CN105047555A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供切削装置，能够使刀具检测构件对切削刀具的检测精度稳定。切削装置具有：卡盘工作台(20)，其具有保持被加工物的保持面；切削进给构件(40)，其配设于装置基座(3)，使卡盘工作台(20)在切削进给方向上移动；门形框架(50)，其跨越切削进给构件(40)地竖立设置于装置基座(3)，具有允许卡盘工作台(20)的移动的开口(50c)；切削构件(30)，其以可在切入进给方向上移动的方式被固定于门形框架(50)，利用切削刀具对卡盘工作台(20)上所保持的被加工物进行切削；以及刀具检测构件(90)，其检测切削刀具在切入进给方向上的位置。刀具检测构件(90)由以下部件构成：支承部件，其被固定于门形框架(50)的柱部(50a)，朝卡盘工作台(20)的侧方延伸；以及刀具检测机构，其被安装于支承部件的末端部，具有发光部和受光部。

Description

切削装置

技术领域

本发明涉及切削装置。

背景技术

广泛公知有如下的切削装置：通过被竖立设置于装置基座的门形框架所支承的切削构件，对半导体晶片、树脂基板、陶瓷基板以及玻璃板等被加工物进行切削(例如参照专利文献1)。切削装置为了检测切削刀具的末端(下端)在切入进给方向上的位置而具有刀具检测构件，根据基准位置(卡盘工作台的保持面的高度)与由刀具检测构件检测到的位置之差，来算出切削刀具的末端位置(例如参照专利文献2)。刀具检测构件在保持被加工物的卡盘工作台的侧方，竖立设置于搭载卡盘工作台的卡盘工作台底座。

【专利文献1】日本特开2001-298002号公报

【专利文献2】日本特开2001-298001号公报

但是，在卡盘工作台底座上竖立设置了刀具检测构件的切削装置中，卡盘工作台底座沿着切削进给方向移动，因此由于驱动部的发热以及旋转轴的发热等热的影响，卡盘工作台底座自身的温度发生变化，从而刀具检测构件的精度可能会变得不稳定。此外，特别是在具有两个主轴的装置中，为了检测的迅速化而需要设置两个刀具检测构件，在卡盘工作台底座竖立设置两个刀具检测构件时，会直接导致装置主体的覆盖区的扩大。此外，在从装置基座竖立设置刀具检测构件、并使其贯通装置主体的上表面的专利文献1的切削装置中，刀具检测构件贯通装置主体的上表面，因此切削液可能会流入到装置主体内。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够使刀具检测构件对切削刀具的检测精度稳定的切削装置。

为了解决上述问题并达成目的，本发明的切削装置具有：卡盘工作台，其具有保持被加工物的保持面；切削进给构件，其配设于装置基座，使卡盘工作台在与保持面平行的切削进给方向上移动；门形框架，其跨越切削进给构件地竖立设置于装置基座，并具有允许卡盘工作台的移动的开口；切削构件，其以能够在与保持面垂直的切入进给方向上移动的方式被固定于门形框架，并利用切削刀具对卡盘工作台上所保持的被加工物进行切削；以及刀具检测构件，其检测切削刀具在切入进给方向上的位置，所述切削装置的特征在于，刀具检测构件由以下部分构成：支承部件，其被固定于在装置基座上竖立设置的门形框架的柱部，并朝卡盘工作台的侧方延伸；以及刀具检测机构，其被安装于支承部件的末端部，并具有发光部和受光部。

此外，在上述切削装置中，优选的是，切削构件具有向被加工物提供切削液的切削液供给构件，切削进给构件被折皱部和导水渠状的水箱保护以免被切削液附着，所述折皱部被固定在卡盘工作台的切削进给方向的两侧部，并覆盖切削进给构件，所述水箱沿着切削进给构件延伸，并承接由折皱部引导来的切削液，支承部件贯通水箱的侧壁，并支承刀具检测机构。

此外，在上述切削装置中，优选的是，支承部件被具有游隙地贯插到水箱的侧壁中，通过与支承部件的外周嵌合的密封环对水箱与支承部件之间的间隙进行密封。

根据本发明，在竖立设置于装置基座的门形框架的柱部上固定刀具检测构件，且刀具检测构件朝卡盘工作台的侧方延伸，因此与在卡盘工作台底座等可动部上固定刀具检测构件的情况相比，驱动部的发热以及旋转轴的发热等热的影响减小。因此，根据本发明，起到能够使刀具检测构件对切削刀具的检测精度稳定的效果。

附图说明

图1是示出实施方式1的切削装置的结构例的图。

图2是示出实施方式1的切削装置的装置基座的图。

图3是示出实施方式1的切削装置的切削进给构件的图。

图4是示出实施方式1的切削装置的固定于装置基座的刀具检测构件的图。

图5是示出实施方式1的切削装置的刀具检测构件的结构例的图。

图6是图5所示的刀具检测构件的密封环的剖视图。

图7是示出在实施方式1的切削装置的水箱的侧壁中具有游隙地贯插刀具检测构件的支承部件的状态的图。

图8是示出在实施方式2的切削装置的水箱的侧壁中具有游隙地贯插刀具检测构件的支承部件的状态的图。

标号说明

1－1、1－2：切削装置；3：装置基座；20：卡盘工作台；20a：保持面；30：切削构件；31：切削刀具；34：喷嘴(切削液供给构件)；40：切削进给构件；42：折皱部；43：水箱；43a：侧壁；50：门形框架；50a：柱部；50c：开口；90：刀具检测构件；91：支承部件；92：刀具检测机构；92a：发光部；92b：受光部；R：密封环；W：被加工物。

具体实施方式

参照附图，对用于实施本发明的方式(实施方式)详细地进行说明。本发明并不受以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包括本领域技术人员容易想到的和实质上相同的构成要素。而且，以下所记载的结构能够适当地进行组合。另外，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。

[实施方式1]

图1是示出实施方式1的切削装置的结构例的图。图2是示出实施方式1的切削装置的装置基座的图。图3是示出实施方式1的切削装置的切削进给构件的图。图4是示出实施方式1的切削装置的固定于装置基座的刀具检测构件的图。图5是示出实施方式1的切削装置的刀具检测构件的结构例的图。图6是图5所示的刀具检测构件的密封环的剖视图。图7是示出在实施方式1的切削装置的水箱的侧壁中具有游隙地贯插刀具检测构件的支承部件的状态的图。另外，在图4中，省略两个刀具检测构件90中的一个进行了图示。

图1所示的切削装置1－1是对被加工物W实施切削加工的加工装置。如图1至图2所示，切削装置1－1构成为包含盒升降机10、卡盘工作台20、切削构件30、切削进给构件40、门形框架50、分度进给构件60、切入进给构件70、清洗构件80和刀具检测构件90。在本实施方式中，切削装置1－1对经由粘贴带T而被粘贴于环状框架F的开口的被加工物W实施切削加工。

这里，被加工物W没有特别限定，是形成有半导体器件或光器件的半导体晶片或光器件晶片、无机材料基板、延展性树脂材料基板、陶瓷基板、玻璃板、液晶显示器驱动器等各种电子部件等各种加工材料。在本实施方式中，被加工物W形成为圆板状。此外，切削进给方向是与切削刀具31的旋转轴线垂直、且与卡盘工作台20的保持面20a平行的方向，是与铅直方向垂直的方向。分度进给方向是切削刀具31的旋转轴线的方向，是与铅直方向垂直的方向。切入进给方向是与卡盘工作台20的保持面20a垂直的方向，是铅直方向。在本实施方式中，切削进给方向是相当于该图所示的X轴方向的方向，分度进给方向是相当于该图所示的Y轴方向的方向、切入进给方向是相当于该图所示的Z轴方向的方向。

盒升降机10将收纳有多个被加工物W的盒11支承为相对于装置主体2能够在铅直方向上升降。

卡盘工作台20形成为圆板状，具有保持被加工物W的保持面20a。此外，卡盘工作台20能够相对于装置主体2在切削进给方向上相对移动。保持面20a是卡盘工作台20的铅直方向的上端面，相对于水平面平坦地形成。保持面20a由例如多孔陶瓷等构成，借助于未图示的真空吸引源的负压来对被加工物W进行吸引保持。卡盘工作台20具有多个框架夹头21。多个框架夹头21夹持并固定环状框架F。

此外，如图3和图4所示，卡盘工作台20经由θ轴旋转构件22被固定在切削进给构件40的后述的切削进给移动基座41上。此外，在卡盘工作台20的切入进给方向的下方设置有防水罩23。防水罩23是用于防止从切削构件30的后述的喷嘴34提供的切削液浸入到装置主体2内的罩。

切削构件30利用切削刀具31切削卡盘工作台20上所保持的被加工物W。如图1所示，切削构件30借助于分度进给构件60和切入进给构件70，以能够在与保持面20a垂直的切入进给方向上移动的方式被固定于门形框架50。切削构件30在分度进给方向上夹着卡盘工作台20配设有两个。切削构件30具有切削刀具31、主轴32、壳体33、喷嘴34和摄像构件35。切削刀具31是形成为极薄的圆板状且呈环状的切削磨具。主轴32可拆装地安装有切削刀具31。壳体33具有电动机等驱动源，并将主轴32支承为能够绕分度进给方向的旋转轴自如旋转。壳体33被支承于切入进给构件70的后述的切入进给移动基座71。喷嘴34是向被加工物W提供切削液的切削液供给构件。摄像构件35对卡盘工作台20上所保持的被加工物W的切削预定线(也被称作间隔道)进行拍摄，是例如具有CCD(ChargeCoupledDevice：电荷耦合器件)图像传感器等摄像元件的照相机。

切削进给构件40使卡盘工作台20在切削进给方向上移动。切削进给构件40构成为包含例如脉冲电动机、滚珠丝杠以及导轨等，切削进给构件40使切削进给移动基座41相对于装置主体2在切削进给方向上相对移动。即，切削进给移动基座41使卡盘工作台20相对于装置主体2在切削进给方向上相对移动。

这里，装置基座3支承切削进给构件40和门形框架50。装置基座3配设在装置主体2内。如图2所示，装置基座3形成为在铅直方向上观察时呈在切削进给方向和分度进给方向上延伸的十字形状。在装置基座3上，竖立设置有门形框架50，并设置有切削进给构件40。装置基座3由铸造成例如十字形状的铸件块等构成。因此，装置基座3不易产生热的影响引起的变形。

此外，如图1至图2所示，切削进给构件40被折皱部42和水箱43保护以免被切削液附着。

折皱部42是具有折峰部和折谷部的重复构造的、所谓波纹管。折皱部42在切削进给方向上夹着防水罩23配设有两个，被固定在防水罩23的切削进给方向的两端部。在切削进给方向上折皱部42一端部被固定于防水罩23，另一端部被固定于装置主体2。即，折皱部42被固定在卡盘工作台20的切削进给方向的两侧部，在切入进给方向上观察时覆盖切削进给构件40。在切削进给方向上，折皱部42能够伴随卡盘工作台20在切削进给方向的移动而伸缩。折皱部42通过使从切削构件30的喷嘴34提供的切削液从分度进给方向的两端部流到铅直方向的下方，而将切削液引导至水箱43。

如图1所示，水箱43被设置成在装置主体2的上表面形成的开口部。水箱43被可拆装地固定于装置主体2。水箱43由例如不锈钢等构成。水箱43被防水罩23和折皱部42覆盖。水箱43形成为在铅直方向上观察时，呈对应于卡盘工作台20的切削进给方向的移动范围，切削进给方向的宽度比分度进给方向的宽度大的矩形。即，水箱43形成为沿着切削进给构件40延伸的矩形。

此外，如图3至图4所示，水箱43形成为在铅直方向上观察时一体地具有以下部分：包围卡盘工作台20的侧壁43a；底部43b，其从在分度进给方向上对置的两个侧壁43a和切削进给方向上的盒升降机10侧的侧壁43a起分别朝向卡盘工作台20延伸而成；以及从底部43b起与侧壁43a对置地竖立设置的内壁43c。即，水箱43在铅直方向上观察时形成为コ字形，并形成为承接由折皱部42引导来的切削液的导水渠状。水箱43通过与底部43b连接的排泄管43d而将所承接的切削液排出到外部。即，水箱43承接从折皱部42引导来的切削液，保护切削进给构件40以免附着切削液。

在分度进给方向上对置的两个侧壁43a上，分别形成有供刀具检测构件90的后述的支承部件91具有游隙地贯插的贯穿插入孔43e。如图4所示，贯穿插入孔43e形成为比支承部件91的后述的支承部91a的外径大。此外，贯穿插入孔43e的孔径优选是如下大小：即使水箱43由于切削进给构件40等的热的影响而产生变形，也不会与支承部91a发生干涉。

门形框架50将切削构件30支承为能够分别在分度进给方向和切入进给方向上移动。如图2所示，门形框架50在分度进给方向上跨越切削进给构件40地竖立设置于装置基座3。门形框架50例如由通过与装置基座3相同的材料铸造成门形的铸件块等构成。因此，门形框架50不易产生热的影响引起的变形。此外，门形框架50一体地具有：在分度进给方向上隔开间隔地从装置基座3竖立设置的一对柱部50a；以及横架于一对柱部50a的铅直方向的上端部之间的梁部50b。门形框架50具有开口50c，该开口50c由一对柱部50a和梁部50b围成，在分度进给方向上宽度比防水罩23宽，在铅直方向上，开放到比卡盘工作台20的保持面20a靠上方的位置。即，门形框架50具有允许卡盘工作台20在切削进给方向的移动的开口50c。

分度进给构件60使切削构件30在分度进给方向上移动。分度进给构件60构成为包含例如脉冲电动机、滚珠丝杠以及导轨等，分度进给构件60使分度进给移动基座61相对于装置主体2在分度进给方向上相对移动。分度进给构件60被门形框架50支承，并支承着切入进给构件70。

切入进给构件70使切削构件30在切入进给方向上移动。切入进给构件70构成为包含例如脉冲电动机、滚珠丝杠以及导轨等，切入进给构件70使切入进给移动基座71相对于装置主体2在切入进给方向上相对移动。切入进给构件70被分度进给构件60支承，并支承着切削构件30。即，切入进给移动基座71以能够在切入进给方向上移动的方式，借助于分度进给构件60将切削构件30固定于门形框架50。此外，切入进给构件70通过包含例如线性刻度和传感器等的切入进给位置检测构件，检测切削构件30相对于装置主体2的相对位置。

清洗构件80通过旋转工作台81保持被切削构件30切削后的被加工物W并进行清洗。

刀具检测构件90在设定了基准位置后在切入进给方向上检测切削刀具31的末端部(铅直方向的下端部)。刀具检测构件90在分度进给方向上夹着卡盘工作台20配设有两个。如图5所示，刀具检测构件90由支承部件91和刀具检测机构92构成。这里，基准位置是卡盘工作台20的铅直方向的上端面、即保持面20a在铅直方向上的位置。此外，基准位置例如通过由切入进给位置检测构件检测到使保持面20a和切削刀具31接触时的铅直方向的位置而被设定。

如图4所示，支承部件91通过例如螺栓或螺钉等紧固部件S1而被能够拆装地固定于门形框架50的柱部50a。支承部件91沿着分度进给方向从柱部50a侧朝向卡盘工作台20侧与水平方向平行地延伸。即，支承部件91被固定于在装置基座3上竖立设置的门形框架50的柱部50a，并朝卡盘工作台20的侧方延伸。在本实施方式中，支承部件91朝形成有贯穿插入孔43e的侧壁43a的侧方延伸。此外，支承部件91具有支承刀具检测机构92的支承部91a、和安装紧固部件S1的安装孔91b。

支承部91a形成为在分度进给方向上从支承部件91的水箱43侧的一端部延伸的圆柱状。支承部91a被具有游隙地贯插到水箱43的侧壁43a的贯穿插入孔43e内。即，支承部件91贯通水箱43的侧壁43a，并支承着刀具检测机构92。此外，在支承部91a的外周嵌合有密封环R。

密封环R由具有伸缩性的橡胶等弹性部件构成。密封环R是所谓的V型密封圈。如图4至图6所示，密封环R形成为环状，具有与侧壁43a以水密方式紧贴的环状唇部Ra。环状唇部Ra与侧壁43a能够滑动地紧贴。此外，环状唇部Ra优选的是，即使水箱43由于切削进给构件40等的热的影响而产生变形，环状唇部Ra也追随侧壁43a的变形而与侧壁43a以水密方式紧贴。密封环R的安装孔Rb形成为比支承部91a的外径小。密封环R以安装孔Rb的孔径大于支承部91a的外径的方式被拉伸，从而与支承部91a嵌合。因此，如图7所示，通过与支承部件91的外周嵌合的密封环R，对水箱43与支承部件91之间的间隙进行密封。

刀具检测机构92在切入进给方向检测切削刀具31的末端位置(铅直方向的下端位置)。如图5所示，刀具检测机构92被安装于支承部件91的末端部、即支承部91a，并具有在分度进给方向上对置配置的发光部92a和受光部92b。在切入进给方向上，切削刀具31进入发光部92a与受光部92b之间，由此刀具检测机构92检测切削刀具31的末端位置。此外，刀具检测机构92被固定于支承台92c。支承台92c被能够拆装地安装于支承部91a。在支承台92c上，经由铰链92e能够开闭地设置有覆盖发光部92a和受光部92b的罩92d。罩92d用于防止切削液和切削屑的附着。罩92d在检测切削刀具31的末端位置时被打开，在对被加工物W实施切削加工时被关闭。

下面，对如以上那样构成的切削装置1－1的基本动作进行说明。另外，在本实施方式中，假定对呈格子状地形成有切削预定线的被加工物W实施切削加工。此外，在本实施方式中，预先测定了基准位置、和通过刀具检测机构92检测到切削刀具31的末端位置时的切入进给方向的位置(末端检测位置)，并根据基准位置与末端检测位置之差进行修正，使得在切削加工工序中由刀具检测机构92检测到的切削刀具31的末端位置与基准位置对应。

切削装置1－1在根据作业员的指示输入而取出了被收纳在盒11中的被加工物W后，将其搬送到卡盘工作台20。这里，在切削装置1－1中，通过刀具检测机构92检测出切削刀具31的末端位置。此外，在切削装置1－1中，即使水箱43由于来自切削进给构件40等的热的影响而产生变形(几十μm左右)，贯穿插入孔43e也不会与支承部91a发生干涉。

在切削装置1－1中，从喷嘴34喷射切削液、使切削刀具31高速地旋转，并且通过切入进给构件70进行切入进给、通过切削进给构件40进行切削进给，由此对切削预定线进行切削。这里，在切削装置1－1中，切削液在从折皱部42被引导至水箱43并由水箱43承接后，从排泄管43d被排出到外部。此外，在切削装置1－1中，即使水箱43由于来自切削进给构件40等的热的影响而产生变形，密封环R的环状唇部Ra也会追随该变形，通过密封环R对水箱43与支承部件91之间的间隙进行密封，抑制了切削液向装置主体2内的泄漏。

切削装置1－1在切削了同向的所有切削预定线后，对应于未切削的切削预定线，通过θ轴旋转构件22使卡盘工作台20旋转，从喷嘴34喷射切削液，并且通过切削刀具31对未切削的切削预定线实施切削加工。这里，在切削装置1－1中，通过密封环R对水箱43与支承部件91之间的间隙进行了密封，从而抑制了切削液向装置主体2内的泄漏。

切削装置1－1在通过切削刀具31对被加工物W实施了切削加工后，将被加工物W从卡盘工作台20搬送到清洗构件80的旋转工作台81，对被加工物W进行清洗和干燥。此外，切削装置1－1将被清洗和干燥后的被加工物W从旋转工作台81搬送到盒11，并收纳在盒11中。

这里，在切削装置1－1中，例如在对规定的张数的被加工物W进行了切削加工时、变更了被加工物W的材质时、或者变更了被加工物W的器件的种类时，通过刀具检测机构92检测切削刀具31的末端位置，并将切削刀具31的末端位置修正成与基准位置对应。

如上所述，根据实施方式1的切削装置1－1，由不易产生热的影响引起的变形的铸件构成装置基座3和门形框架50，在从装置基座3竖立设置的门形框架50的柱部50a上固定刀具检测构件90的支承部件91，并使支承部件91具有游隙地贯插到水箱43的侧壁43a的贯穿插入孔43e中。即，根据实施方式1的切削装置1－1，在不易产生热的影响引起的变形的门形框架50上固定刀具检测构件90，从而抑制了水箱43对刀具检测构件90的干涉。因此，即使水箱43由于来自切削进给构件40等的热的影响而产生变形(几十μm)，也能够抑制水箱43对刀具检测构件90产生干涉。因此，根据实施方式1的切削装置1－1，起到能够使刀具检测构件90对切削刀具31的检测精度稳定的效果。

此外，根据实施方式1的切削装置1－1，使密封环R与具有游隙地贯插到水箱43的贯穿插入孔43e中的支承部91a嵌合，使密封环R的环状唇部Ra以追随水箱43的因热的影响而引起的变形的方式与侧壁43a接触，由此以水密的方式对水箱43与支承部91a之间的间隙进行密封。因此，根据实施方式1的切削装置1－1，能够抑制切削液从贯穿插入孔43e向装置主体2内的泄漏。

此外，根据实施方式1的切削装置1－1，通过在门形框架50上固定刀具检测构件90，可以无需确保将用于固定刀具检测构件90的部件配设到装置主体2用的空间，因此能够抑制切削装置1－1自身的覆盖区(设置面积)的增大。

[实施方式2]

接着，参照附图说明实施方式2的切削装置1－2。图8是示出在实施方式2的切削装置的水箱的侧壁中具有游隙地贯插刀具检测构件的支承部件的状态的图。

实施方式2的切削装置1－2在使刀具检测构件90的支承部件91具有游隙地贯插到水箱43的侧壁43a和压板43f中的方面，与上述实施方式1的切削装置1－1不同。另外，对于与上述实施方式1－1共同的结构、作用和效果，尽可能地省略重复的记载。

在图8所示的切削装置1－2中，刀具检测构件90的支承部件91被具有游隙地贯插到水箱43的侧壁43a和压板43f中。

支承部件91被紧固部件S1固定于门形框架50的柱部50a，并从柱部50a侧朝向水箱43的侧壁43a侧延伸。支承部件91被具有游隙地贯插到侧壁43a的贯穿插入孔43e中，支承部91a被具有游隙地贯插到压板43f中。即，支承部件91被具有游隙地贯插到压板43f中。

贯穿插入孔43e形成为比支承部件91的外径大。贯穿插入孔43e的孔径优选是如下大小：作业员容易经由贯穿插入孔43e相对于柱部50a拆装支承部件91。贯穿插入孔43e形成为例如在切削进给方向上较长的矩形等，以使得作业员容易经由贯穿插入孔43e相对于柱部50a拆装支承部件91。在贯穿插入孔43e中具有游隙地贯插有支承部件91。

压板43f形成为比侧壁43a的贯穿插入孔43e的孔径大的平板状。压板43f通过例如螺栓或螺钉等紧固部件S2被能够拆装地固定于侧壁43a的内表面(与内壁43c对置的面)。压板43f具有供支承部件91具有游隙地贯插的贯穿插入孔43g。贯穿插入孔43g形成为比支承部91a的外径大。贯穿插入孔43g的孔径优选是如下大小：即使水箱43自身由于切削进给构件40等的热的影响而产生变形，也不会与支承部91a发生干涉。在贯穿插入孔43g中具有游隙地贯插有支承部91a。通过与支承部91a嵌合的密封环R而以水密的方式对贯穿插入孔43g与支承部91a之间进行了密封。

此外，压板43f与侧壁43a之间夹持着密封部件43h。密封部件43h对压板43f与侧壁43a之间以水密的方式进行密封，是所谓的O型圈。在密封部件43h被夹在压板43f与侧壁43a之间的状态下拧紧紧固部件S2，由此密封部件43h以水密的方式对压板43f与侧壁43a之间进行密封。

接着，对在如以上那样构成的切削装置1－2中更换刀具检测构件90的作业进行说明。

作业员进行用于将切削装置1－2的运转模式从加工模式切换为维护模式的指示输入，在停止了切削装置1－2的动作后，拆下折皱部42。这里，在切削装置1－2中，残留在折皱部42上的切削液在被引导至水箱43、并由水箱43承接后，从排泄管43d被排出到外部。

接着，作业员在从支承部91a拆下刀具检测机构92、并从支承部91a拆下密封环R后，松开紧固部件S2，从侧壁43a拆下压板43f和密封部件43h。然后，作业员经由侧壁43a的贯穿插入孔43e松开紧固部件S1，从门形框架50的柱部50a拆下支承部件91。

继而，作业员经由侧壁43a的贯穿插入孔43e拧紧紧固部件S1，将支承部件91固定到柱部50a。然后，作业员使支承部91a具有游隙地贯插到压板43f的贯穿插入孔43g中，在压板43f与侧壁43a之间夹入密封部件43h，并且拧紧紧固部件S2。这里，在切削装置1－2中，在压板43f与侧壁43a之间夹持密封部件43h，从而以水密的方式对压板43f与侧壁43a之间进行了密封。

接着，作业员使密封环R与支承部91a嵌合，并使密封环R的环状唇部Ra与压板43f接触。这里，在切削装置1－2中，通过密封环R，以水密的方式对压板43f与支承部91a之间进行密封。然后，作业员在将刀具检测机构92安装到支承部91a后，安装折皱部42。

如上所述，根据实施方式2的切削装置1－2，除了实施方式1的切削装置1－1的效果以外，还将侧壁43a的贯穿插入孔43e形成为作业员容易在柱部50a上拆装刀具检测构件90的大小，因此容易进行刀具检测构件90的更换等维护。

此外，根据实施方式2的切削装置1－2，设置压板43f，该压板43f与侧壁43a之间夹着密封部件43h，从而通过密封环R以水密的方式对压板43f的贯穿插入孔43g和支承部91a之间的间隙进行了密封。因此，根据实施方式2的切削装置1－2，能够抑制切削液从各贯穿插入孔43e、43g向装置主体2内泄漏。

另外，在上述实施方式1中，切削装置1－1是切削刀具31彼此对置配置的对置双重划片机(facingdualdicer)，但是不限于此，例如也可以是在切削进给方向上隔开间隔地并列设置两个主轴32的、所谓并列双重划片机(paralleldualdicer)，还可以是具有一个切削构件30的划片机。

此外，在上述实施方式1中，切削装置1－1对经由粘贴带T而被支承于环状框架F的开口的被加工物W实施了切削加工，但是不限于此，例如也可以是未粘贴有粘贴带T的被加工物W。

Claims (3)

1.一种切削装置，其具备：卡盘工作台，其具有保持被加工物的保持面；切削进给构件，其配设于装置基座，使所述卡盘工作台在与所述保持面平行的切削进给方向上移动；门形框架，其跨越所述切削进给构件地竖立设置于所述装置基座，并具有允许所述卡盘工作台的移动的开口；切削构件，其以能够在与所述保持面垂直的切入进给方向上移动的方式被固定于所述门形框架，并利用切削刀具对所述卡盘工作台上所保持的被加工物进行切削；以及刀具检测构件，其检测所述切削刀具在所述切入进给方向上的位置，在所述切削装置中，

所述刀具检测构件由以下部分构成：

支承部件，其被固定于在所述装置基座上竖立设置的所述门形框架的柱部，并朝所述卡盘工作台的侧方延伸；以及

刀具检测机构，其被安装于所述支承部件的末端部，并具有发光部和受光部。

2.根据权利要求1所述的切削装置，其中，

所述切削构件具有向被加工物提供切削液的切削液供给构件，

所述切削进给构件被折皱部和导水渠状的水箱保护以免被所述切削液附着，所述折皱部被固定在所述卡盘工作台的所述切削进给方向的两侧部，并覆盖所述切削进给构件，所述水箱沿着所述切削进给构件延伸，并承接由所述折皱部引导来的所述切削液，

所述支承部件贯通所述水箱的侧壁，并支承所述刀具检测机构。

3.根据权利要求2所述的切削装置，其中，

所述支承部件被具有游隙地贯插到所述水箱的侧壁中，通过与所述支承部件的外周嵌合的密封环对所述水箱与所述支承部件之间的间隙进行密封。