TWI783124B

TWI783124B - 刀片蓋

Info

Publication number: TWI783124B
Application number: TW108106379A
Authority: TW
Inventors: 田中英明
Original assignee: 日商迪思科股份有限公司
Priority date: 2018-02-28
Filing date: 2019-02-25
Publication date: 2022-11-11
Also published as: JP7034548B2; CN110202479A; KR20190103943A; JP2019150890A; TW201936325A

Abstract

提供一種刀片蓋，能簡單地調整刀片冷卻噴嘴的位置。

一種刀片蓋，覆蓋裝設在主軸的前端的切割刀片，刀片蓋具備：第一塊體，設有一對刀片冷卻噴嘴，其對切割刀片的正面側與背面側供給切割液；以及第二塊體，裝設在支撐主軸的外殼，並鄰接第一塊體且覆蓋切割刀片的上部側；其中，在第一塊體形成有第一卡合部，其具有在垂直方向以預定的間距配置的多個凸部；在第二塊體形成有第二卡合部，其具有對應多個凸部的形狀且在垂直方向以該間距配置的多個凹部；藉由使第一卡合部與第二卡合部彼此卡合，第一塊體的垂直方向的位置以各個該間距做調整。

Description

刀片蓋

本發明係關於一種覆蓋切割刀片的刀片蓋。

切割裝置廣泛地使用在半導體晶圓、樹脂基板、陶瓷基板、玻璃基板等的板狀工件的切割加工上。切割加工係藉由如後述方式實施：使裝設在切割裝置的主軸的前端部的切割刀片旋轉，而使切割刀片切入工件。

切割刀片是以被裝設在切割裝置的刀片蓋所覆蓋的方式，裝設在主軸的前端部。在此刀片蓋係一般設有噴嘴（刀片冷卻噴嘴），其供給用以冷卻切割刀片的切割液。進行切割加工時，藉由從刀片冷卻噴嘴供給切割液至切割刀片與工件的接觸區域，能抑制起因於切割刀片與工件之間產生的摩擦熱的加工不良，同時能排出附著在工件的切割屑。

為了使切割液有效率地供給至切割刀片與工件的接觸區域，刀片冷卻噴嘴的位置是對應切割刀片的外徑等做調整。刀片冷卻噴嘴的位置調整例如是藉由如後述方式進行：在切割刀片以被刀片蓋所覆蓋的方式裝設的狀態，一邊監控切割刀片與刀片冷卻噴嘴的位置關係，一邊變更刀片冷卻噴嘴的高度。又，在專利文獻1揭露了一種方法，其在刀片冷卻噴嘴的位置調整使用噴嘴調整治具。

[習知技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本特開2010-42490號公報。

[發明所欲解決的課題] 刀片蓋因為以覆蓋切割刀片的方式設置，所以難以確認切割刀片與刀片冷卻噴嘴的正確位置關係，會有調整刀片冷卻噴嘴的位置的作業變得繁瑣的情況。尤其是在切割刀片以面對的方式分別裝設在2個主軸之被稱為雙軸切割機的切割裝置，必須從2個切割刀片之間確認切割刀片與刀片冷卻噴嘴的位置關係，使刀片冷卻噴嘴的位置調整變得更為困難。

又，在使用上述噴嘴調整治具的方法，必須先以預定的尺寸製作用以調整噴嘴的位置的治具，還須將該治具裝設在支撐切割刀片的安裝凸緣。因此，在刀片冷卻噴嘴的位置調整會耗費人力與成本。

本發明為有鑒於所述問題而完成者，課題在於提供一種刀片蓋，能簡單地調整刀片冷卻噴嘴的位置。

[解決課題的技術手段] 若根據本發明，係提供一種刀片蓋，覆蓋裝設在主軸的前端的切割刀片，刀片蓋具備：第一塊體，設有一對刀片冷卻噴嘴，其對該切割刀片的正面側與背面側供給切割液；以及第二塊體，裝設在支撐該主軸的外殼，並鄰接該第一塊體且覆蓋該切割刀片的上部側；其中，在該第一塊體形成有第一卡合部，其具有在垂直方向以預定的間距配置的多個凸部；在該第二塊體形成有第二卡合部，其具有對應該多個凸部的形狀且在垂直方向以該間距配置的多個凹部；藉由使該第一卡合部與該第二卡合部彼此卡合，該第一塊體的垂直方向的位置能以各個該間距做調整。

[發明功效] 本發明的刀片蓋係選擇形成在具備刀片冷卻噴嘴的噴嘴塊體（第一塊體）的第一卡合部與形成在覆蓋切割刀片的上部側的上部塊體（第二塊體）的第二卡合部所卡合的位置，將噴嘴塊體相對於上部塊體固定在預定的位置，而決定刀片冷卻噴嘴相對於切割刀片的位置。因此，不須監控切割刀片與刀片冷卻噴嘴的位置關係，能簡單地調整刀片冷卻噴嘴的位置。

又，本發明的刀片蓋不如習知的方法般使用噴嘴調整治具等的外加零件而能調整刀片冷卻噴嘴的位置。因此，能節省零件的製作與設置的人力，能簡單地調整刀片冷卻噴嘴的位置。

以下，參照添附圖式，詳細地說明本發明的實施形態。首先，針對切割加工半導體晶圓、樹脂基板、陶瓷基板、玻璃基板等的板狀工件的切割裝置的構成例說明。圖1係表示切割裝置的構成例的立體圖。

切割裝置2具備靜止基台4，其支撐構成切割裝置2的多個構成要素。在靜止基台4上固定有往X軸方向伸張的一對導軌6，在一對導軌6上設有第一移動塊體8。在第一移動塊體8上，藉由圓筒狀的支撐構件22而設有卡盤台20。卡盤台20藉由具備滾珠螺桿10與脈衝馬達12的進給機構14，而在加工進給方向（X軸方向）上移動。

卡盤台20在上部具有由多孔陶瓷等所形成的吸引保持部24，吸引保持部24的上表面則成為保持工件的保持面24a。又，在卡盤台20還設有固定環狀框架的多個夾具26，該環狀框架是設在貼附有工件的切割膠膜的外周部。

又，進給機構14具備：尺標16，沿著導軌6設在靜止基台4上；以及讀取頭18，設在第一移動塊體8的下面側，並讀取尺標16的座標值（X座標值）。讀取頭18連接切割裝置2的控制器（未圖示）。

又，在靜止基台4上固定有在Y軸方向上延長的一對導軌28。在一對導軌28上則設有第二移動塊體30，其由基底部30a與長方體狀的支撐部30b所構成，基底部30a係裝設在一對導軌28，支撐部30b係從基底部30a的上表面的一部分往垂直方向（Z軸方向）延伸。

第二移動塊體30藉由具備滾珠螺桿32與脈衝馬達34的進給機構36，而往分度進給方向（Y軸方向）移動。進給機構36連接切割裝置2的控制器（未圖示），藉由控制器所做的脈衝馬達34的控制使第二移動塊體30的Y軸方向的位置被控制。

在第二移動塊體30的支撐部30b的側面，設有往垂直方向（Z軸方向）延伸的一對導軌38，在導軌38則裝設有第三移動塊體40。第三移動塊體40藉由具備滾珠螺桿（未圖示）與脈衝馬達42的進給機構44，而在垂直方向（Z軸方向）上移動。進給機構44連接切割裝置2的控制器（未圖示），藉由控制器所做的脈衝馬達42的控制使第三移動塊體40的Z軸方向的位置被控制。

在第三移動塊體40裝設有切割單元46。切割單元46的外殼48被插入移動塊體40並支撐，在外殼48的內部設有主軸（未圖示）。主軸被收納在外殼48的內部的馬達（未圖示）所旋轉驅動。主軸的前端部露出在外殼48的外部，在此前端部則可拆裝地裝設有圓環狀的切割刀片52。又，在外殼48裝設有覆蓋切割刀片52的刀片蓋50。

又，在外殼48還裝設有鄰接切割刀片52的攝影單元54。基於由攝影單元54所做的攝影而取得的圖像，進行工件與切割刀片52的對位等。

圖2係表示切割單元46的構成例的立體圖。在被外殼48支撐的主軸56的前端部裝設有安裝凸緣60。又，切割刀片52具備圓盤狀的基台62，其具有圓筒狀的輪轂64，在基台62的外周部則設有切刃66，其係例如在鎳原料中分散金剛石磨粒而形成。

在將安裝凸緣60插入至切割刀片52的裝設孔68的狀態，藉由將固定螺帽70鎖固在安裝凸緣60，使切割刀片52固定在主軸56的前端部。

再者，在圖2係表示了在基台62的外周部設有切刃66的輪轂式的切割刀片52，惟切割刀片52並非限定為此。舉例而言，亦能使用整體以圓環狀的切刃所構成的墊圈式的切割刀片。

又，在外殼48還裝設有覆蓋切割刀片52的刀片蓋50。圖3係表示覆蓋切割刀片52的狀態下刀片蓋50的構成例的立體圖。刀片蓋50裝設在外殼48（參照圖1、2），並具備覆蓋切割刀片52的上部側的上部塊體72。

上部塊體72由矩形狀的上表面、連接該上表面各邊的正面、背面，以及2個側面所構成，在正面與背面的下部則設有對應切割刀片52而切口成圓弧狀的切口部。

又，刀片蓋50具備長方體狀的噴嘴塊體74，其鄰接上部塊體72的一側的側面，並對切割刀片52供給切割液。噴嘴塊體74具備：連接管78，連接供給純水等的切割液的管件76；以及一對刀片冷卻噴嘴80a、80b，從連接管78分枝並對切割刀片52供給切割液。刀片冷卻噴嘴80a、80b係以從正面52a側與背面52b側夾著切割刀片52的方式配置。

圖4係刀片蓋50從外殼48被取下的狀態的立體圖。在刀片冷卻噴嘴80a、80b，分別於面對切割刀片52所配置的區域的位置設有用以對切割刀片52供給切割液的多個開口82。由管件76供給的切割液係藉由連接管78而流入刀片冷卻噴嘴80a、80b，並從開口82噴射至切割刀片52的正面52a側與背面52b側。

為了使切割液有效率地供給至切割刀片52與工件的接觸區域，刀片冷卻噴嘴80a、80b係配置在接觸於工件的切割刀片52的下端的附近。惟須注意的是，如說明書後述內容，刀片冷卻噴嘴80a、80b嚴謹的位置是考慮切割刀片52的外徑或切割刀片52往工件的切入深度等種種條件而決定。

進行切割加工時，藉由從刀片冷卻噴嘴80a、80b供給切割液至切割刀片52與工件的接觸區域，使切割刀片52與工件被冷卻，而能抑制起因於切割刀片52與工件之間產生的摩擦熱的加工不良。又，還藉由切割液排出附著在工件的切割屑。

在刀片冷卻噴嘴80a、80b的外側，設有覆蓋刀片冷卻噴嘴80a、80b的外側的一部分的板件84。附帶一提的是，板件84係設置在比切割刀片52與工件的接觸區域還靠近切割加工的進行方向後方側（完成切割加工的區域側）。藉由設置此板件84，能謀求防止包含切割加工時產生的切割屑的切割水的飛散。

噴嘴塊體74例如是藉由插入噴嘴塊體74的螺絲86而以接觸上部塊體72的狀態被固定。具體而言，在上部塊體72的背面側係裝設有具備活塞桿的汽缸（未圖示），而在活塞桿的前端則裝設有組裝板（未圖示）。

將此組裝板與噴嘴塊體74藉由從噴嘴塊體74的正面側朝向背面插入的螺絲86鎖緊，藉此噴嘴塊體74係隔著汽缸而連結上部塊體72。又，藉由將活塞桿從汽缸往排出方向移動，能將上部塊體72與噴嘴塊體74分離。

又，刀片蓋50還具備長方體狀的噴淋噴嘴塊體88，其鄰接上部塊體72的另一側的側面，並對切割刀片52供給切割液。噴淋噴嘴塊體88具備連接管92，其連接供給純水等的切割液的管件90。

圖5係刀片蓋50的前視圖。如圖5所示，噴淋噴嘴塊體88在其內部具備連結連接管92的噴淋噴嘴94。噴淋噴嘴94的前端94a係朝向切割刀片52的外周部開口。

供給至管件90的切割液係流入噴淋噴嘴94，並從噴淋噴嘴94的前端94a朝向切割刀片52噴射。然後，切割液藉由切割刀片52的旋轉而供給至切割刀片52與工件的接觸區域。

噴淋噴嘴塊體88例如是藉由插入至噴淋噴嘴塊體88的螺絲96而以接觸上部塊體72的狀態被固定。具體而言，藉由螺絲96將上部塊體72與噴淋噴嘴塊體88鎖緊，藉此噴淋噴嘴塊體88連結於上部塊體72；其中，螺絲96係從噴淋噴嘴塊體88中位在上部塊體72的相反側的位置的側面，朝向上部塊體72插入。

如上述，藉由將噴嘴塊體74與噴淋噴嘴塊體88連結至上部塊體72，而構成能對切割刀片52供給切割液的刀片蓋50。

於此，噴嘴塊體74所具備的刀片冷卻噴嘴80a、80b，其相對於切割刀片52的位置係對應切割刀片52的外徑或切割刀片52往工件的切入深度等種種的條件而調整。

舉例而言，將切割刀片52交換為外徑相異者時，藉由調整相對於上部塊體72的噴嘴塊體74的垂直方向（圖5的箭號A方向）的位置，使刀片冷卻噴嘴80a、80b配置在交換後的切割刀片52的下端附近。

又，為了使刀片冷卻噴嘴80a、80b不妨礙切割加工，切割刀片52的下端與刀片冷卻噴嘴80a、80b的下端之間的距離（圖5的距離L1）係以比切割刀片52往工件的切入深度還大的方式做設定。

如此，刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置因為在每次進行切割刀片52的交換或加工條件的變更等時會被調節，所以為了順暢地進行切割加工，較佳為以簡單的方法進行刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置調整。

本實施形態的刀片蓋50具備卡止手段100，其由上部塊體72的一部分與噴嘴塊體74的一部分所構成，且將上部塊體72與噴嘴塊體74固定在預定的位置。藉由使用卡止手段100調整噴嘴塊體74相對於上部塊體72的位置，而能調整刀片冷卻噴嘴80a、80b相對於切割刀片52的位置。以下，詳細地說明卡止手段100。

圖6（A）係表示刀片蓋50的一部分的前視圖。如圖6（A）所示，刀片蓋50具備卡止手段100，其包含以彼此卡合（咬合）的方式構成的上部塊體72的一部分與噴嘴塊體74的一部分。

圖6（B）係表示噴嘴塊體74的一部分的前視圖。在噴嘴塊體74中鄰接上部塊體72的側面係形成有第一卡合部102。第一卡合部102具有多個凸部104，其在垂直方向以預定的間距配置並往上部塊體72側突出。

在圖6（B）係表示的第一卡合部102，其藉由將多個三角柱狀的凸部104以其高度方向從噴嘴塊體74的正面側朝向背面側的方式做配列而形成，且輪廓為前視呈三角波狀0。惟須注意的是，多個凸部104的形狀並非限定為此。

圖6（C）係表示上部塊體72的一部分的前視圖。在上部塊體72，於鄰接噴嘴塊體74的側面形成有第二卡合部106。第二卡合部106具有多個凹部108，其以相同於多個凸部104的間距配置在垂直方向，且對應多個凸部104的形狀。

在圖6（C）係表示第二卡合部106，其藉由將多個三角柱狀的凹部108以其高度方向從上部塊體72的正面側朝向背面側的方式做配列而形成，且輪廓係相同於第一卡合部102為前視呈三角波狀。附帶一提的是，凹部108係其輪廓的形狀以約略一致於凸部104的輪廓的方式而形成，且凸部104能插入凹部108。

當使噴嘴塊體74的第一卡合部102與上部塊體72的第二卡合部106接觸，則包含在第一卡合部102的凸部104會插入至包含在第二卡合部106的凹部108，如圖6（A）所示第一卡合部102與第二卡合部106會卡合（咬合）。藉此，噴嘴塊體74係相對於上部塊體72被固定在預定的位置。

附帶一提的是，在圖6（A）中作為一例子，雖表示位在垂直方向最上側的凸部104a是插入位在垂直方向最上側的凹部108a的態樣，惟凸部104是能分別插入至任意的凹部108。在圖7，係表示鄰接位在垂直方向最上側的凸部104a的下側的凸部104b是插入位在垂直方向最上側的凹部108a的狀態。在此情況，噴嘴塊體74因為是相對於上部塊體72配置在比圖6中多個凸部104與多個凹部108多出1個間距量的上側，所以刀片冷卻噴嘴80a、80b亦相對於切割刀片52配置在多個凸部104與多個凹部108的多出1個間距量的上側。

如上所述，藉由變更預定的凸部104所插入的凹部108（或者是凸部104所插入的預定的凹部108），使噴嘴塊體74其相對於上述塊體72的垂直方向的位置是以多個凸部104與多個凹部108的各個間距做變更。藉此，能將刀片冷卻噴嘴80a、80b其相對於切割刀片52的垂直方向的位置以多個凸部104與多個凹部108的各個間距做調整。

然後，按每個噴嘴塊體74其相對於上部塊體72的位置，分別記錄：凸部104與凹部108的位置關係的資訊（哪個凸部104插入至哪個凹部108的資訊），及刀片冷卻噴嘴80a與80b在垂直方向的位置的資訊。藉此，能使刀片冷卻噴嘴80a、80b在垂直方向的位置藉由卡合第一卡合部102與第二卡合部106的位置而決定。

隨著切割刀片52的交換或加工條件的變更等而調整刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置時，首先，基於切割刀片52的外徑或切割刀片52往工件的切入深度等，而決定所要的刀片冷卻噴嘴80a、80b在垂直方向的位置。

接著，對應所要的刀片冷卻噴嘴80a、80b在垂直方向的位置，設定第一卡合部102與第二卡合部106的卡合位置。具體而言，參照預先記錄的上述刀片冷卻噴嘴80a、80b在垂直方向的位置的資訊，以刀片冷卻噴嘴80a、80b配置在所要的位置的方式，選擇第一卡合部102所包含的一個凸部104與此一個凸部104所插入的一個凹部108。

接著，以成為上述一個凸部104能插入一個凹部108的方式，變更噴嘴塊體74的位置。噴嘴塊體74的位置的變更係藉由如後述方式進行：放鬆插入至噴嘴塊體74的螺絲86而使噴嘴塊體74成為可移動的狀態，再將噴嘴塊體74移動至所要的位置。

然後，以成為上述一個凸部104插入一個凹部108的方式，使上部塊體72與噴嘴塊體74接觸，讓第一卡合部102與第二卡合部咬合。之後，藉由鎖緊螺絲86將噴嘴塊體74以接觸於上部塊體72的狀態做固定，刀片冷卻噴嘴80a、80b即配置在所要的位置。

附帶一提的是，多個凸部104與多個凹部108的間距能對應刀片冷卻噴嘴80a、80b的對位所要求的精確度做適當設定。舉例而言，多個凸部104的間距與多個凹部108的間距能設定為0.1mm以上1mm以下。

如以上內容，本實施形態的刀片蓋50係藉由：選擇形成在噴嘴塊體74的第一卡合部102與形成在上部塊體72的第二卡合部106所卡合的位置，將噴嘴塊體74相對於上部塊體72固定在預定的位置，而決定刀片冷卻噴嘴80a、80b其相對於切割刀片52的位置。因此，不須監控切割刀片52與刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置關係，能簡單地調整刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置。

又，本發明的刀片蓋50不像習知的方法般使用噴嘴調整治具等的外加零件就能調整刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置。因此，能節省零件的製作與設置的人力，能簡單地調整刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置。

附帶一提的是，為了輕易地掌握刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置，亦可在上部塊體72與噴嘴塊體74的其中一者或兩者附加刻度或箭號等。圖8係表示附加箭號與刻度的刀片蓋50的一部分的前視圖。例如圖8所示，能在上部塊體72對特定的凹部108附加箭號110，能在噴嘴塊體74附加對應於多個凸部104的位置的刻度112。

對應凸部104的位置而附加的刻度112的數值係表示此凸部104插入附加有箭號110的凹部108時刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置。在圖8，係令設在垂直方向最上側的凸部104a插入設在垂直方向最上側的凹部108a時刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置為零，而附加刻度112的數值。惟須注意的是，刻度112的數值的基準是能自由地設定。

藉由像這樣附加刻度或箭號，能一邊確認刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置一邊將第一卡合部102與第二卡合部106卡合。

再者，在噴嘴塊體74亦能附加刻度以外的標記。舉例而言，可取代刻度而附加對應刀片冷卻噴嘴80a、80b的位置的顏色標記。

又，在上述內容係主要針對凸部104與凹部108為三角柱狀的情況說明，惟凸部104與凹部108的形狀只要為第一卡合部102與第二卡合部106能咬合即可，本發明並未有特別限定。圖9係表示具有相異於圖6（A）的卡止手段100的刀片蓋50的一部分的前視圖。

例如圖9所示，亦可藉由將多個長方體狀的凸部104以其高度方向從噴嘴塊體74的正面側朝向背面側的方式做配列而形成第一卡合部102，還亦可藉由將多個長方體狀的凹部108以其高度方向從上部塊體72的正面側朝向背面側的方式做配列而形成第二卡合部106。

除此之外，上述實施形態的構造、方法等在不脫離本發明目的的範圍內能適當變更並實施。

2‧‧‧切割裝置 4‧‧‧靜止基台 6‧‧‧導軌 8‧‧‧第一移動塊體 10‧‧‧滾珠螺桿 12‧‧‧脈衝馬達 14‧‧‧進給機構 16‧‧‧尺標 18‧‧‧讀取頭 20‧‧‧卡盤台 22‧‧‧支撐構件 24‧‧‧吸引保持部 24a‧‧‧保持面 26‧‧‧夾具 28‧‧‧導軌 30‧‧‧第二移動塊體 30a‧‧‧基底部 30b‧‧‧支撐部 32‧‧‧滾珠螺桿 34‧‧‧脈衝馬達 36‧‧‧進給機構 38‧‧‧導軌 40‧‧‧第三移動塊體 42‧‧‧脈衝馬達 44‧‧‧進給機構 46‧‧‧切割單元 48‧‧‧外殼 50‧‧‧刀片蓋 52‧‧‧切割刀片 54‧‧‧攝影單元 56‧‧‧主軸 60‧‧‧安裝凸緣 62‧‧‧基台 64‧‧‧輪轂 66‧‧‧切刃 68‧‧‧裝設孔 70‧‧‧固定螺帽 72‧‧‧上部塊體 74‧‧‧噴嘴塊體 76‧‧‧管件 78‧‧‧連接管 80a、80b‧‧‧刀片冷卻噴嘴 82‧‧‧開口 84‧‧‧板件 86‧‧‧螺絲 88‧‧‧噴淋噴嘴塊體 90‧‧‧管件 92‧‧‧連接管 94‧‧‧噴淋噴嘴 94a‧‧‧前端 96‧‧‧螺絲 100‧‧‧卡止手段 102‧‧‧第一卡合部 104‧‧‧凸部 106‧‧‧第二卡合部 108‧‧‧凹部 110‧‧‧箭號 112‧‧‧刻度

圖1係表示切割裝置的構成例的立體圖。圖2係表示切割單元的構成例的立體圖。圖3係表示覆蓋切割刀片的狀態下刀片蓋的構成例的立體圖。圖4係表示刀片蓋的構成例的立體圖。圖5係表示刀片蓋的構成例的前視圖。圖6（a）係表示刀片蓋的一部分的前視圖，圖6（b）係表示噴嘴塊體的一部分的前視圖，圖6（c）係表示上部塊體的一部分的前視圖。圖7係表示刀片蓋的一部分的前視圖。圖8係表示附加箭號與刻度的刀片蓋的一部分的前視圖。圖9係表示刀片蓋的一部分的前視圖。

50:刀片蓋

52:切割刀片

60:安裝凸緣

70:固定螺帽

72:上部塊體

74:噴嘴塊體

76:管件

78:連接管

80a:刀片冷卻噴嘴

84:板件

86:螺絲

88:噴淋噴嘴塊體

90:管件

92:連接管

94:噴淋噴嘴

94a:前端

96:螺絲

100:卡止手段

L1:切割刀片的下端與刀片冷卻噴嘴的下端之間的距離

A:垂直方向

Claims

一種刀片蓋，覆蓋裝設在主軸的前端的切割刀片，刀片蓋具備：第一塊體，設有一對刀片冷卻噴嘴，其對該切割刀片的正面側與背面側供給切割液；以及第二塊體，裝設在支撐該主軸的外殼，並鄰接該第一塊體且覆蓋該切割刀片的上部側；其中，在該第一塊體形成有第一卡合部，其具有以從該第一塊體的正面側朝向背面側的方式形成並在垂直方向以預定的間距配置的多個凸部；在該第二塊體形成有第二卡合部，其具有以從該第二塊體的正面側朝向背面側的方式形成並對應該多個凸部的形狀且在垂直方向以該間距配置的多個凹部；藉由使該第一卡合部與該第二卡合部彼此卡合，該第一塊體的垂直方向的位置能以各個該間距做調整。
如請求項1之刀片蓋，其中，該第一塊體係隔著汽缸而連結該第二塊體。