JP4207126B2

JP4207126B2 - ウェーハ面取り装置

Info

Publication number: JP4207126B2
Application number: JP2004025590A
Authority: JP
Inventors: 悟南
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2004-02-02
Filing date: 2004-02-02
Publication date: 2009-01-14
Anticipated expiration: 2024-02-02
Also published as: JP2005212085A

Description

本発明はウェーハ面取り装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の硬脆材料からなるウェーハの周縁を面取り加工するのに好適なウェーハ面取り装置に関する。

半導体素子の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等で薄くスライスされた後、割れや欠けを防止するために、周縁が面取り加工される。

ウェーハの面取り加工は、高速で回転させた砥石に、ウェーハを回転させながら近づけ、ウェーハの周縁を砥石で研削することにより行われるが、この加工に際してウェーハと砥石との接触部分には研削液が供給される。この供給された研削液がウェーハを移動させる機構（ガイドレールや送りネジ、モータ等）に付着すると装置の故障の原因となるため、従来は、スライド式の蛇腹をウェーハを保持するチャックテーブルの両側に取り付け、チャックテーブルの移動機構に研削液が付着するのを防止していた。

ところが、スライド式の蛇腹では、スライド部に隙間があるため、ミスト状になった研削液の進入を完全には防止できないという欠点があった。また、チャックテーブルが２軸以上の方向に移動するウェーハ面取り装置では、各移動軸毎に蛇腹を設置する必要があるため、装置の構成が複雑となり、また、装置が大型化するという欠点があった。

これらの問題点に対処すべく、本出願人により、オイルパンの開口部を遮蔽する伸縮性を有するカバー部材を備える構成が提案されている（特許文献１参照。）。この技術によれば、チャックテーブル移動機構が隙間なくシーリングされる効果が得られる。
特開２０００−７４５号公報

しかしながら、ゴム等からなる伸縮性を有するカバー部材は、繰り返しの使用により破断される場合があり、その交換作業が大変であるという問題点を有する。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、シンプルな構成でウェーハの移動機構を隙間なくシーリングすることができ、長期間に亘ってメンテナンスの不要なウェーハ面取り装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記目的を達成するために、回転する砥石に回転するウェーハの周縁を接触させて面取り加工するウェーハ面取り装置において、前記砥石を回転させる砥石回転手段と、前記ウェーハを保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルを回転させるチャックテーブル回転手段と、前記チャックテーブル回転手段を移動させて前記ウェーハの周縁を前記砥石に接触させるチャックテーブル移動手段と、前記砥石と前記ウェーハとの接触部に研削液を供給する研削液供給手段と、前記研削液を回収し、底部に前記チャックテーブル回転手段が移動可能な所定高さＨ２の土手部を備えた開口部を有するオイルパンと、環状の部材であって、その内周縁が前記チャックテーブル回転手段に上下方向に移動自在、かつ水密状態で嵌着されるとともに、その外周縁より下方に延設される所定高さＨ１の第１スカート部を備える第１のカバー部材と、前記第１のカバー部材の下方に配される環状の部材であって、その内周のサイズが前記第１のカバー部材の外周のサイズより小であり、その内周縁より上方に延設される前記所定高さＨ１と略同一高さの土手部を備えるとともに、その外周縁より下方に延設される前記所定高さＨ２と略同一高さであるとともに内周のサイズが前記オイルパンの開口部のサイズより大である第２スカート部を備える第２のカバー部材と、からなることを特徴とするウェーハ面取り装置を提供する。

本発明によれば、研削液を回収するオイルパンには、チャックテーブル回転手段が移動できるように開口部が形成されている。このオイルパンの開口部を第１のカバー部材と第２のカバー部材とが覆っており、この第１のカバー部材と第２のカバー部材とがオイルパンの開口部上をスライド移動することによりチャックテーブル移動機構の移動が妨げられない。したがって、これにより、チャックテーブル移動機構が隙間なくシーリングされる。

本発明において、前記第２のカバー部材のサイズが前記オイルパンの開口部のサイズより大であり、前記オイルパンの開口部の周縁には前記所定高さＨ２より大きい高さの土手部を備えることが好ましい。このような構成であれば、チャックテーブル移動機構のシーリングがより良好となる。

また、本発明において、前記第２のカバー部材の下方に配される環状の部材であって、その内周のサイズが前記第２のカバー部材の外周のサイズより小であり、その内周縁より上方に延設される前記所定高さＨ２と略同一高さの土手部を備えるとともに、その外周縁より下方に延設される所定高さＨ３の第３スカート部を備える第３のカバー部を備えることが好ましい。このような第３のカバー部を更に備えれば、チャックテーブル移動機構の移動ストロークが大きくなり、更に好適である。

また、本発明において、前記第３のカバー部材のサイズが前記オイルパンの開口部のサイズより大であり、前記オイルパンの開口部の周縁には前記所定高さＨ３より大きい高さの土手部を備えることが好ましい。このような構成であれば、チャックテーブル移動機構のシーリングがより良好となる。

以上説明したように、本発明によれば、シンプルな構成でウェーハの移動機構を完全にシーリングすることができる。

以下、添付図面に従って、本発明に係るウェーハ面取り装置の好ましい実施の形態について詳説する。

図１は、本発明に係るウェーハ面取り装置の実施の形態の構成を示す側面図である。同図に示されるように、本実施の形態のウェーハ面取り装置４０は、主としてウェーハ送りユニット４２、外周加工ユニット４４、ノッチ加工ユニット４６及びクーラント供給ユニット４８から構成されている。

先ず、ウェーハ送りユニット４２の構成について説明する。図２は、図１のＡ−Ａ断面図であり、図３は、図１のＢ−Ｂ断面図である。

図１及び図２に示されるように、水平に配設されたベースプレート５０上には、一対のＹ軸ガイドレール５２、５２が所定の間隔をもって敷設されている。この一対のＹ軸ガイドレール５２、５２上にはＹ軸リニアガイド５４、５４…を介してＹ軸テーブル５６がスライド自在に支持されている。

Ｙ軸テーブル５６の下面にはナット部材５８が固着されており、ナット部材５８は一対のＹ軸ガイドレール５２、５２の間に配設されたＹ軸ボールネジ６０に螺合されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、その両端部がベースプレート５０上に配設された軸受部材６２、６２に回動自在に支持されており、その一方端には一方の軸受部材６２に設けられたＹ軸モータ６４の出力軸が連結されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、このＹ軸モータ６４を駆動することにより回動し、その結果、Ｙ軸テーブル５６がＹ軸ガイドレール５２、５２に沿って水平にスライド移動する。なお、以下において、このＹ軸テーブル５６がスライドする方向をＹ軸方向とする。

Ｙ軸テーブル５６上には、図１及び図３に示されるように、一対のＹ軸ガイドレール５２、５２と直交するように一対のＸ軸ガイドレール６６、６６が敷設されている。この一対のＸ軸ガイドレール６６、６６上にはＸ軸リニアガイド６８、６８…を介してＸ軸テーブル７０がスライド自在に支持されている。

Ｘ軸テーブル７０の下面にはナット部材７２が固着されており、ナット部材７２は一対のＸ軸ガイドレール６６、６６の間に配設されたＸ軸ボールネジ７４に螺合されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、その両端部がＸ軸テーブル７０上に配設された軸受部材７６、７６に回動自在に支持されており、その一方端には一方の軸受部材７６に設けられたＸ軸モータ７８の出力軸が連結されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、このＸ軸モータ７８を駆動することにより回動し、その結果、Ｘ軸テーブル７０がＸ軸ガイドレール６６、６６に沿って水平にスライド移動する。なお、以下において、このＸ軸テーブル７０がスライドする方向をＸ軸方向とする。

Ｘ軸テーブル７０上には、図１に示されるように、垂直にＺ軸ベース８０が立設されており、Ｚ軸ベース８０には一対のＺ軸ガイドレール８２、８２（１つのみ破線で表示）が所定の間隔をもって敷設されている。この一対のＺ軸ガイドレール８２、８２にはＺ軸リニアガイド８４、８４を介してＺ軸テーブル８６がスライド自在に支持されている。

Ｚ軸テーブル８６の側面にはナット部材８８が固着されており、ナット部材８８は一対のＺ軸ガイドレール８２、８２の間に配設されたＺ軸ボールネジ９０に螺合されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、その両端部がＺ軸ベース８０に配設された軸受部材９２、９２に回動自在に支持されており、その下端部には下側の軸受部材９２に設けられたＺ軸モータ９４の出力軸が連結されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、このＺ軸モータ９４を駆動することにより回動し、この結果、Ｚ軸テーブル８６がＺ軸ガイドレール８２、８２に沿って垂直にスライド移動する。なお、以下、このＺ軸テーブル８６がスライドする方向をＺ軸方向とする。

Ｚ軸テーブル８６上には、図１に示されるように、θ軸モータ９６が垂直に設置されている。このθ軸モータ９６の出力軸にはθ軸シャフト９８が連結されており、このθ軸シャフト９８の上端部にチャックテーブル１００が水平に固定されている。加工対象であるウェーハＷは、このチャックテーブル１００上に真空吸着によって保持される。

以上のように構成されたウェーハ送りユニット４２において、チャックテーブル１００は、Ｙ軸モータ６４を駆動することによりＹ軸方向に沿って水平にスライド移動し、Ｘ軸モータ７８を駆動することによりＸ軸方向に沿って水平にスライド移動する。そして、Ｚ軸モータ９４を駆動することによりＺ軸方向に沿って垂直にスライド移動し、θ軸モータ９６を駆動することによりθ軸回りに回転する。

次に、外周加工ユニット４４の構成について説明する。図１及び図４に示されるように、ベースプレート５０上には垂直に架台１０２が設置されている。架台１０２上には外周モータ１０４が垂直に設置されており、この外周モータ１０４の出力軸には外周スピンドル１０６が連結されている。ウェーハＷの外周を面取り加工する外周加工砥石１０８は、この外周スピンドル１０６に装着される。そして、装着された外周加工砥石１０８は、外周モータ１０４を駆動することにより回転する。

ここで、この外周加工砥石１０８の外周には、ウェーハＷに要求される面取り形状と同じ形状の溝１０８ａ、１０８ｂが２段形成されており（総形砥石）、この溝１０８ａ、１０８ｂにウェーハＷの周縁を押し当てることにより、ウェーハＷの周縁が面取り加工される。

次に、ノッチ加工ユニット４６の構成について説明する。図４に示されるように、架台１０２の側部には、外周加工砥石１０８の回転軸（Ｚ軸）に沿って支柱１１０が配設されている。この支柱１１０の下端部は前記架台１０２の側面に支持されており、その上端部には水平な梁部１１０Ａが一体成形されている。梁部１１０Ａの先端には、一対の軸受部材１１２、１１２（図１参照）が配設されており、軸受部材１１２、１１２にピン１１４を介してアーム１１６が揺動自在に支持されている。

アーム１１６の先端にはノッチモータ１１８が支持されており、ノッチモータ１１８の出力軸にはノッチスピンドル１２０が連結されている。ウェーハＷに形成されたノッチを面取り加工するノッチ加工砥石１２２は、このノッチスピンドル１２０に装着される。そして、装着されたノッチ加工砥石１２２はノッチモータ１１８を駆動することにより回転する。

なお、アーム１１６は図示しないロック手段によって水平位置及び垂直位置で固定できるように構成されており、水平位置で固定することにより、図１及び図４に示されるように、その先端に配置されたノッチ加工砥石１２２がＹ軸上に位置する。

また、詳しくは図示されていないが、このノッチ加工砥石１２２の外周にも外周加工砥石１０８と同様にウェーハＷに要求される面取り形状と同じ形状の溝が２段形成されている。

次に、クーラント供給ユニット４８の構成について説明する。図５は、クーラント供給ユニット及びカバー部材の構成を示す正面図であり、図６は、図５の６−６線矢視図である。

図５に示されるように、θ軸モータ９６の上端部には外周が矩形状に形成された取付板１２４が、図示しないボルトによって固定されている。この取付板１２４は中央部に孔１２４Ａが形成されており、この孔１２４Ａにθ軸モータ９６の出力軸９８が挿通されている。そして、取付板１２４と出力軸９８との間は、Ｖリング１２６でシーリングされている。

取付板１２４の先端部には、ブラケット１２８、１２８を介して一対のクーラントノズル１３０、１３０が設置されている。この一対のクーラントノズル１３０、１３０は、互いに対向するように設置されており、チャックテーブル１００に保持されたウェーハＷの先端に向けてクーラント（研削液）を供給する。

ここで、ウェーハＷの面取り加工は、チャックテーブル１００に保持されたウェーハＷの先端部を外周加工砥石１０８の溝１０８ａに接触させることにより行うので、上記のようにクーラントをウェーハＷの先端部に供給することにより、常に外周加工砥石１０８とウェーハＷとの接触部にクーラントが供給されるようになる。

クーラントノズル１３０、１３０から噴射されたクーラントは、加工に供したのち自重で落下してオイルパン１３２で回収される。このオイルパン１３２は、図１に示されるように、ウェーハ送りユニット４２、外周加工ユニット４４及びノッチ加工ユニット４６を囲うようにして配置されており、架台１０２上に設置されている。

ここで、外周加工砥石１０８及びノッチ加工砥石１２２は、一定位置に固定され移動しないが、チャックテーブル１００はＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の３軸方向に移動する。このため、オイルパン１３２の底部には円形状開口部１３２Ａが形成されており、この開口部１３２Ａ内をθ軸モータ９６が移動できるように構成されている。

しかし、上記のようにオイルパン１３２に開口部１３２Ａを形成した場合、その開口部１３２Ａからクーラントが漏れて、チャックテーブル１００の移動機構に掛かるおそれがある。

そこで、開口部１３２Ａには、次のような上段カバー（第１のカバー部材）１３４、及び下段カバー（第２のカバー部材）１３６を取り付けてクーラントの漏洩を防止する。

この上段カバー（第１のカバー部材）１３４は、環状の部材であって、その内周縁がθ軸モータ９６（チャックテーブル回転手段）に上下方向に移動自在、かつ水密状態で嵌着されるとともに、その外周縁より下方に延設される所定高さＨ１の第１スカート部１３４Ｂを備える。

上段カバー１３４の内周縁とθ軸モータ９６との嵌着は、内周縁より上方に延設される所定高さの土手部１３４Ａと、この土手部１３４Ａの内周に固着されるリング状のシール部材１３５により行われる。シール部材１３５としては、水密性が良好で、かつ、θ軸モータ９６との摺動が無理なく行える、たとえば、樹脂材、ゴム材等が使用できる。シール部材１３５の土手部１３４Ａへの固定は、接着剤、ねじ止め等により行える。

下段カバー（第２のカバー部材）１３６は、上段カバー１３４の下方に配される環状の部材であって、その内周のサイズが上段カバー１３４の外周のサイズより小であり、その内周縁より上方に延設される所定高さＨ１と略同一高さの土手部１３６Ａを備えるとともに、その外周縁より下方に延設される所定高さＨ２の第２スカート部１３６Ｂを備える。

この下段カバー１３６と上段カバー１３４とは、水密状態で係合している。すなわち、土手部１３６Ａの外周にはリング状のシール部材１３７が固着されており、このシール部材１３７の上面と上段カバー１３４の下面とで水密状態が形成される。シール部材１３７としては、水密性が良好で、かつ、上段カバー１３４の下面との摺動が無理なく行える、たとえば、樹脂材、ゴム材等が使用できる。シール部材１３７の土手部１３６Ａへの固定は、接着剤、ねじ止め等により行える。

シール部材１３７の高さは、上段カバー１３４の第１スカート部１３４Ｂの高さＨ１より若干大きくなっているので、上段カバー１３４と下段カバー１３６とが水平方向に相対移動した際に、上段カバー１３４の第１スカート部１３４Ｂの下端の下段カバー１３６の上面への接触が避けられる。

下段カバー１３６は、下面がオイルパン１３２の円形状開口部１３２Ａの上端面に支持されており、水平方向に移動できるようになっている。この際、円形状開口部１３２Ａの土手部の高さが第２スカート部１３６Ｂの高さＨ２より大きく形成されているので、下段カバー１３６が水平方向に移動した際に、下段カバー１３６の第２スカート部１３６Ｂの下端のオイルパン１３２の上面への接触が避けられる。

上段カバー１３４及び下段カバー１３６の材質として、特に制限はないが、所定以上の強度を有し、クーラント等により腐食されない材質が好ましく、たとえば、ステンレス鋼、ガラス繊維強化樹脂等が採用できる。

上段カバー１３４及び下段カバー１３６の平面状部の断面形状は、ストレート形状（水平状）でもよいが、中心部より周辺部に向かって若干下がり勾配のテーパ形状とすることが好ましい。このようにすれば、クーラント等のカバー上の滞留がなく好ましい。

既述のように、下段カバー１３６の上下方向に支持は、下面がオイルパン１３２の円形状開口部１３２Ａの上端面に支持され、自重により上方への飛び上がりが防止され、上段カバー１３４の上下方向に支持は、下面がシール部材１３７の上端面に支持され、自重により上方への飛び上がりが防止されるようになっている。

但し、これに加えて、上段カバー１３４の上方への飛び上がりを防止させる規制機構を設けることもできる。たとえば、上段カバー１３４及び下段カバー１３６が軽量な場合には、このような規制機構が有効である。

以上のようにして取り付けられた上段カバー１３４及び下段カバー１３６は、水平方向にスライド移動可能となっており、チャックテーブル１００（θ軸モータ９６）の移動に追従してスライド移動する。このため、チャックテーブル１００が移動しても隙間が生じることがなく、開口部１３２Ａを完全に密封することができる。

ところで、上段カバー１３４及び下段カバー１３６を設けることにより、上記のようにチャックテーブル１００が移動しても水密状態が維持できるが、更に水密状態を完璧にすべく、取付板１２４の周縁より下方に液よけシート１３８を垂設してある。この液よけシート１３８は、ゴムシート等で形成できる。

同様に水密状態を完璧にすべく、θ軸モータ９６周囲には蛇腹９６Ａが設けられている。蛇腹９６Ａの上端部分は、リング状の固定部材９６Ｂを介して取付板１２４の下面に固着されており、蛇腹９６Ａの下端部分は、リング状の固定部材９６Ｃを介して上段カバー１３４の上面に固着されている。

この蛇腹９６Ａはθ軸モータ９６の上下方向をシールするもので、リング状のシール部材１３５とともに、θ軸モータ９６の水密性を確保する。すなわち、リング状のシール部材１３５は、θ軸モータ９６と上段カバー１３４との間で水平方向のガタを作らない目的と、万一、蛇腹９６Ａがやぶけたり穴があいたりしたときの、予備的な安全のために設けられている。

蛇腹９６Ａを設けずに、常時、リング状のシール部材１３５にクーラント等があたる構造とすると、シール部材１３５の耐久性は悪くなってしまう。また、シール部材１３５には、シール部材１３７や円形状開口部１３２Ａのように、重力による押さえつけもないことより、シール部材１３５とθ軸モータ９６との間に少しでも隙間が空けば、クーラント等が重力で下側まで滴ってしまう。したがって、この蛇腹９６Ａを設ける意義は十分にある。

前記のごとく構成された本実施の形態のウェーハ面取り装置４０の作用は次の通りである。

本実施の形態のウェーハ面取り装置４０では、チャックテーブル１００で吸着保持したウェーハＷを回転させながら、高速回転する外周加工砥石１０８の溝１０８ａに押し当てることにより、ウェーハＷの周縁を面取り加工する。

この際、ウェーハＷと外周加工砥石１０８の溝１０８ａとの接触部には、クーラントノズル１３０、１３０からクーラントが供給されるが、チャックテーブル１００の移動用に形成したオイルパン１３２の開口部１３２Ａは、図５及び図６に示されるように、上段カバー１３４及び下段カバー１３６によって隙間なくシーリングされているため、クーラントが液よけシート１３８から回り込んで来ても、チャックテーブル１００の移動機構にクーラントが掛かるようなことはない。

上段カバー１３４及び下段カバー１３６の水平方向の移動は、先ず、上段カバー１３４が、チャックテーブル１００（θ軸モータ９６）の移動に追従してスライド移動し、移動距離が大きくなり、上段カバー１３４の第１スカート部１３４Ｂがシール部材１３７に当接すると、これに追従して下段カバー１３６がスライド移動する。

また、チャックテーブル１００（θ軸モータ９６）が上下方向に移動する際には、シール部材１３５とθ軸モータ９６との間で摺動がなされ、上段カバー１３４及び下段カバー１３６の上下方向の移動はない。

この上段カバー１３４及び下段カバー１３６等の組み合わせは、シンプルな構成であるため、装置を大型化させずに、クーラント等に対して完全にシーリングすることができる。

また、上段カバー１３４及び下段カバー１３６をステンレス鋼、ガラス繊維強化樹脂等で形成すれば、加工中にウェーハＷが割れて、その破片が飛び散ったような場合でも、破片が接触して水密状態が破れるようなこともない。

以上、本発明に係るウェーハ面取り装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。たとえば、本実施形態では、上段カバー１３４及び下段カバー１３６等の組み合わせの２段カバーの構成としたが、３段カバーの構成又は４段以上のカバーの構成とすることもできる。このような多段のカバーよりなる構成とすれば、構成は多少複雑となるが、チャックテーブル１００（θ軸モータ９６）の移動量が大きくなっても十分に対応できる。

また、本実施の形態のウェーハ面取り装置４０は、チャックテーブル１００が前後、左右、上下に移動してウェーハＷを面取り加工する構成であるが、チャックテーブル１００が前後のみ、又は、左右のみ移動する構成のウェーハ面取り装置にも本発明を適用することができる。

ウェーハ面取り装置の構成を示す側面図図１のＡ−Ａ断面図図１のＢ−Ｂ断面図外周加工ユニット及びノッチ加工ユニットの構成を示す正面図クーラント供給ユニット及びカバー部材の構成を示す正面図図５の６−６線矢視図

符号の説明

４０…ウェーハ面取り装置、４２…ウェーハ送りユニット、４４…外周加工ユニット、４６…ノッチ加工ユニット、４８…クーラント供給ユニット、６４…Ｙ軸モータ、７８…Ｘ軸モータ、９６…θ軸モータ、１００…チャックテーブル、１０４…外周モータ、１０８…外周加工砥石、１１８…ノッチモータ、１２２…ノッチ加工砥石、１２４…取付板、１３０…クーラントノズル、１３２…オイルパン、１３２Ａ…開口部、１３４…上段カバー（第１のカバー部材）、１３６…下段カバー（第２のカバー部材）、１３８…液よけシート、Ｗ…ウェーハ

Claims

回転する砥石に回転するウェーハの周縁を接触させて面取り加工するウェーハ面取り装置において、
前記砥石を回転させる砥石回転手段と、
前記ウェーハを保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルを回転させるチャックテーブル回転手段と、
前記チャックテーブル回転手段を移動させて前記ウェーハの周縁を前記砥石に接触させるチャックテーブル移動手段と、
前記砥石と前記ウェーハとの接触部に研削液を供給する研削液供給手段と、
前記研削液を回収し、底部に前記チャックテーブル回転手段が移動可能な所定高さＨ２の土手部を備えた開口部を有するオイルパンと、
環状の部材であって、その内周縁が前記チャックテーブル回転手段に上下方向に移動自在、かつ水密状態で嵌着されるとともに、その外周縁より下方に延設される所定高さＨ１の第１スカート部を備える第１のカバー部材と、
前記第１のカバー部材の下方に配される環状の部材であって、その内周のサイズが前記第１のカバー部材の外周のサイズより小であり、その内周縁より上方に延設される前記所定高さＨ１と略同一高さの土手部を備えるとともに、その外周縁より下方に延設される前記所定高さＨ２と略同一高さであるとともに内周のサイズが前記オイルパンの開口部のサイズより大である第２スカート部を備える第２のカバー部材と、
からなることを特徴とするウェーハ面取り装置。
前記第２のカバー部材の下方に配される環状の部材であって、その内周のサイズが前記第２のカバー部材の外周のサイズより小であり、その内周縁より上方に延設される前記所定高さＨ２と略同一高さの土手部を備えるとともに、その外周縁より下方に延設される所定高さＨ３の第３スカート部を備える第３のカバー部を備える請求項１に記載のウェーハ面取り装置。
前記第３のカバー部材のサイズが前記オイルパンの開口部のサイズより大であり、前記オイルパンの開口部の周縁には前記所定高さＨ３より大きい高さの土手部を備える請求項２に記載のウェーハ面取り装置。