JP2015208783A - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015208783A JP2015208783A JP2014089394A JP2014089394A JP2015208783A JP 2015208783 A JP2015208783 A JP 2015208783A JP 2014089394 A JP2014089394 A JP 2014089394A JP 2014089394 A JP2014089394 A JP 2014089394A JP 2015208783 A JP2015208783 A JP 2015208783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- blade
- chuck table
- support member
- feed direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 232
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 66
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 claims description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 26
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Dicing (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
【解決手段】切削装置は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブル20と、装置基台3に配設されチャックテーブル20を切削送り方向に移動させる切削送り手段40と、切削送り手段40を跨いで装置基台3に立設しチャックテーブル20の移動を許容する開口50cを備えた門型フレーム50と、切り込み送り方向に移動可能に門型フレーム50に固定されチャックテーブル20に保持された被加工物を切削ブレードで切削する切削手段30と、切削ブレードの切り込み送り方向での位置を検出するブレード検出手段90と、を備える。ブレード検出手段90は、門型フレーム50の柱部50aに固定されチャックテーブル20の側方へ延在する支持部材と、支持部材の先端部に装着され発光部及び受光部を有するブレード検出機構と、から構成される。
【選択図】図2
Description
図1は、実施形態1に係る切削装置の構成例を示す図である。図2は、実施形態1に係る切削装置の装置基台を示す図である。図3は、実施形態1に係る切削装置の切削送り手段を示す図である。図4は、実施形態1に係る切削装置の装置基台に固定されたブレード検出手段を示す図である。図5は、実施形態1に係る切削装置のブレード検出手段の構成例を示す図である。図6は、図5に示すブレード検出手段のシールリングの断面図である。図7は、実施形態1に係る切削装置のウォーターケースの側壁にブレード検出手段の支持部材が遊貫する状態を示す図である。なお、図4では、二つのブレード検出手段90のうち、一つを省略して図示している。
次に、実施形態2に係る切削装置1−2について、図面を参照して説明する。図8は、実施形態2に係る切削装置のウォーターケースの側壁にブレード検出手段の支持部材が遊貫する状態を示す図である。
3 装置基台
20 チャックテーブル
20a 保持面
30 切削手段
31 切削ブレード
34 ノズル(切削液供給手段)
40 切削送り手段
42 ジャバラ部
43 ウォーターケース
43a 側壁
50 門型フレーム
50a 柱部
50c 開口
90 ブレード検出手段
91 支持部材
92 ブレード検出機構
92a 発光部
92b 受光部
R シールリング
W 被加工物
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、装置基台に配設され前記チャックテーブルを前記保持面と平行な切削送り方向に移動させる切削送り手段と、前記切削送り手段を跨いで前記装置基台に立設し前記チャックテーブルの移動を許容する開口を備えた門型フレームと、前記保持面と直交する切り込み送り方向に移動可能に前記門型フレームに固定され前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削する切削手段と、前記切削ブレードの前記切り込み送り方向での位置を検出するブレード検出手段と、を備えた切削装置であって、
前記ブレード検出手段は、
前記装置基台に立設する前記門型フレームの柱部に固定され前記チャックテーブルの側方へ延在する支持部材と、
前記支持部材の先端部に装着され発光部及び受光部を有するブレード検出機構と、から構成される切削装置。 - 前記切削手段は、被加工物に切削液を供給する切削液供給手段を有し、
前記切削送り手段は、前記チャックテーブルの前記切削送り方向の両側部に固定され前記切削送り手段を覆うジャバラ部と、前記切削送り手段に沿って延在し前記ジャバラ部によって案内された前記切削液を受け止める樋状のウォーターケースと、によって前記切削液の付着から保護され、
前記支持部材は、前記ウォーターケースの側壁に貫通して前記ブレード検出機構を支持する請求項1記載の切削装置。 - 前記支持部材は前記ウォーターケースの側壁に遊貫し、前記支持部材の外周に嵌合されたシールリングによって前記ウォーターケースと前記支持部材の隙間がシールされる請求項2記載の切削装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014089394A JP6294748B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 切削装置 |
TW104107782A TWI647057B (zh) | 2014-04-23 | 2015-03-11 | Cutting device |
KR1020150050735A KR102250211B1 (ko) | 2014-04-23 | 2015-04-10 | 절삭 장치 |
CN201510193998.6A CN105047555A (zh) | 2014-04-23 | 2015-04-22 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014089394A JP6294748B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015208783A true JP2015208783A (ja) | 2015-11-24 |
JP6294748B2 JP6294748B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=54454003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014089394A Active JP6294748B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 切削装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6294748B2 (ja) |
KR (1) | KR102250211B1 (ja) |
CN (1) | CN105047555A (ja) |
TW (1) | TWI647057B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106624823A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-10 | 天津伊瑞新科技发展有限公司 | 一种具有自动换刀功能的钢制板材切削打磨一体化设备 |
WO2018078891A1 (ja) | 2016-10-25 | 2018-05-03 | 株式会社仲田コーティング | 門型ティア加工装置 |
CN109808388A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-05-28 | 吴善旺 | 一种石材雕刻机 |
JP2019084612A (ja) * | 2017-11-06 | 2019-06-06 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6707396B2 (ja) * | 2016-05-11 | 2020-06-10 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN106079123A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-11-09 | 无锡宏纳科技有限公司 | 一种可保护刀刃的晶圆切割刀 |
JP6732381B2 (ja) * | 2016-10-03 | 2020-07-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6932436B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2021-09-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7114166B2 (ja) * | 2018-01-16 | 2022-08-08 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの管理方法及び切削装置 |
JP7165510B2 (ja) * | 2018-05-25 | 2022-11-04 | 株式会社ディスコ | 搬送用治具及び交換方法 |
JP7139043B2 (ja) * | 2018-06-07 | 2022-09-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN110487151B (zh) * | 2019-08-14 | 2020-12-29 | 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 | 划片机及划片机接触测高装置、划片机测高方法 |
CN111230673A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-06-05 | 无锡立朵科技有限公司 | 一种y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机 |
CN111230689A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-06-05 | 无锡立朵科技有限公司 | 一种关于yz平面对称的双龙门式结构划片机 |
CN111230688A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-06-05 | 无锡立朵科技有限公司 | 一种y轴导轨水平布置的双龙门结构划片机 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007081101A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009012127A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011104731A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2012169557A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4382221B2 (ja) * | 1999-11-09 | 2009-12-09 | 株式会社ディスコ | 水没式切削装置 |
JP4590058B2 (ja) | 2000-04-12 | 2010-12-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
JP4590060B2 (ja) | 2000-04-14 | 2010-12-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2003124152A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 移動型ブレード検出器を備えたダイシング装置 |
JP2003163179A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2003168659A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 高圧洗浄ノズルを有するシンギュレーション装置 |
JP2003211354A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP4634820B2 (ja) * | 2005-02-24 | 2011-02-16 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2008140981A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2010021464A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置のチャックテーブル |
JP2014069277A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
-
2014
- 2014-04-23 JP JP2014089394A patent/JP6294748B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-11 TW TW104107782A patent/TWI647057B/zh active
- 2015-04-10 KR KR1020150050735A patent/KR102250211B1/ko active IP Right Grant
- 2015-04-22 CN CN201510193998.6A patent/CN105047555A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007081101A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009012127A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011104731A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2012169557A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018078891A1 (ja) | 2016-10-25 | 2018-05-03 | 株式会社仲田コーティング | 門型ティア加工装置 |
CN106624823A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-10 | 天津伊瑞新科技发展有限公司 | 一种具有自动换刀功能的钢制板材切削打磨一体化设备 |
JP2019084612A (ja) * | 2017-11-06 | 2019-06-06 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7028607B2 (ja) | 2017-11-06 | 2022-03-02 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN109808388A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-05-28 | 吴善旺 | 一种石材雕刻机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI647057B (zh) | 2019-01-11 |
KR20150122587A (ko) | 2015-11-02 |
KR102250211B1 (ko) | 2021-05-07 |
CN105047555A (zh) | 2015-11-11 |
TW201544230A (zh) | 2015-12-01 |
JP6294748B2 (ja) | 2018-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6294748B2 (ja) | 切削装置 | |
CN107379290B (zh) | 切削装置 | |
KR102232101B1 (ko) | 절삭 장치의 셋업 방법 | |
JP2010021464A (ja) | 加工装置のチャックテーブル | |
TWI716523B (zh) | 工作夾台機構 | |
JP2015207579A (ja) | 劈開装置 | |
JP5466964B2 (ja) | ワーク保持機構 | |
JP5415219B2 (ja) | 切削装置 | |
CN101357491B (zh) | 切削装置 | |
JP2012238658A (ja) | ウエーハの面取り部除去装置 | |
JP2010158760A (ja) | 加工装置のアイドリング方法 | |
JP5473655B2 (ja) | 裏面撮像テーブルユニット | |
JP5291403B2 (ja) | 切削加工装置 | |
JP2011104731A (ja) | 切削装置 | |
JP5936845B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2011073080A (ja) | 撮像装置 | |
JP2011088223A (ja) | 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 | |
JP2017196712A (ja) | 切削装置 | |
JP6605976B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6415299B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2019117895A (ja) | 切削ブレードの位置検出方法及び切削装置 | |
JP2009190127A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP4207126B2 (ja) | ウェーハ面取り装置 | |
JP7334066B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6460763B2 (ja) | 切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6294748 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |