KR20210157860A - 절삭 장치 - Google Patents

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KR1020210063763A
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토모야 후지타
유이치 키타즈미
히로시 노무라
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 마운트에 알루미늄이 부착됨으로써 발생하는 문제를 간단하게 해결할 수 있도록 한다.
(해결 수단) 절삭 장치로서, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 중앙에 개구를 가지는 환형 베이스의 외주에 환형의 지석이 고정된 허브 블레이드가 장착되고, 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛을 구비하고, 절삭 유닛은, 스핀들과 스핀들의 선단에 고정되고, 스핀들의 축심을 중심으로 하는 환형의 연결면과, 선단의 수나사를 구비하는 마운트 베이스와, 마운트 베이스의 연결면에 연결되고, 허브 블레이드의 환형 베이스의 한쪽의 면을 지지하는 환형의 지지면을 가지는 링형의 링 마운트와, 링 마운트를 연결면에 연결하는 연결 기구와, 마운트 베이스의 수나사에 나사 결합하는 너트를 포함한다.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}
본 발명은, 절삭 장치에 관한 것이다.
특허 문헌 1, 특허 문헌 2, 및 특허 문헌 3에 개시된 바와 같이, 절삭 장치는, 허브 블레이드를 스핀들의 선단에 고정하여, 스핀들을 회전시키는 것에 의해서 회전하는 허브 블레이드를 이용하여, 척 테이블에 유지된 웨이퍼를 절삭 가공한다.
허브 블레이드는, 환형의 알루미늄 베이스(基台)의 외주 부분에 지석을 전착(電着)시킨 후, 알루미늄 베이스의 외주 부분을 제거하여 지석만으로 하여 환형의 지석을 형성하고 있다. 그 때문에, 알루미늄 베이스에는, 코팅 등이 실시되어 있지 않다.
그리고, 스핀들에 허브 블레이드를 장착할 때는, 스핀들의 선단에 고정한 마운트에 허브 블레이드를 배치하여 너트를 마운트의 선단에 단단히 조임으로써, 너트와 마운트에 의해서 알루미늄 베이스를 사이에 두고 고정하고 있다.
일본 공개 특허 공보 2019-150906호 공보 일본 공개 특허 공보 2000-190155호 공보 일본 공개 특허 공보 2000-061804호 공보
허브 블레이드의 장착에 의해서 알루미늄이 마운트에 부착하는 경우가 있다. 알루미늄이 마운트에 부착된 상태로, 마운트에 다른 절삭 블레이드를 장착하면, 절삭 블레이드가 편심(偏心)되고, 그 상태로 회전하여, 웨이퍼를 절삭 가공했을 때에 웨이퍼에 형성되는 커프 폭이 커진다고 하는 문제가 있다.
그 때문에, 마운트의 지지면을, 지석을 이용하여 연삭하여 알루미늄을 제거하는 단면 수정을 실시하고 있다. 이 단면 수정은, 마운트의 지지면을 연삭하기 위한 지석을 척 테이블에 장착하여, 스핀들을 축심 방향으로 이동시키고, 마운트의 지지면을 지석에 접촉시키며, 지지면에 평행한 방향으로 마운트와 지석을 상대적으로 이동시키는 것과 같이 다수의 단계를 포함하기 때문에 시간이 걸린다고 하는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 마운트에 알루미늄이 부착됨으로써 발생하는 문제를 간단하게 해결할 수 있는 절삭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 절삭 장치로서, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 중앙에 개구를 가지는 환형 베이스의 외주에 환형의 지석이 고정되어 있는 허브 블레이드가 장착되고, 상기 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛을 구비하고, 상기 절삭 유닛은, 스핀들과, 상기 스핀들의 선단에 고정되고, 상기 스핀들의 축심을 중심으로 하는 환형의 연결면과, 선단의 수나사를 구비하는 마운트 베이스와, 상기 마운트 베이스의 상기 연결면에 연결되고, 상기 허브 블레이드의 상기 환형 베이스의 한쪽의 면을 지지하는 환형의 지지면을 가지는 링형의 링 마운트와, 상기 링 마운트를 상기 연결면에 연결하는 연결 기구와, 상기 마운트 베이스의 상기 수나사에 나사 결합하는 너트를 포함하고, 상기 수나사에 나사 결합시킨 상기 너트와 상기 링 마운트로 상기 허브 블레이드의 상기 환형 베이스를 협지 고정하는 절삭 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 연결 기구는, 상기 마운트 베이스의 상기 연결면으로부터 상기 스핀들의 축심의 방향으로 돌출하는 목과, 상기 목의 선단에 형성되는 머리를 포함한 핀과, 상기 링 마운트에 형성되어 상기 핀의 상기 머리가 삽입되는 구멍과, 상기 구멍에 상기 핀이 삽입된 상태로 상기 링 마운트와 상기 마운트 베이스를 상대적으로 상기 스핀들의 축심을 축으로 회전 가능하게 하고 상기 구멍으로부터 회전 방향으로 연결되어 상기 구멍의 직경보다 좁은 폭으로 형성되는 원호 형상의 긴 구멍을 구비하고, 상기 링 마운트에 형성된 상기 구멍에 상기 핀을 삽입하여, 상기 링 마운트와 상기 마운트 베이스를 상대적으로 회전시키는 것에 의해, 상기 마운트 베이스와 상기 링 마운트의 연결을 가능하게 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 연결 기구는, 상기 링 마운트 또는 상기 마운트 베이스의 한쪽에 배치되는 자석과, 상기 링 마운트 또는 상기 마운트 베이스 중 상기 자석이 배치되지 않는 쪽에 배치되는 자성체를 구비하고, 자력(磁力)으로 상기 링 마운트를 상기 마운트 베이스에 연결시킨다.
또한, 바람직하게는, 상기 연결 기구는, 상기 링 마운트와 상기 마운트 베이스의 양쪽에 배치되는 자석을 가지고, 자력으로 상기 링 마운트를 상기 마운트 베이스에 연결시킨다.
또한, 바람직하게는, 상기 연결 기구는, 상기 링 마운트의 환형의 내벽면을 지지하는 내벽 지지부를 구비하고, 상기 내벽 지지부에 의해 상기 연결면에 상기 링 마운트를 연결시킨다.
상술한 본 발명의 일 측면에서는, 마운트 베이스의 허브 블레이드를 지지하는 지지면을 가지는 외주 부분의 링 마운트를 착탈식으로 하고 있다. 그 때문에, 허브 블레이드의 환형 베이스의 알루미늄이 마운트에 부착했을 때에, 링 마운트만을 분리하여 교환하는 것에 의해서, 마운트에 알루미늄이 부착함으로써 발생하는 문제를 간단하게 해결할 수 있다. 즉, 마운트 베이스에 부착한 알루미늄에 의해서 허브 블레이드가 편심하는 것에 의해 커프가 넓어져 버린다고 하는 문제를, 간단하게 해결할 수 있다.
또한, 링 마운트를 통해 절삭 블레이드를 고정하고 있기 때문에, 링 마운트에는 알루미늄이 부착된다. 이 링 마운트에 부착된 알루미늄을 제거하는 것에 의해, 링 마운트의 재이용이 가능하다. 또한, 마운트 베이스에 링 마운트를 연결시키고 있으므로, 허브 블레이드의 장착 작업은, 종래와 같이 실시할 수 있다.
도 1은 절삭 장치의 사시도이다.
도 2는 절삭 유닛의 분해 사시도이다.
도 3은 절삭 유닛의 분해 단면도이다.
도 4는 링 마운트의 사시도이다.
도 5는 링 마운트의 부분 확대 사시도이다.
도 6은 링 마운트에 핀이 삽입되어서 링 마운트가 회전했을 때의 모습을 나타내는 사시도이다.
도 7은 링 마운트에 마운트 베이스가 연결된 모습을 나타내는 정면도이다.
도 8은 절삭 유닛의 단면도이다.
도 9는 링 마운트에 마운트 베이스가 연결된 모습을 나타내는 정면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 관하여 설명한다.
1　절삭 장치의 구성
도 1에 나타내는 절삭 장치(1)는, 절삭 유닛(절삭 수단)(5)을 이용하여 피가공물(140)을 절삭 가공하는 절삭 장치이다. 피가공물(140)이 환형의 프레임(141)의 내측에 위치되어 있는 상태로, 프레임(141)의 하면과 피가공물(140)의 하면에 테이프(142)가 첩착되는 것에 의해, 피가공물(140), 프레임(141), 및 테이프(142)가 일체화된 워크 유닛(14)이 형성된다. 피가공물(140)의 상면(1400)에는, 서로 직교하는 복수의 분할 예정 라인(1402)이 형성되어 있고, 분할 예정 라인(1402)에 의해서 구획된 영역에는, 디바이스(1401)가 배치되어 있다. 이하, 절삭 장치(1)의 구성에 관하여 설명한다.
절삭 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 대략 L자형 모양으로 형성된 베이스(10)를 구비하고 있다. 베이스(10)의 +X 방향 측 그리고 -Y 방향 측의 부분은, 카세트 스테이지(100)로 되어 있고, 카세트 스테이지(100)에는, 카세트(12)가 재치되어 있다. 카세트(12)에는, 워크 유닛(14)이 수용되어 있다.
베이스(10) 상에는, 척 테이블(2)이 배치되어 있다. 척 테이블(2)은, 원판형의 흡인부(20)와, 흡인부(20)를 지지하는 환형의 프레임(21)을 구비하고 있다. 흡인부(20)의 상면은, 워크 유닛(14)이 유지되는 유지면(200)으로 되어 있다.
척 테이블(2)에 인접한 위치에는, 척 테이블(2)을 사방에서 둘러싸도록 하여 4 개의 클램프(23)가 배치되어 있다. 유지면(200)에 피가공물(140)을 재치하여, 프레임(141)을 4 개의 클램프(23)를 이용하여 사방에서 협지하는 것에 의해, 워크 유닛(14)을 척 테이블(2)로 유지할 수 있다.
척 테이블(2)은, 도시하지 않는 회전 기구(회전 수단)에 접속되어 있다. 상기 회전 기구를 이용하는 것에 의해, 척 테이블(2)을 회전시킬 수 있다.
또한, 척 테이블(2)은, 도시하지 않는 수평 이동 기구(X축 이동 기구, 수평 이동 수단)에 접속되어 있다. 상기 수평 이동 기구를 이용하는 것에 의해, 척 테이블(2)을 X축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 예컨대, 척 테이블(2)의 유지면(200)에 피가공물(140)이 유지되어 있는 상태로, 상기 수평 이동 기구를 이용하여 척 테이블(2)을 X축 방향으로 수평 이동시키는 것에 의해, 피가공물(140)을 X축 방향으로 이동시키는 것이 가능하게 되어 있다.
척 테이블(2)의 주위에는 커버(27)가 배치되어 있고, 커버(27)는, 신축 가능한 벨로우즈(28)에 연결되어 있다.
척 테이블(2)이 X축 방향으로 이동하면, 커버(27)가 척 테이블(2)과 일체적으로 X축 방향으로 이동하여, 벨로우즈(28)가 신축하게 된다.
베이스(10)의 +X 방향 측 그리고 +Y 방향 측에는, 절삭 가공 후의 피가공물(140)을 세정하는 세정 유닛(세정 수단)(13)이 설치되어 있다. 세정 유닛(13)은, 피가공물(140)을 유지하는 스피너 테이블(130)과, 스피너 테이블(130)의 상면을 향해서 세정수를 분사하는 세정 노즐(131)을 구비하고 있다.
스피너 테이블(130)의 상면에 피가공물(140)이 유지된 상태로, 스피너 테이블(130)을 회전시키면서, 세정 노즐(131)로부터 세정수를 분사하는 것에 의해서, 피가공물(140)을 유수(流水) 세정할 수 있다.
베이스(10)의 -X 방향 측에는, L자 칼럼(11)이 입설되어 있다. L자 칼럼(11)의 +X 방향 측의 측면에는, 절삭 유닛(5)을 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 기구(Y축 이동 수단)(3)가 배치되어 있다.
Y축 이동 기구(3)는, Y축 방향으로 연장하여 설치된 볼 나사(30)와, 볼 나사(30)를 회전시키는 도시하지 않는 Y축 모터와, 볼 나사(30)에 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(31)과, 측부의 너트가 볼 나사(30)에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일(31)에 슬라이딩 접촉하는 가동판(33)을 구비하고 있다.
도시하지 않는 Y축 모터를 이용하여 볼 나사(30)를 회전시키면, 가동판(33)이 가이드 레일(31)에 안내되면서 Y축 방향으로 수평 이동한다. 가동판(33)을 Y축 방향으로 수평 이동시키는 것에 의해, 절삭 유닛(5)을 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다.
가동판(33)의 +X 방향 측의 측면에는, 절삭 유닛(5)을 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동 기구(Z축 이동 수단)(4)가 배치되어 있다. Z축 이동 기구(4)는, Z축 방향으로 연장하여 설치된 볼 나사(40)와, 볼 나사(40)를 회전시키는 Z축 모터(42)와, 볼 나사(40)에 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(41)과, 측부의 너트가 볼 나사(40)에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일(41)에 슬라이딩 접촉하는 승강판(43)을 구비하고 있다. 승강판(43)에는, 절삭 유닛(5)이 지지되고 있다.
Z축 모터(42)를 이용하여 볼 나사(40)를 회전시키면, 승강판(43)이 가이드 레일(41)에 안내되면서 Z축 방향으로 이동하게 된다. 승강판(43)을 Z축 방향으로 승강 이동시키는 것에 의해, 승강판(43)에 지지되어 있는 절삭 유닛(5)을 Z축 방향으로 승강 이동시킬 수 있다.
승강판(43)의 +X 방향 측의 측면에는, 촬상 유닛(촬상 수단)(16)이 지지되고 있다. 촬상 유닛(16)을 이용하여 피가공물(140)의 분할 예정 라인(1402)을 촬상하는 것에 의해, 촬상된 분할 예정 라인(1402)에 기초하여 절삭 유닛(5)의 위치 맞춤을 실시하는 것이 가능하게 되어 있다.
절삭 유닛(5)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 스핀들(50)과, 스핀들(50)의 선단에 고정되는 마운트 베이스(53)와, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)에 연결되는 링 마운트(58)와, 링 마운트(58)를 통해 마운트 베이스(53)에 장착되는 허브 블레이드(54)를 마운트 베이스(53) 측으로 누르는 너트(56)와, 고정구(留め具)(57)를 구비하고 있다.
스핀들(50)은, 예컨대, 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 스핀들 하우징(51)에 보호되어 있다. 스핀들(50)은, Y축 방향의 축심(55)을 축으로 하여 스핀들(50)을 회전시키는 도시하지 않는 모터에 접속되어 있다. 스핀들(50)의 선단에는, 암나사(500)가 형성되어 있다.
허브 블레이드(54)는, 중앙에 개구(540)를 가지는 알루미늄제의 환형 베이스(541)와, 환형 베이스(541)의 외주에 고정된 환형의 지석(542)을 구비하고 있다. 지석(542)은, 환형 베이스(541)의 외주 부분에 전착되어 있다.
마운트 베이스(53)는, 원판형의 플랜지부(530)와, 플랜지부(530)의 중앙에 형성되어 -Y 방향 측으로 돌출된 원기둥 형상의 보스부(533)를 구비하고 있다.
플랜지부(530)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 직경 방향 최외주 측에, +Y 방향 측으로 오목한 오목부(531)를 가지고 있고, 오목부(531)의 -Y 방향 측의 면은, 링 마운트(58)가 연결되는 환형의 연결면(532)이 되고 있다. 연결면(532)의 중심은, 도 2에 나타낸 스핀들(50)의 축심(55)에 일치하고 있다. 또한, 보스부(533)의 외 측면의 선단에는, 수나사(534)가 형성되어 있다.
링 마운트(58)는, 링형으로 형성된 금속 부재이고, 환형 베이스(541)의 한쪽의 면인 피지지면(543)을 지지하는 지지면(580)과, 연결면(532)에 대면하는 피연결면(582)을 가지고 있다.
너트(56)의 내측면에는, 마운트 베이스(53)의 수나사(534)에 대응하는 암나사(560)가 형성되어 있다. 또한, 고정구(57)에는, 스핀들(50)의 암나사(500)에 대응하는 수나사(570)가 형성되어 있다.
절삭 유닛(5)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 링 마운트(58)를 연결면(532)에 연결시키는 연결 기구(59)를 구비하고 있다. 연결 기구(59)는, 예컨대, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)으로부터 스핀들(50)의 축심(55)의 방향(-Y 방향)으로 돌출하는 목(592)과, 목(592)의 선단에 형성된 머리(593)를 가지는 2 개의 핀(591)을 구비하고 있다.
2 개의 핀(591)은, 예컨대, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)의 원주 상에 동일한 간격을 두고 배치되어 있고, 2 개의 핀(591)을 연결한 직선이 마운트 베이스(53)의 연결면(532)의 중심을 통과하도록, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)에 핀(591)이 고정되어 있다. 핀(591)의 머리(593)의 외직경은, 목(592)의 외직경보다 대직경으로 형성되어 있다.
또한, 연결 기구(59)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 링 마운트(58)에 형성된 구멍(594)과, 구멍(594)으로부터 링 마운트(58)의 회전 방향을 향해 원호 형상으로 연장되어서 형성된 긴 구멍(595)을 구비하고 있다. 구멍(594)과 긴 구멍(595)은, 피연결면(582)으로부터 링 마운트(58)의 두께 방향으로 움푹 패여 있으며, 링 마운트(58)의 원주 상에 동일한 간격을 두고 각각 4 개씩 형성되어 있다.
도 5에는, 구멍(594) 및 긴 구멍(595)의 특징을 나타내기 위해서 부분적으로 확대된 링 마운트(58)와 핀(591)이 나타나 있다. 구멍(594)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 핀(591)의 머리(593)를 삽입 가능한 크기의 외직경을 가지고 있고, 또한, 머리(593) 및 목(592)을 수용 가능한 Y축 방향의 깊이를 가지고 있다. 긴 구멍(595)의 원호 방향에 직교하는 방향의 폭은, 구멍(594)의 직경보다 좁아지고 있다.
긴 구멍(595)은, 피연결면(582) 측에 형성된 목 슬라이딩 홈(5953)과, 목 슬라이딩 홈(5953)보다 링 마운트(58)의 두께 방향 안쪽(-Y 방향 측)에 형성된 머리 슬라이딩 홈(5954)으로 구성되어 있다. 머리 슬라이딩 홈(5954)의 홈 폭은 제1 길이(5950)이고, 목 슬라이딩 홈(5953)의 홈 폭은 제2 길이(5952)이다. 제1 길이(5950)는, 머리(593)의 원의 외직경보다 약간 긴 길이고, 제2 길이(5952)는, 머리(593)의 외직경보다 작고, 또한 목(592)의 외직경보다 약간 큰 길이이다.
또한, 머리 슬라이딩 홈(5954)의 깊이인 길이(5951)는, 머리(593)의 두께(5931)보다 약간 큰 길이로 되어 있다.
연결 기구(59)는, 핀(591), 핀(591)에 계합되는 구멍(594), 및 긴 구멍(595)에 의해서, 이른바 후크 실링(Hook Sealing) 부재를 구성하고 있다.
링 마운트(58)와 마운트 베이스(53)를 연결시킬 때에는, 도 4에 나타낸 링 마운트(58)의 구멍(594)에 핀(591)의 머리(593) 및 목(592)을 삽입하여 링 마운트(58)를 마운트 베이스(53)에 대해서 상대적으로 회전시킨다. 그러면, 도 6에 도시한 바와 같이, 핀(591)의 머리(593)가 긴 구멍(595)의 머리 슬라이딩 홈(5954)을 슬라이딩하고, 긴 구멍(595)의 구멍(594)의 반대측의 단부까지 이동한다. 이에 따라, 도 7에 도시한 바와 같이, 마운트 베이스(53)에 링 마운트(58)가 이른바 실링 고정된 상태가 된다. 이때, 도 5에 나타난 바와 같이, 핀(591)의 머리(593)의 외직경보다 긴 구멍(595)의 제2 길이(5952)가 작기 때문에, 핀(591)은 긴 구멍(595)에 대해서 +Y 방향 측으로 벗어나지 않는 상태가 되어 있다.
또한, 연결 기구(59)에 구비된 핀(591), 구멍(594) 및 긴 구멍(595)의 수는, 각각 상기의 수로 한정되는 것은 아니다.
도 8에는, 절삭 유닛(5)의 각종의 부재가 조합되어서 감합하여 장착된 상태가 나타나 있다. 도 8에 있어서는, 마운트 베이스(53)에 링 마운트(58)가 연결된 상태로, 스핀들(50)의 선단에 마운트 베이스(53)가 고정되어 있다. 또한, 허브 블레이드(54)의 환형 베이스(541)가 마운트 베이스(53)의 보스부(533)에 관통되어서, 링 마운트(58)의 지지면(580)에 지지되고 있다. 또한, 허브 블레이드(54)는, 링 마운트(58)의 지지면(580)의 반대측(-Y 방향 측)으로부터 너트(56)에 의해서 눌려져 있고, 보스부(533)의 수나사(534)에 너트(56)의 암나사(560)가 나사 결합되어 있다. 즉, 링 마운트(58)와 너트(56)에 의해서 허브 블레이드(54)가 끼워져 있다. 그리고, 고정구(57)의 수나사(570)가 스핀들(50)의 암나사(500)에 나사 결합하여, 마운트 베이스(53), 허브 블레이드(54), 및 너트(56)가 일체로 되어 있다.
2　절삭 장치의 동작
상기의 절삭 장치(1)를 이용하여 피가공물(140)을 절삭 가공할 때의 절삭 장치(1)의 동작에 관하여, 이하에 설명한다.
절삭 장치(1)를 이용하여 피가공물(140)을 절삭 가공할 때에는, 우선, 도 1에 나타난 카세트(12)에 수용되어 있는 워크 유닛(14)을 한 장 취출하여, 척 테이블(2)의 유지면(200)에 재치한다. 그리고, 프레임(141)을 4 개의 클램프(23)를 이용하여 사방에서 협지하는 것에 의해, 워크 유닛(14)을 척 테이블(2)에 고정한다. 이에 따라, 피가공물(140)이 척 테이블(2)의 유지면(200)에 유지된다.
다음에, 피가공물(140)이 척 테이블(2)의 유지면(200)에 유지되어 있는 상태로, 도시하지 않는 수평 이동 기구를 이용하여 척 테이블(2)을 -X 방향으로 이동시켜서, 피가공물(140)을 촬상 유닛(16)의 하방에 위치시킨다. 그리고, 촬상 유닛(16)을 이용하여 분할 예정 라인(1402)을 촬상함과 함께, 촬상된 분할 예정 라인(1402)의 화상에 기초하여, Y축 이동 기구(3)를 Y축 방향으로 적절하게 이동시켜서, 분할 예정 라인(1402)에 대한 절삭 유닛(5)의 Y축 방향의 위치 맞춤을 실시한다.
또한, 도시하지 않는 모터 등을 이용하여 스핀들 하우징(51)에 수용되어 있는 스핀들(도 1에 있어서는 도시하지 않음)을 회전시킨다. 이에 따라, 허브 블레이드(54)가 회전한다.
그리고, 허브 블레이드(54)가 회전하고 있는 상태로, Z축 이동 기구(4)를 이용하여 절삭 유닛(5)을 -Z 방향으로 이동시켜서, 회전하는 허브 블레이드(54)를 피가공물(140)의 분할 예정 라인(1402)에 접촉시킴과 함께, 도시하지 않는 수평 이동 기구를 이용하여 척 테이블(2)에 유지되어 있는 피가공물(140)을 -X 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 피가공물(140)과 허브 블레이드(54)가 X축 방향으로 상대 이동하여, 피가공물(140)의 분할 예정 라인(1402)을 따라서 피가공물(140)이 절삭된다.
1 개의 분할 예정 라인(1402)의 절삭을 실시한 후, 일단, Z축 이동 기구(4)를 이용하여 절삭 유닛(5)을 +Z 방향으로 상승시켜서, 허브 블레이드(54)를 피가공물(140)의 상방으로 퇴피시키는 것과 함께, 상기 수평 이동 기구를 이용하여 척 테이블(2)을 +X 방향으로 이동시켜서, 절삭 가공의 개시 위치에 위치시킨다.
그리고, 예컨대, 인접한 분할 예정 라인(1402)의 간격만큼 Y축 이동 기구(3)를 이용하여 절삭 유닛(5)을 Y축 방향으로 이동시키고 나서, 마찬가지로 분할 예정 라인(1402)에 대해서 허브 블레이드(54)를 절입시키는 것에 의해, 인접한 분할 예정 라인(1402)을 절삭 가공한다.
이와 같이 하여, 피가공물(140)에 형성되어 있는 동일 방향의 분할 예정 라인(1402)을 모두 절삭한 후에, 예컨대, 도시하지 않는 회전 기구를 이용하여 척 테이블(2)을 예컨대 90 도 회전시키고 나서, 마찬가지로 절삭 가공을 실시하는 것에 의해서, 피가공물(140)의 모든 분할 예정 라인(1402)에 대해 절삭 가공을 실시한다. 이에 따라, 피가공물(140)에 형성되어 있는 모든 분할 예정 라인(1402)이 절삭된다.
절삭 장치(1)에 구비하는 절삭 유닛(5)에 있어서는, 도 8에 도시한 바와 같이, 허브 블레이드(54)의 환형 베이스(541)와 마운트 베이스(53)와의 사이에 링 마운트(58)가 배치되어 있기 때문에, 환형 베이스(541)의 알루미늄이 링 마운트(58)에 부착된다. 따라서, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)에 알루미늄이 부착되는 것을 방지할 수 있다.
종래는, 미리 정해진 횟수의 절삭 가공을 한 후에 마운트 베이스(53)를 교환하고 있었지만, 절삭 유닛(5)에 있어서는, 링 마운트(58)를 새로운 것과 교환한다. 링 마운트(58)는 마운트 베이스(53)보다 저가이기 때문에 경제적이라고 하는 장점이 있다.
또한, 절삭 유닛(5)을 이용하여 미리 정해진 횟수의 절삭 가공한 후, 링 마운트(58)를 일단 분리하여 세정하는 것도 가능하게 되어 있다.
절삭 장치(1)는, 상기와 같은 연결 기구(59)를 대신해서, 도 9에 나타내는 내벽 지지부(596)를 가지는 제2 연결 기구(590)를 구비하는 것이어도 좋다. 내벽 지지부(596)는, 마운트 베이스(53)의 외주 부분에 설치된 제1 손잡이부(5960) 및 제1 손잡이부(5960)를 지지하는 제1 지지 부재(5961), 및 마운트 베이스(53)의 중심에 대해 제1 손잡이부(5960)의 반대측에 설치된 제2 손잡이부(5962) 및 제2 손잡이부(5962)를 지지하는 제2 지지 부재(5963)를 구비하고 있다. 제1 손잡이부(5960)와 제2 손잡이부(5962)는, 양자를 연결한 직선이 마운트 베이스(53)의 중심을 통과하도록 위치되어 있다.
제1 손잡이부(5960) 및 제2 손잡이부(5962)의 내부에는, 도시하지 않는 용수철 기구 등이 배치되어 있다.
제1 손잡이부(5960)에 외력이 가해지지 않은 상태에서는, 제1 지지 부재(5961)는, 마운트 베이스(53)의 외주로부터 -X 방향으로 돌출하고 있다. 이 상태로부터 제1 손잡이부(5960)에 +X 방향의 힘을 가하여 제1 손잡이부(5960)를 +X 방향으로 누르면, 제1 지지 부재(5961)가 +X 방향으로 이동하여 마운트 베이스(53)의 내측에 수용된다. 그리고, 제1 손잡이부(5960)에 가해지고 있던 +X 방향의 힘을 해제하면, 제1 손잡이부(5960) 및 제1 지지 부재(5961)가 -X 방향으로 이동하여 원래의 위치로 되돌려진다.
마찬가지로, 제2 손잡이부(5962)에 외력이 가해지지 않은 상태에서는, 제2 지지 부재(5963)는 마운트 베이스(53)의 외주로부터 +X 방향으로 돌출된 상태에 있다. 이 상태로부터 제2 손잡이부(5962)를 -X 방향으로 누르면, 제2 지지 부재(5963)가 -X 방향으로 이동하여, 제2 지지 부재(5963)가 마운트 베이스(53)의 내측에 수용된다. 제2 손잡이부(5962)에 가해지던 -X 방향의 힘을 해제하면, 제2 손잡이부(5962) 및 제2 지지 부재(5963)가 +X 방향으로 이동하여 원래의 위치로 되돌려진다.
도 9에 있어서는, 제1 지지 부재(5961)가 마운트 베이스(53)의 외주로부터 -X 방향으로 돌출되어 있고, 마찬가지로 제2 지지 부재(5963)가 마운트 베이스(53)의 외주로부터 +X 방향으로 돌출하고 있는 상태가 나타나 있다. 이에 따라, 링 마운트(58)의 내벽면(581)이 제1 지지 부재(5961) 및 제2 지지 부재(5963)에 의해서 지지되어서 마운트 베이스(53)와 링 마운트(58)가 연결되어 있다.
예컨대, 링 마운트(58)의 교환 시 등에, 링 마운트(58)를 마운트 베이스(53)로부터 분리할 때에는, 제1 손잡이부(5960)를 +X 방향으로 눌러서 제1 지지 부재(5961)를 마운트 베이스(53)의 내측에 수용함과 함께, 제2 손잡이부(5962)를 -X 방향으로 눌러서 제2 지지 부재(5963)를 마운트 베이스(53)의 내측에 수용한다. 이에 따라, 링 마운트(58)의 내벽면(581)이 제1 지지 부재(5961) 및 제2 지지 부재(5963)에 지지되고 있는 상태로부터 해제되어서, 링 마운트(58)를 마운트 베이스(53)로부터 분리할 수 있다.
연결 기구(59)는, 링 마운트(58) 또는 마운트 베이스(53)의 어느 한쪽 또는 양쪽에 도시하지 않는 자석이 배치되고, 링 마운트(58), 및 마운트 베이스(53) 중 상기 자석이 배치되어 있지 않은 쪽에 자성체가 배치되어 있는 것이어도 좋다.
즉, 예컨대, 도 2에 나타낸 링 마운트(58)에 자석이 배치되어 있고, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)에 자성체가 배치되어 있는 구성이어도 좋다. 또한, 예컨대, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)에 자석이 배치되어 있고, 링 마운트(58)에 자성체가 배치되어 있는 구성이어도 좋다. 또한, 예컨대, 링 마운트(58)와, 마운트 베이스(53)의 연결면(532)의 양쪽에 자석이 배치되어 있는 구성이어도 좋다. 이러한 구성에 있어서는, 링 마운트(58)를 자력에 의해서 마운트 베이스(53)에 연결시킬 수 있다.
1: 절삭 장치 10: 베이스 100: 카세트 스테이지　11: L자 칼럼
12: 카세트　13: 세정 유닛 130: 스피너 테이블　131: 세정 노즐
14: 워크 유닛 140: 피가공물　141: 프레임　142: 테이프
1400: 상면　1401: 디바이스　1402: 분할 예정 라인　16: 촬상 유닛
2: 척 테이블 20: 흡인부 200: 유지면　21: 프레임
23: 클램프　27: 커버 28: 벨로우즈
3: Y축 이동 기구 30: 볼 나사　31: 가이드 레일　33: 가동판
4: Z축 이동 기구 40: 볼 나사　41: 가이드 레일　42: Z축 모터
43: 승강판　5: 절삭 유닛 50: 스핀들 500: 암나사
51: 스핀들 하우징　53: 마운트 베이스
530: 플랜지부　531: 오목부　532: 연결면　533: 보스부
534: 수나사　54: 허브 블레이드 540: 개구　541: 환형 베이스
542: 지석 543: 피지지면　55: 회전축　56: 너트
560: 암나사　57: 고정구 570: 수나사　58: 링 마운트
580: 지지면　581: 내벽면
59: 연결 기구 591: 핀　592: 목　593: 머리　5931: 머리의 두께
594: 구멍　595: 긴 구멍 5950: 제1 길이 5951: 두께 방향의 길이
5952: 제2 길이　5953: 목 슬라이딩 홈 5954: 머리 슬라이딩 홈
590: 제2 연결 기구
596: 내벽 지지부 5960: 제1 손잡이부　5961: 제1 지지 부재
5962: 제2 손잡이부　5963: 제2 지지 부재

Claims (5)

  1. 절삭 장치로서,
    피가공물을 유지하는 척 테이블과,
    중앙에 개구를 가지는 환형 베이스의 외주에 환형의 지석이 고정된 허브 블레이드가 장착되고, 상기 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛
    을 구비하고,
    상기 절삭 유닛은,
    스핀들과,
    상기 스핀들의 선단에 고정되고, 상기 스핀들의 축심을 중심으로 하는 환형의 연결면과, 선단의 수나사를 구비하는 마운트 베이스와,
    상기 마운트 베이스의 상기 연결면에 연결되고, 상기 허브 블레이드의 상기 환형 베이스의 한쪽의 면을 지지하는 환형의 지지면을 가지는 링형의 링 마운트와,
    상기 링 마운트를 상기 연결면에 연결하는 연결 기구와,
    상기 마운트 베이스의 상기 수나사에 나사 결합하는 너트를 포함하고,
    상기 수나사에 나사 결합시킨 상기 너트와 상기 링 마운트로 상기 허브 블레이드의 상기 환형 베이스를 협지 고정하는 절삭 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연결 기구는,
    상기 마운트 베이스의 상기 연결면으로부터 상기 스핀들의 축심의 방향으로 돌출하는 목과, 상기 목의 선단에 형성되는 머리를 포함한 핀과,
    상기 링 마운트에 형성되어 상기 핀의 상기 머리가 삽입되는 구멍과,
    상기 구멍에 상기 핀이 삽입된 상태로 상기 링 마운트와 상기 마운트 베이스를 상대적으로 상기 스핀들의 축심을 축으로 회전 가능하게 하고 상기 구멍으로부터 회전 방향으로 연결되어 상기 구멍의 직경보다 좁은 폭으로 형성되는 원호 형상의 긴 구멍을 구비하고,
    상기 링 마운트에 형성된 상기 구멍에 상기 핀을 삽입하고, 상기 링 마운트와 상기 마운트 베이스를 상대적으로 회전시키는 것에 의해, 상기 마운트 베이스와 상기 링 마운트와의 연결을 가능하게 하는 것인, 절삭 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 연결 기구는,
    상기 링 마운트 또는 상기 마운트 베이스 중 한쪽에 배치되는 자석과,
    상기 링 마운트 또는 상기 마운트 베이스 중 상기 자석이 배치되지 않는 쪽에 배치되는 자성체를 구비하고,
    자력으로 상기 링 마운트를 상기 마운트 베이스에 연결시키는 것인, 절삭 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 연결 기구는,
    상기 링 마운트와 상기 마운트 베이스의 양쪽에 배치되는 자석을 가지고,
    자력으로 상기 링 마운트를 상기 마운트 베이스에 연결시키는 것인, 절삭 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 연결 기구는,
    상기 링 마운트의 환형의 내벽면을 지지하는 내벽 지지부를 가지고,
    상기 내벽 지지부에 따라 상기 연결면에 상기 링 마운트를 연결시키는 것인, 절삭 장치.
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