materials Company, Limited | Cible en tungstene destine a la pulverisation et son procede de preparation |
JP2001295036A (ja) * | 2000-04-17 | 2001-10-26 | Toshiba Corp | タングステンスパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
JP2001335923A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-12-07 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲット |
JP2003226964A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Nippon Steel Corp | スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法 |
JP2005113190A (ja) * | 2003-10-07 | 2005-04-28 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット材料、その製造方法、及びそれを用いた透明導電膜の製造方法 |
JP2005171389A (ja) * | 2005-02-16 | 2005-06-30 | Nikko Materials Co Ltd | スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法 |
JP2007314883A (ja) * | 2007-06-11 | 2007-12-06 | Nikko Kinzoku Kk | スッパタリング用タングステン焼結体ターゲットの製造方法 |
WO2009147900A1 (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | 日鉱金属株式会社 | タングステン焼結体スパッタリングターゲット |
JP2011214067A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Ulvac Japan Ltd | 成膜方法及びターゲット |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4797099B2 (ja) | 2009-10-01 | 2011-10-19 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 高純度タングステン粉末の製造方法 |
US20150303040A1 (en) | 2012-11-02 | 2015-10-22 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Tungsten Sintered Compact Sputtering Target and Tungsten Film Formed Using Said Target |
SG11201503724RA (en) | 2013-03-22 | 2015-06-29 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Tungsten sintered compact sputtering target and method for producing same |
-
2013
- 2013-02-27 WO PCT/JP2013/055035 patent/WO2013129434A1/ja active Application Filing
- 2013-02-27 KR KR1020167024969A patent/KR20160108621A/ko active Search and Examination
- 2013-02-27 JP JP2014502270A patent/JP5944482B2/ja active Active
- 2013-02-27 KR KR1020147026472A patent/KR20140129249A/ko active Application Filing
- 2013-02-27 US US14/381,664 patent/US10047433B2/en active Active
-
2016
- 2016-02-15 JP JP2016025489A patent/JP6084718B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-09 US US16/059,887 patent/US20180347031A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0593267A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Hitachi Metals Ltd | 半導体用タングステンターゲツトおよびその製造方法 |
JPH0776771A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Japan Energy Corp | タングステンスパッタリングターゲット |
JPH10330924A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-15 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 酸化錫−酸化第一アンチモン焼結体ターゲットおよびその製造方法 |
JP3086447B1 (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-11 | 株式会社ジャパンエナジー | スパッタリング用タングステンターゲットおよびその製造方法 |
JP2001035808A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 配線およびその作製方法、この配線を備えた半導体装置、ドライエッチング方法 |
JP3721014B2 (ja) * | 1999-09-28 | 2005-11-30 | 株式会社日鉱マテリアルズ | スッパタリング用タングステンターゲットの製造方法 |
WO2001023635A1 (fr) * | 1999-09-28 | 2001-04-05 | Nikko Materials Company, Limited | Cible en tungstene destine a la pulverisation et son procede de preparation |
JP2001295036A (ja) * | 2000-04-17 | 2001-10-26 | Toshiba Corp | タングステンスパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
JP2001335923A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-12-07 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲット |
JP2003226964A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Nippon Steel Corp | スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法 |
JP2005113190A (ja) * | 2003-10-07 | 2005-04-28 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット材料、その製造方法、及びそれを用いた透明導電膜の製造方法 |
JP2005171389A (ja) * | 2005-02-16 | 2005-06-30 | Nikko Materials Co Ltd | スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法 |
JP2007314883A (ja) * | 2007-06-11 | 2007-12-06 | Nikko Kinzoku Kk | スッパタリング用タングステン焼結体ターゲットの製造方法 |
WO2009147900A1 (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | 日鉱金属株式会社 | タングステン焼結体スパッタリングターゲット |
JP2011214067A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Ulvac Japan Ltd | 成膜方法及びターゲット |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7278463B1 (ja) | 2022-06-27 | 2023-05-19 | 株式会社アルバック | タングステンターゲットおよびその製造方法 |
WO2024004554A1 (ja) * | 2022-06-27 | 2024-01-04 | 株式会社アルバック | タングステンターゲットおよびその製造方法 |
JP2024003721A (ja) * | 2022-06-27 | 2024-01-15 | 株式会社アルバック | タングステンターゲットおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140129249A (ko) | 2014-11-06 |
JPWO2013129434A1 (ja) | 2015-07-30 |
JP5944482B2 (ja) | 2016-07-05 |
WO2013129434A1 (ja) | 2013-09-06 |
US20180347031A1 (en) | 2018-12-06 |
JP6084718B2 (ja) | 2017-02-22 |
US10047433B2 (en) | 2018-08-14 |
US20150023837A1 (en) | 2015-01-22 |
KR20160108621A (ko) | 2016-09-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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