JP2016038468A5

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Publication number: JP2016038468A5
Application number: JP2014161635A
Authority: JP
Filing date: 2014-08-07
Publication date: 2017-09-07

Description

上記課題を解決する本発明は、感光性樹脂層のパターニング方法であって、第１の樹脂を含有する第１の感光性樹脂層の上に、前記第１の樹脂とは異なる第２の樹脂と溶媒とを含有する第２の感光性樹脂層を積層する積層工程と、前記第１の感光性樹脂層と前記第２の感光性樹脂層とを一括して露光及び現像することで前記第１の感光性樹脂層と前記第２の感光性樹脂層とをパターニングするパターニング工程と、を有し、前記第２の樹脂は前記第１の樹脂よりも前記溶媒に対する溶解性が高く、前記第２の樹脂はエポキシ樹脂であることを特徴とする感光性樹脂層のパターニング方法である。

Claims

感光性樹脂層のパターニング方法であって、
第１の樹脂を含有する第１の感光性樹脂層の上に、前記第１の樹脂とは異なる第２の樹脂と溶媒とを含有する第２の感光性樹脂層を積層する積層工程と、
前記第１の感光性樹脂層と前記第２の感光性樹脂層とを一括して露光及び現像することで前記第１の感光性樹脂層と前記第２の感光性樹脂層とをパターニングするパターニング工程と、を有し、
前記第２の樹脂は前記第１の樹脂よりも前記溶媒に対する溶解性が高く、
前記第２の樹脂はエポキシ樹脂であることを特徴とする感光性樹脂層のパターニング方法。
前記第２の感光性樹脂層は光酸発生剤を含有する請求項１に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記第２の感光性樹脂層が含有する光酸発生剤が、下記式（７）で表されるカチオン部構造と、下記式（８）で表されるアニオン部構造を含む光酸発生剤である請求項２に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。

（式（７）中、Ｒ_１からＲ_３は、それぞれ置換基を有してもよい炭素数１〜３０の有機基を表す。但し、Ｒ_１からＲ_３の全構成原子中に、酸素原子を少なくとも２つ以上含有する。式（８）中、Ｒ４は、フッ素原子で置換してもよい炭素数１から３０の炭化水素基を表す。Ｄは炭素原子、窒素原子、リン原子、ホウ素原子、アンチモン原子から選ばれ、Ｅは−Ｓ（＝Ｏ）_２−、フッ化アルキレン基、−ＣＦ_２−Ｏ−、−ＣＦ_２−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＣＦ_２−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−ＣＦ_２−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−、単結合から選ばれる。ｍとｎは、Ｄが炭素原子の場合ｍ＋ｎ＝３、かつｎ＝０〜２の整数、Ｄが窒素原子の場合ｍ＋ｎ＝２、かつｎ＝０、１の整数を表す。また、Ｄがリン原子またはアンチモン原子の場合ｍ＋ｎ＝６、かつｎ＝０〜６の整数、Ｄがホウ素原子の場合ｍ＋ｎ＝４、かつｎ＝０〜３の整数を表す。）
前記第１の感光性樹脂層は光酸発生剤を含有する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記第１の樹脂は多官能の光カチオン重合性基を有する光重合性樹脂である請求項１乃至４のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記光重合性樹脂はエポキシ樹脂である請求項５に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記第２の感光性樹脂層は、少なくともパーフルオロポリエーテル基を有する加水分解性シラン化合物とエポキシ基を有する加水分解性シラン化合物とを、縮合させて得られる縮合物を含有する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記パーフルオロポリエーテル基を有する加水分解性シラン化合物は、下記式（１）、（２）、（３）及び（４）で表される化合物の少なくとも一種である請求項７に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。

（式（１）、（２）、（３）及び（４）中、Ｒ _ｐは下記式（５）で表されるパーフルオロポリエーテル基、Ａは炭素数１から１２の結合基である。Ｘは加水分解性置換基、ＹおよびＲは非加水分解性置換基、Ｚは水素原子又はアルキル基、Ｑは２価又は３価の結合基であり、Ｑが２価のときｎおよびｍ＝１、Ｑが３価のときｎおよびｍ＝２である。ａは１から３の整数である。）

（式（５）中、ｏ、ｐ、ｑ及びｒはそれぞれ０又は１以上の整数であり、ｏ、ｐ、ｑ及びｒの少なくとも一つは１以上の整数である。）
前記エポキシ基を有する加水分解性シラン化合物は、下記式（６）で表される化合物である請求項７または８に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。

（式（６）中、Ｒ _Ｃはエポキシ基を有する非加水分解性置換基、Ｒは非加水分解性置換基、Ｘは加水分解性置換基を示す。ｂは１から３の整数である。）
前記第２の感光性樹脂層は、前記パーフルオロポリエーテル基を有する加水分解性シラン化合物と、前記エポキシ基を有する加水分解性シラン化合物と、アルキル基またはアリール基を有する加水分解性シラン化合物とを、縮合させて得られる縮合物を含有する請求項７乃至９のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記第２の感光性樹脂層は、前記縮合物と前記溶媒とを含む溶液を前記第１の感光性樹脂層上に塗布することにより形成され、前記溶液中の前記縮合物の含有割合は、０．１質量％以上５０質量％以下である請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記溶媒は前記縮合物の縮合反応を行う際に用いた溶媒である請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記溶媒の溶解度パラメータは、前記第１の樹脂の溶解度パラメータよりも前記第２の樹脂の溶解度パラメータに近い請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記溶媒は、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、またはグリコール類を含む請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。
前記溶媒はアルコール類を含む請求項１４に記載の感光性樹脂層のパターニング方法。