JP2019150890A - ブレードカバー - Google Patents

Abstract

【課題】ブレードクーラーノズルの位置を簡易に調整可能なブレードカバーを提供する。【解決手段】スピンドルの先端に装着された切削ブレード５２を覆うブレードカバー５０であって、切削ブレードの表面側及び裏面側に切削液を供給する一対のブレードクーラーノズル８０ａが設けられた第１のブロック７４と、スピンドルを支持するハウジングに装着され、第１のブロックに隣接して切削ブレードの上部側を覆う第２のブロック７２と、を備え、第１のブロックには、鉛直方向に所定のピッチで配置された複数の凸部を有する第１の係合部１０２が形成され、第２のブロックには、複数の凸部の形状に対応して鉛直方向に該ピッチで配置された複数の凹部を有する第２の係合部１０６が形成され、第１の係合部と第２の係合部とを互いに係合させることで、第１のブロックの鉛直方向の位置を該ピッチずつ調整する。【選択図】図６

Description

本発明は、切削ブレードを覆うブレードカバーに関する。

切削装置は、半導体ウェーハ、樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板などの板状の被加工物の切削加工に広く用いられている。切削加工は、切削装置のスピンドルの先端部に装着された切削ブレードを回転させ、被加工物に切り込ませることにより実施される。

切削ブレードは、切削装置に設けられたブレードカバーに覆われるようにスピンドルの先端部に装着される。このブレードカバーには、一般に切削ブレードを冷却するための切削液を供給するノズル（ブレードクーラーノズル）を設けられている。切削加工を行う際、ブレードクーラーノズルから切削ブレードと被加工物との接触領域に切削液を供給することにより、切削ブレードと被加工物との間で生じる摩擦熱に起因する加工不良を抑制するとともに、被加工物に付着した切削屑を排出できる。

切削液が切削ブレードと被加工物との接触領域に効率良く供給されるよう、ブレードクーラーノズルの位置は切削ブレードの外径などに応じて調整される。ブレードクーラーノズルの位置の調整は、例えば、切削ブレードをブレードカバーに覆われるように装着した状態で、切削ブレードとブレードクーラーノズルとの位置関係をモニターしながらブレードクーラーノズルの高さを変更することによって行われる。また、特許文献１には、ブレードクーラーノズルの位置の調整にノズル調整冶具を用いる手法が開示されている。

特開２０１０−４２４９０号公報

ブレードカバーは切削ブレードを覆うように設けられるため、切削ブレードとブレードクーラーノズルとの正確な位置関係が確認しにくく、ブレードクーラーノズルの位置を調整する作業が煩雑になる場合がある。特に、２本のスピンドルにそれぞれ切削ブレードが対向するように装着されたデュアルダイサーと呼ばれる切削装置では、２つの切削ブレードの間から切削ブレードとブレードクーラーノズルとの位置関係を確認する必要があり、ブレードクーラーノズルの位置の調整がより困難になる。

また、上述のノズル調整冶具を用いる手法では、まずノズルの位置を調整するための冶具を所定の寸法で作製し、さらに該冶具を切削ブレードを支持するマウントフランジに装着する必要がある。そのため、ブレードクーラーノズルの位置の調整に手間とコストがかかる。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、ブレードクーラーノズルの位置を簡易に調整可能なブレードカバーを提供することを課題とする。

本発明によれば、スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバーであって、該切削ブレードの表面側及び裏面側に切削液を供給する一対のブレードクーラーノズルが設けられた第１のブロックと、該スピンドルを支持するハウジングに装着され、該第１のブロックに隣接して該切削ブレードの上部側を覆う第２のブロックと、を備え、該第１のブロックには、鉛直方向に所定のピッチで配置された複数の凸部を有する第１の係合部が形成され、該第２のブロックには、該複数の凸部の形状に対応して鉛直方向に該ピッチで配置された複数の凹部を有する第２の係合部が形成され、該第１の係合部と該第２の係合部とを互いに係合させることで、該第１のブロックの鉛直方向の位置を該ピッチずつ調整可能であるブレードカバーが提供される。

本発明に係るブレードカバーは、ブレードクーラーノズルを備えるノズルブロック（第１のブロック）に形成された第１の係合部と、切削ブレードの上部側を覆う上部ブロック（第２のブロック）に形成された第２の係合部とが係合される位置を選択し、ノズルブロックを上部ブロックに対して所定の位置で固定することにより、ブレードクーラーノズルの切削ブレードに対する位置が決定される。そのため、切削ブレードとブレードクーラーノズルとの位置関係のモニターが不要となり、ブレードクーラーノズルの位置を簡易に調整できる。

また、本発明に係るブレードカバーは、従来の手法のようにノズル調整冶具などの追加の部品を用いることなくブレードクーラーノズルの位置を調整できる。そのため、部品の作製及び設置の手間を省き、ブレードクーラーノズルの位置を簡易に調整できる。

切削装置の構成例を示す斜視図である。 切削ユニットの構成例を示す斜視図である。 切削ブレードを覆った状態のブレードカバーの構成例を示す斜視図である。 ブレードカバーの構成例を示す斜視図である。 ブレードカバーの構成例を示す正面図である。 図６（Ａ）はブレードカバーの一部を示す正面図であり、図６（Ｂ）はノズルブロックの一部を示す正面図であり、図６（Ｃ）は上部ブロックの一部を示す正面図である。 ブレードカバーの一部を示す正面図である。 矢印及び目盛りが付されたブレードカバーの一部を示す正面図である。 ブレードカバーの一部を示す正面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。まず、半導体ウェーハ、樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板などの板状の被加工物を切削加工する切削装置の構成例について説明する。図１は、切削装置の構成例を示す斜視図である。

切削装置２は、切削装置２を構成する複数の構成要素を支持する静止基台４を備える。静止基台４上にはＸ軸方向に伸張する一対のガイドレール６が固定され、一対のガイドレール６上には第１の移動ブロック８が設けられている。第１の移動ブロック８上には、円筒状の支持部材２２を介してチャックテーブル２０が設けられている。チャックテーブル２０は、ボールねじ１０とパルスモータ１２とを備える送り機構１４により、加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動される。

チャックテーブル２０は、多孔性セラミックス等によって形成された吸引保持部２４を上部に有し、吸引保持部２４の上面が被加工物を保持する保持面２４ａとなる。また、チャックテーブル２０には、被加工物が貼付されるダイシングテープの外周部に設けられた環状フレームを固定する複数のクランプ２６が設けられている。

また、送り機構１４は、ガイドレール６に沿って静止基台４上に設けられたスケール１６と、第１の移動ブロック８の下面側に設けられ、スケール１６の座標値（Ｘ座標値）を読みとる読み取りヘッド１８とを備える。読み取りヘッド１８は切削装置２のコントローラ（不図示）と接続されている。

また、静止基台４上には、Ｙ軸方向に伸長する一対のガイドレール２８が固定されている。一対のガイドレール２８上には、一対のガイドレール２８に装着された基底部３０ａと、基底部３０ａの上面の一部から鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在する直方体状の支持部３０ｂとによって構成された第２の移動ブロック３０が設けられている。

第２の移動ブロック３０は、ボールねじ３２とパルスモータ３４とを備える送り機構３６により、割り出し方向（Ｙ軸方向）に移動される。送り機構３６は切削装置２のコントローラ（不図示）に接続され、コントローラによるパルスモータ３４の制御によって第２の移動ブロック３０のＹ軸方向の位置が制御される。

第２の移動ブロック３０の支持部３０ｂの側面には、鉛直方向（Ｚ軸方向）に伸長する一対のガイドレール３８が設けられており、ガイドレール３８には第３の移動ブロック４０が装着されている。第３の移動ブロック４０は、ボールねじ（不図示）とパルスモータ４２とを備える送り機構４４により、鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動される。送り機構４４は切削装置２のコントローラ（不図示）に接続され、コントローラによるパルスモータ４２の制御によって第３の移動ブロック４０のＺ軸方向の位置が制御される。

第３の移動ブロック４０には切削ユニット４６が装着されている。切削ユニット４６のハウジング４８は移動ブロック４０に挿入されて支持されており、ハウジング４８の内部にはスピンドル（不図示）が設けられている。スピンドルはハウジング４８の内部に収容されたモータ（不図示）によって回転駆動する。スピンドルの先端部はハウジング４８の外部に露出しており、この先端部には円環状の切削ブレード５２が着脱可能に装着される。また、ハウジング４８には、切削ブレード５２を覆うブレードカバー５０が装着されている。

また、ハウジング４８には、切削ブレード５２に隣接する撮像ユニット５４が装着されている。撮像ユニット５４による撮像によって取得した画像に基づいて、被加工物と切削ブレード５２との位置合わせなどが行われる。

図２は、切削ユニット４６の構成例を示す斜視図である。ハウジング４８に支持されるスピンドル５６の先端部には、マウントフランジ６０が装着されている。また、切削ブレード５２は円筒状のハブ６４を有する円盤状の基台６２を備え、基台６２の外周部には、例えばニッケル母材中にダイヤモンド砥粒を分散して形成された切刃６６が設けられている。

切削ブレード５２の装着穴６８にマウントフランジ６０を挿入した状態で、固定ナット７０をマウントフランジ６０に締め付けることにより、切削ブレード５２がスピンドル５６の先端部に固定される。

なお、図２では基台６２の外周部に切刃６６が設けられたハブタイプの切削ブレード５２を示したが、切削ブレード５２はこれに限定されない。例えば、全体が円環状の切刃で構成されたワッシャータイプの切削ブレードを用いることもできる。

また、ハウジング４８には切削ブレード５２を覆うブレードカバー５０が装着される。図３は、切削ブレード５２を覆った状態のブレードカバー５０の構成例を示す斜視図である。ブレードカバー５０は、ハウジング４８（図１、図２参照）に装着され切削ブレード５２の上部側を覆う上部ブロック７２を備える。

上部ブロック７２は、矩形状の上面と、該上面の各辺と接続された正面、背面及び２つの側面とによって構成され、正面及び背面の下部には、切削ブレード５２に対応して円弧状に切り欠かれた切り欠き部が設けられている。

また、ブレードカバー５０は、上部ブロック７２の一方の側面に隣接し、切削ブレード５２に切削液を供給する直方体状のノズルブロック７４を備える。ノズルブロック７４は、純水などの切削液が供給されるホース７６と接続される接続パイプ７８と、接続パイプ７８から分岐し、切削ブレード５２に切削液を供給する一対のブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂとを備える。ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂは、切削ブレード５２を表面５２ａ側及び裏面５２ｂ側から挟むように配置される。

図４は、ハウジング４８から取り外された状態のブレードカバー５０の斜視図である。ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂにはそれぞれ、切削ブレード５２が配置される領域と対向する位置に、切削ブレード５２に切削液を供給するための複数の開口８２が設けられている。ホース７６に供給された切削液は、接続パイプ７８を介してブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂに流入し、開口８２から切削ブレード５２の表面５２ａ側及び裏面５２ｂ側に噴射される。

切削液が切削ブレード５２と被加工物との接触領域に効率的に供給されるよう、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂは、被加工物と接触する切削ブレード５２の下端の近傍に配置される。但し、後述の通りブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの厳密な位置は、切削ブレード５２の外径や切削ブレード５２の被加工物への切り込み深さなど種々の条件を考慮して決定される。

切削加工を行う際、切削ブレード５２と被加工物との接触領域にブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂから切削液を供給することにより、切削ブレード５２及び被加工物が冷却され、切削ブレード５２と被加工物との間で生じる摩擦熱に起因する加工不良が抑制される。また、被加工物に付着した切削屑が切削液により排出される。

ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの外側には、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの外側の一部を覆うプレート８４が設けられている。なお、プレート８４は切削ブレード５２と被加工物との接触領域よりも切削加工の進行方向後方側（切削加工済みの領域側）に設置される。このプレート８４を設けることにより、切削加工時に発生する切削屑を含んだ切削水の飛散の防止を図ることができる。

ノズルブロック７４は、例えばノズルブロック７４に挿入されるねじ８６によって上部ブロック７２に接した状態で固定される。具体的には、上部ブロック７２の背面側にはピストンロッドを備えたエアーシリンダ（不図示）が装着されており、ピストンロッドの先端には取り付けプレート（不図示）が装着されている。

この取り付けプレートとノズルブロック７４とを、ノズルブロック７４の正面側から背面側に向かって挿入されるねじ８６によって締結することにより、ノズルブロック７４がエアーシリンダを介して上部ブロック７２と連結される。また、ピストンロッドをエアーシリンダから排出される方向に移動させることにより、上部ブロック７２とノズルブロック７４とを分離することができる。

また、ブレードカバー５０は、上部ブロック７２の他方の側面に隣接し、切削ブレード５２に切削液を供給する直方体状のシャワーノズルブロック８８を備える。シャワーノズルブロック８８は、純水などの切削液が供給されるホース９０と接続される接続パイプ９２を備える。

図５は、ブレードカバー５０の正面図である。図５に示すように、シャワーノズルブロック８８は接続パイプ９２と連結されたシャワーノズル９４をその内部に備える。シャワーノズル９４の先端９４ａは、切削ブレード５２の外周部に向かって開口している。

ホース９０に供給された切削液はシャワーノズル９４に流入し、シャワーノズル９４の先端９４ａから切削ブレード５２に向かって噴射される。そして、切削液は切削ブレード５２の回転によって切削ブレード５２と被加工物との接触領域に供給される。

シャワーノズルブロック８８は、例えばシャワーノズルブロック８８に挿入されるねじ９６によって上部ブロック７２に接した状態で固定される。具体的には、シャワーノズルブロック８８の上部ブロック７２とは反対側に位置する側面から上部ブロック７２に向かって挿入されるねじ９６によって、上部ブロック７２とシャワーノズルブロック８８とを締結することにより、シャワーノズルブロック８８が上部ブロック７２と連結される。

上記のように、上部ブロック７２にノズルブロック７４及びシャワーノズルブロック８８を連結させることにより、切削ブレード５２に切削液を供給可能なブレードカバー５０が構成される。

ここで、ノズルブロック７４に備えられたブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの切削ブレード５２に対する位置は、切削ブレード５２の外径や切削ブレード５２の被加工物への切り込み深さなど種々の条件に応じて調整される。

例えば、切削ブレード５２を外径の異なるものに交換した際は、上部ブロック７２に対するノズルブロック７４の鉛直方向（図５の矢印Ａ方向）の位置を調整することにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂを交換後の切削ブレード５２の下端近傍に配置する。

また、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂが切削加工の妨げとならないよう、切削ブレード５２の下端とブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの下端との間の距離（図５の距離Ｌ１）は、切削ブレード５２の被加工物への切り込み深さよりも大きくなるように設定される。

このように、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置は切削ブレード５２の交換や加工条件の変更等を行う度に調節されるため、切削加工を円滑に行うためには、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置の調整を簡易な手法で行うことが好ましい。

本実施形態に係るブレードカバー５０は、上部ブロック７２の一部とノズルブロック７４の一部とによって構成され、上部ブロック７２とノズルブロック７４とを所定の位置で固定する係止手段１００を備える。係止手段１００を用いてノズルブロック７４の上部ブロック７２に対する位置を調整することにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの切削ブレード５２に対する位置を調整することができる。以下、係止手段１００の詳細を説明する。

図６（Ａ）は、ブレードカバー５０の一部を示す正面図である。図６（Ａ）に示すように、ブレードカバー５０は、互いに係合する（噛み合う）ように構成された上部ブロック７２の一部とノズルブロック７４の一部とを含む係止手段１００を備える。

図６（Ｂ）は、ノズルブロック７４の一部を示す正面図である。ノズルブロック７４の上部ブロック７２と隣接する側面には、第１の係合部１０２が形成されている。第１の係合部１０２は、鉛直方向に所定のピッチで配置され、上部ブロック７２側に突出する複数の凸部１０４を有する。

図６（Ｂ）には、複数の三角柱状の凸部１０４をその高さ方向がノズルブロック７４の正面側から背面側に向かうように配列することにより形成され、輪郭が正面視で三角波状である第１の係合部１０２を示す。ただし、複数の凸部１０４の形状はこれに限定されない。

図６（Ｃ）は、上部ブロック７２の一部を示す正面図である。上部ブロック７２には、ノズルブロック７４と隣接する側面に第２の係合部１０６が形成されている。第２の係合部１０６は、複数の凸部１０４と同一のピッチで鉛直方向に配置され、複数の凸部１０４の形状に対応する複数の凹部１０８を有する。

図６（Ｃ）には、複数の三角柱状の凹部１０８をその高さ方向が上部ブロック７２の正面側から背面側に向かうように配列することにより形成され、輪郭が第１の係合部１０２と同様に正面視で三角波状である第２の係合部１０６を示す。なお、凹部１０８はその輪郭の形状が凸部１０４の輪郭と概ね一致するように形成されており、凸部１０４は凹部１０８に挿入可能となっている。

ノズルブロック７４の第１の係合部１０２と上部ブロック７２の第２の係合部１０６とを接触させると、第１の係合部１０２に含まれる凸部１０４が第２の係合部１０６に含まれる凹部１０８に挿入され、図６（Ａ）に示すように第１の係合部１０２と第２の係合部１０６とが係合する（噛み合う）。これにより、ノズルブロック７４が上部ブロック７２に対して所定の位置に固定される。

なお、図６（Ａ）では一例として、鉛直方向で最も上側に位置する凸部１０４ａが、鉛直方向で最も上側に位置する凹部１０８ａに挿入された様子を示しているが、凸部１０４はそれぞれ任意の凹部１０８に挿入することができる。図７に、凸部１０４ａの下側に隣接する凸部１０４ｂが凹部１０８ａに挿入された状態を示す。この場合、ノズルブロック７４は上部ブロック７２に対して図６よりも複数の凸部１０４及び複数の凹部１０８のピッチ分上側に配置されるため、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂも切削ブレード５２に対して複数の凸部１０４及び複数の凹部１０８のピッチ分上側に配置される。

上記のように、所定の凸部１０４が挿入される凹部１０８（又は、所定の凹部１０８に挿入される凸部１０４）を変更することにより、ノズルブロック７４の上部ブロック７２に対する鉛直方向の位置が複数の凸部１０４及び複数の凹部１０８のピッチずつ変更される。これにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの切削ブレード５２に対する鉛直方向の位置を、複数の凸部１０４及び複数の凹部１０８のピッチずつ調整することができる。

そして、ノズルブロック７４の上部ブロック７２に対する位置ごとに、凸部１０４と凹部１０８との位置関係の情報（どの凸部１０４がどの凹部１０８に挿入されているかの情報）と、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの鉛直方向における位置の情報とをそれぞれ記録しておく。これにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの鉛直方向における位置を、第１の係合部１０２と第２の係合部１０６とを係合する位置によって決定することが可能になる。

切削ブレード５２の交換や加工条件の変更等に伴ってブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を調整する際は、まず、切削ブレード５２の外径や切削ブレード５２の被加工物への切り込み深さなどに基づいて、所望のブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの鉛直方向における位置を決定する。

次に、所望のブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの鉛直方向における位置に応じて、第１の係合部１０２と第２の係合部１０４とが係合される位置を設定する。具体的には、予め記録した上記のブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの鉛直方向における位置の情報を参照して、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂが所望の位置に配置されるように、第１の係合部１０２に含まれる一の凸部１０４と、この一の凸部１０４が挿入される一の凹部１０８とを選択する。

次に、上記の一の凸部１０４が一の凹部１０８に挿入可能となるように、ノズルブロック７４の位置を変更する。ノズルブロック７４の位置の変更は、ノズルブロック７４に挿入されたねじ８６をゆるめてノズルブロック７４を移動可能な状態とし、ノズルブロック７４を所望の位置に移動させることにより行う。

そして、上記の一の凸部１０４が一の凹部１０８に挿入されるように、上部ブロック７２とノズルブロック７４とを接触させ、第１の係合部１０２と第２の係合部とを噛み合わせる。その後、ねじ８６を締めてノズルブロック７４を上部ブロック７２と接した状態で固定することにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂが所望の位置に配置される。

なお、複数の凸部１０４及び複数の凹部１０８のピッチは、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置合わせに要求される精度に応じて適宜設定できる。例えば、複数の凸部１０４のピッチ及び複数の凹部１０８のピッチは、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下に設定できる。

以上の通り、本実施形態に係るブレードカバー５０は、ノズルブロック７４に形成された第１の係合部１０２と、上部ブロック７２に形成された第２の係合部１０４とが係合される位置を選択し、ノズルブロック７４を上部ブロック７２に対して所定の位置で固定することにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの切削ブレード５２に対する位置が決定される。そのため、切削ブレード５２とブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂとの位置関係のモニターが不要となり、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を簡易に調整できる。

また、本発明に係るブレードカバー５０は、従来の手法のようにノズル調整冶具などの追加の部品を用いることなくブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を調整できる。そのため、部品の作製及び設置の手間を省き、レードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を簡易に調整できる。

なお、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を容易に把握するため、上部ブロック７２とノズルブロック７４の一方又は双方に目盛りや目印などを付してもよい。図８は、矢印及び目盛りが付されたブレードカバー５０の一部を示す正面図である。例えば図８に示すように、上部ブロック７２に特定の凹部１０８を指す矢印１１０を付し、ノズルブロック７４に複数の凸部１０４の位置に対応する目盛り１１２を付すことができる。

凸部１０４の位置に対応して付された目盛り１１２の数値は、その凸部１０４が矢印１１０の付された凹部１０８に挿入された際の、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を示す。図８では、鉛直方向で最も上側に設けられた凸部１０４ａが、鉛直方向で最も上側に設けられた凹部１０８ａに挿入された際のブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置をゼロとして、目盛り１１２の数値を付している。但し、目盛り１１２の数値の基準は自由に設定することができる。

このように目盛りや目印を付すことにより、ブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置を確認しながら第１の係合部１０２と第２の係合部１０６とを係合させることができる。

なお、ノズルブロック７４には目盛り以外の印を付すこともできる。例えば、目盛りの代わりにブレードクーラーノズル８０ａ，８０ｂの位置に対応する色の目印を付してもよい。

また、上記では主に凸部１０４及び凹部１０８が三角柱状である場合について説明したが、凸部１０４及び凹部１０８の形状は、第１の係合部１０２と第２の係合部１０４とを噛み合わせることが可能であれば特に限定されない。図９は、図６（Ａ）とは異なる係止手段１００を有するブレードカバー５０の一部を示す正面図である。

例えば図９に示すように、複数の直方体状の凸部１０４をその高さ方向がノズルブロック７４の正面側から背面側に向かうように配列することによって第１の係合部１０２を形成し、複数の直方体状の凹部１０８をその高さ方向が上部ブロック７２の正面側から背面側に向かうように配列することによって第２の係合部１０６を形成してもよい。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 切削装置
４ 静止基台
６ ガイドレール
８ 第１の移動ブロック
１０ ボールねじ
１２ パルスモータ
１４ 送り機構
１６ スケール
１８ 読み取りヘッド
２０ チャックテーブル
２２ 支持部材
２４ 吸引保持部
２４ａ 保持面
２６ クランプ
２８ ガイドレール
３０ 第２の移動ブロック
３０ａ 基底部
３０ｂ 支持部
３２ ボールねじ
３４ パルスモータ
３６ 送り機構
３８ ガイドレール
４０ 第３の移動ブロック
４２ パルスモータ
４４ 送り機構
４６ 切削ユニット
４８ ハウジング
５０ ブレードカバー
５２ 切削ブレード
５４ 撮像ユニット
５６ スピンドル
６０ マウントフランジ
６２ 基台
６４ ハブ
６６ 切刃
６８ 装着穴
７０ 固定ナット
７２ 上部ブロック
７４ ノズルブロック
７６ ホース
７８ 接続パイプ
８０ａ，８０ｂ ブレードクーラーノズル
８２ 開口
８４ プレート
８６ ねじ
８８ シャワーノズルブロック
９０ ホース
９２ 接続パイプ
９４ シャワーノズル
９４ａ 先端
９６ ねじ
１００ 係止手段
１０２ 第１の係合部
１０４ 凸部
１０６ 第２の係合部
１０８ 凹部
１１０ 矢印
１１２ 目盛り

Claims (1)

1. スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバーであって、
   該切削ブレードの表面側及び裏面側に切削液を供給する一対のブレードクーラーノズルが設けられた第１のブロックと、
   該スピンドルを支持するハウジングに装着され、該第１のブロックに隣接して該切削ブレードの上部側を覆う第２のブロックと、を備え、
   該第１のブロックには、鉛直方向に所定のピッチで配置された複数の凸部を有する第１の係合部が形成され、
   該第２のブロックには、該複数の凸部の形状に対応して鉛直方向に該ピッチで配置された複数の凹部を有する第２の係合部が形成され、
   該第１の係合部と該第２の係合部とを互いに係合させることで、該第１のブロックの鉛直方向の位置を該ピッチずつ調整可能であることを特徴とするブレードカバー。