JP2011180586A5

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Publication number: JP2011180586A5
Application number: JP2011021767A
Authority: JP
Filing date: 2011-02-03
Publication date: 2014-03-20
Anticipated expiration: 2031-02-03

Description

上記目的を達成する本発明は、（ａ）酸により重合可能な化合物と、（ｂ）光酸発生剤と、（ｄ）分子内に縮合環もしくは２つ以上のベンゼン環を含有する化合物と、を含有する感光性樹脂組成物である。
（ｂ）成分としての光酸発生剤は、下記（ｂ１）で表されるカチオン部構造及び下記（ｂ２）で表されるアニオン部構造を含有するオニウム塩を含み、かつ感光性樹脂組成物が吸収する波長３６５ｎｍの光のうち５０％以上が光酸発生剤により吸収される。
（ｄ）成分としての分子内に縮合環もしくは２つ以上のベンゼン環を含有する化合物として、以下の式（Ｉ）及び式（ＩＩ）のいずれかの置換基を有する、ビフェニル化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物の少なくとも１種が用いられる。

また、本発明は、上記の感光性樹脂組成物の層に吐出口が形成されている液体吐出装置である。

実施例でモデルパターンを形成する際に用いたマスクを示す図である。インクジェット記録ヘッドの構造の一例を示す図である。図２の基板上にエネルギー発生素子が所定のピッチで複数個配置されていることを示す図である。図２及び図３のＡ−Ｂ断面に相当する部分の断面図によってインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す図である。

＜実施例１〜９、比較例１〜４＞
表１に記載の配合（単位は質量部）に従って、（ａ）成分としての多官能エポキシ樹脂と、（ｂ）成分としての光酸発生剤と、溶剤と、（ｄ）成分と、必要に応じて（ｃ）成分を配合した感光性樹脂組成物を得た。なお、実施例９は参考例である。また、溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／プロピレンカーボネート＝２５／１の質量比率の混合溶剤を用い、その配合量は、（ａ）成分１００質量部に対して８０質量部とした。

Claims

酸により重合可能な化合物と、光酸発生剤と、分子内に縮合環もしくは２つ以上のベンゼン環を含有する化合物と、を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記光酸発生剤が、下記（ｂ１）で表されるカチオン部構造及び下記（ｂ２）で表されるアニオン部構造を含有するオニウム塩を含み、かつ前記光酸発生剤が、前記感光性樹脂組成物が吸収する波長３６５ｎｍの光のうち５０％以上を吸収し、

［Ｒ₁乃至Ｒ₃は、それぞれ独立して炭素数１以上３０以下の有機基を表す。ただし、上記（ｂ１）で表されるカチオン部構造は、酸素原子を２つ以上含有し、かつ、チオキサントン骨格、９，１０−ジアルコキシアントラセン骨格、およびアントラキノン骨格から選ばれる少なくとも１つの骨格を有する。Ｘは、炭素原子、窒素原子、リン原子、ホウ素原子及びアンチモン原子から選ばれる。Ｙは、−Ｓ（＝Ｏ）₂−、−ＣＦ₂−Ｏ−、−ＣＦ₂−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＣＦ₂−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−ＣＦ₂−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−及び単結合から選ばれる。Ｒ₄は、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１以上３０以下の炭化水素基を表し、Ｙが−Ｓ（＝Ｏ）₂−又は単結合の場合、少なくとも１つのフッ素原子を有する。Ｘが炭素原子の場合、ｍ及びｎは、ｍ＋ｎ＝３且つｎ＝０乃至２を満たす整数である。Ｘが窒素原子の場合、ｍ及びｎは、ｍ＋ｎ＝２且つｎ＝０乃至１を満たす整数である。Ｘがリン原子又はアンチモン原子の場合、ｍ及びｎは、ｍ＋ｎ＝６且つｎ＝０乃至６を満たす整数である。Ｘがホウ素原子の場合、ｍ及びｎは、ｍ＋ｎ＝４且つｎ＝０乃至３を満たす整数である。］
前記分子内に縮合環もしくは２つ以上のベンゼン環を含有する化合物が、以下のいずれかの置換基

を有する、ビフェニル化合物、ナフタレン化合物及びアントラセン化合物の少なくとも１種である
ことを特徴とする感光性樹脂組成物。
前記（ｂ２）中のＸがリン原子である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
前記光酸発生剤は、前記（ｂ１）で表されるカチオン部構造が少なくとも２つのチオキサントン骨格を含有し、かつ前記（ｂ２）中のＹが単結合、Ｒ₄がＣＦ₃またはＣ₂Ｆ₅、及びｍが３以上である請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
露光後、前記光酸発生剤から発生した酸を失活させることができる化合物、を含有する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
前記分子内に縮合環もしくは２つ以上のベンゼン環を含有する化合物が、
（Ａ）２つのフェニル基のそれぞれが以下の置換基を一つ有するビフェニル、

及び
（Ｂ）以下の置換基により一置換または二置換されたナフタレンまたはアントラセン、

から選択される少なくとも１種である請求項１乃至４のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物。
前記分子内に縮合環もしくは２つ以上のベンゼン環を含有する化合物が、下記のいずれかの構造の化合物の少なくとも１種である請求項１乃至５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
基板上に形成される微細構造体の製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を前記基板上に成膜する工程と、
該感光性樹脂組成物をフォトリソグラフィーによりパターニングする工程と、
該パターニング後の感光性樹脂組成物を、１４０℃以上の温度で加熱処理する工程と
を有することを特徴とする微細構造体の製造方法。
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物の層に吐出口が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。