JP2019002064A - MoWターゲット材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Wを30〜40原子%含有し、残部がMoおよび不可避的不純物からなる組成を有し、X線回折法によるbccの(110)面におけるCoKα線源で測定されるW相の最大強度が47.30°<回折角(2θ)≦47.50°にある焼結体で構成されるMoWターゲット材、前記回折角(2θ)は、47.35°≦回折角(2θ)≦47.45°の範囲であることが好ましい。
【選択図】 図1
Description
そして、本発明者は、膜組成のずれを抑制するためには、MoWターゲット材のX線回折法によるbccの(110)面におけるW相の最大強度位置を所定の回折角(2θ)の範囲に制御する必要があることを見出し、本発明に到達した。
W相の2θが47.30°以下の場合は、MoWターゲット材中のWがMo相に拡散してしまう。このようなMoWターゲット材を用いてスパッタリングを行なうと、Mo相に拡散したWが、純W相に比べて過多に基板へスパッタリングされてしまうため、膜組成にずれが生じる。このため、本発明のMoWターゲット材は、W相の2θを47.30°超とする。そして、上記と同様の理由から、本発明のMoWターゲット材は、W相の2θを47.35°以上にすることが好ましく、47.37°以上がより好ましい。
本発明のMoWターゲット材は、例えば、Mo粉末とW粉末を原料粉末として用意し、この原料粉末を混合した後に加圧容器に充填し、この加圧容器を加圧焼結して焼結体を作製し、この焼結体に機械加工を施して得ることができる。ここで、原料粉末に用いるMo粉末は、平均粒径(累積粒度分布のD50、以下「D50」という。)が5〜9μmのMo粉末や、このMo粉末とD50が20〜70μmのMo粉末を混合した混合Mo粉末を用いることで、Mo相の偏析を抑制しつつ安定化させ、WがMo相に拡散することを抑制できる点で好ましい。また、原料粉末に用いるW粉末は、D50が1〜6μmのW粉末を用いることで、WがMo相に拡散せず単独で存在する組織を得ることができる点で好ましい。
そして、本発明のMoWターゲット材を得るには、上記の原料粉末を加圧焼結をする前に、上記の加圧容器を400〜500℃に加熱して真空脱気してから封止をすることで、次工程の加圧焼結でMo相にWが拡散することを抑制できる点で好ましい。
また、加圧力は、80MPa以上にすることで、焼結を促進させ、緻密な焼結体を得ることができる点で好ましい。一方、加圧力は、160MPa以下にすることで、汎用の加圧焼結装置を用いることができる点で好ましい。
また、焼結時間は、1時間以上にすることで、焼結を促進させ、緻密な焼結体を得ることができる点で好ましい。一方、焼結時間は、15時間以下にすることで、製造効率を阻害することなく、Wの拡散が抑制された緻密な焼結体を得ることができる点で好ましい。
次に、上記で用意した混合粉末を、軟鋼製の加圧容器に充填して、脱気口を有する上蓋を溶接した。そして、この加圧容器を450℃の温度で真空脱気をして封止をした後、温度1250℃、圧力145MPa、5時間の条件で熱間静水圧プレス処理を行ない、本発明例1となるMoWターゲット材の素材となる焼結体を得た。
次に、上記で用意した混合粉末を、軟鋼製の加圧容器に充填して、脱気口を有する上蓋を溶接した。そして、この加圧容器を450℃の温度で真空脱気をして封止をした後、温度1250℃、圧力145MPa、5時間の条件で熱間静水圧プレス処理を行ない、本発明例2となるMoWターゲット材の素材となる焼結体を得た。
次に、上記で用意した混合粉末を、軟鋼製の加圧容器に充填して、脱気口を有する上蓋を溶接した。そして、この加圧容器を450℃の温度で真空脱気をして封止をした後、温度1250℃、圧力145MPa、5時間の条件で熱間静水圧プレス処理を行ない、比較例となるMoWターゲット材の素材となる焼結体を得た。
また、上記で得た各焼結体を、それぞれ、直径180mm×厚さ7mmとなるように機械加工してMoWターゲット材を作製した。そして、これらのMoWターゲット材をキヤノンアネルバ株式会社製のDCマグネトロンスパッタ装置(型式:C3010)のチャンバー内にそれぞれ配置して、Arガス圧0.5Pa、投入電力500Wの条件で、ガラス基板上に厚さ300nmのMoW合金薄膜を形成した。
上記で得た各MoW合金薄膜の膜組成を、Cameca社製の二次イオン質量分析(SIMS)装置(型式:IMS−4F)で測定した。その結果を表1に示す。
一方、W相の2θが47.30°<2θ≦47.50°の範囲外である比較例となるターゲット材は、得られたMoW合金薄膜の組成が狙い組成に対して、3原子%もずれていることが確認された。
Claims (2)
- Wを30〜40原子%含有し、残部がMoおよび不可避的不純物からなる組成を有し、X線回折法によりbccの(110)面におけるCoKα線源で測定されるW相の最大強度が47.30°<回折角(2θ)≦47.50°の範囲にあるMoWターゲット材。
- 前記回折角(2θ)は、47.35°≦回折角(2θ)≦47.45°の範囲である請求項1に記載のMoWターゲット材。
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