JP2003059864A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ブレードのサイズに応じて，側面ノズルの位
置を容易かつ迅速に調整することが可能な，新規かつ改
良されたダイシング装置を提供すること。 【解決手段】 高速回転して被加工物を切削するブレー
ド２２と，ブレード２２の少なくとも一側面に切削水を
供給する側面ノズル２６とを備えたダイシング装置にお
いて，固定部３０と，固定部３０に対して移動可能に設
置され側面ノズル２６を支持する支持装置３２と，固定
部３０と支持装置３２とを移動固定可能に連結し固定部
３０に対する支持装置３２の相対位置を調整するアジャ
スタ装置３４とを有することを特徴とする，ダイシング
装置を提供する。かかる構成により，支持装置３２に支
持された側面ノズル２６の位置をブレード２２のサイズ
に応じて容易かつ迅速に調整することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置にか
かり，特に，ブレードのサイズに応じて側面ノズルの位
置を容易に調整することができるダイシング装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来，賽の目状にカーフ（切溝）を生成
して半導体ウェハなどの被加工物を複数片に分割するダ
イシング工程においては，フランジにより固定されたリ
ング状ブレードを備えたダイシング装置が用いられてい
る。

【０００３】かかるダイシング装置は，ブレードを高速
回転させて，被加工物を切削加工する。その際に，ブレ
ードと被加工物との間に生じる摩擦熱が，ブレードの磨
耗や破損を増大させ，また，被加工物の加工面上のチッ
ピングや異常切削の原因となる。そこで，ブレードや加
工点に切削水を供給し，冷却する方法が採用されてい
る。

【０００４】切削水の供給方法としては，シャワーノズ
ルを用いて切削方向前方からブレード外周面に切削水を
供給する方法，ブレードを挟むように前後に配設された
１対の側面ノズルを用いてブレードの両側より切削水を
供給する方法，さらにブレード外周面全体に切削水を供
給する方法などが一般的である。

【０００５】このうち，側面ノズルによる切削水の供給
方法においては，側面ノズルがブレード下部の側方に加
工面と略平行に設置され，側面ノズルの側面に形成され
た開口からブレード外周側面及び加工点に対し切削水が
供給される。この際，ブレード及び加工点を効果的に冷
却するために，側面ノズルの加工面からの高さがブレー
ドのサイズに応じて調整される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記従
来のダイシング装置では，側面ノズルの位置（加工面か
らの高さなど）を調整するためには，スパナ，六角レン
チ，定規などの各種工具を使用して調整しなければなら
ない。また，奥側の側面ノズルの位置を調整する際に
は，ホイルカバーを取り外さなければならない。このた
め，側面ノズルの位置調整には，時間がかかり不便であ
るという問題がある。

【０００７】また，側面ノズルの位置を調整する際に，
ブレードのサイズに対応した調整位置の目安がないの
で，側面ノズルの好適な調整位置を正確かつ迅速に判断
することが困難であるという問題もある。

【０００８】本発明は，従来のダイシング装置が有する
上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的
は，ブレードのサイズに応じて，側面ノズルの位置を容
易かつ迅速に調整することが可能な，新規かつ改良され
たダイシング装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め，本発明の第１の観点によれば，高速回転して被加工
物を切削するブレードと，ブレードを挟むように配設さ
れた切削水を供給する１対の側面ノズルとを備えたダイ
シング装置において，固定部と，固定部に対して移動可
能に設置され側面ノズルを支持する支持装置と，固定部
と支持装置とを移動固定可能に連結し固定部に対する支
持装置の位置を調整するアジャスタ装置と，を有するこ
とを特徴とする，ダイシング装置を提供する。

【００１０】かかる構成により，アジャスタ装置を利用
して固定部に対する支持装置の位置を調整することがで
きるので，支持装置に支持された側面ノズルの位置をブ
レードのサイズに応じて調整することができる。特に，
側面ノズルの加工面からの高さを容易に調整できる。さ
らに，一対の側面ノズルを一体的に移動させて同時に調
整することもできる。従って，側面ノズルの位置調整の
際に，ホイルカバーを取り外したり，各種工具を用いた
りする必要がなく，省力化，迅速化が図れる。

【００１１】さらに，固定部及び支持装置の少なくとも
一側面には，固定部に対する支持装置の位置を調整する
ための，調整目安が形成されている，如く構成すれば，
側面ノズルの位置を調整する際に，ブレードのサイズに
応じた側面ノズルの好適な調整位置を，正確かつ迅速に
判断することができる。従って，客観的な側面ノズルの
位置調整が可能になる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照しながら，
本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。な
お，本明細書及び図面において，実質的に略同一の機能
構成を有する構成要素については，同一の符号を付する
ことにより重複説明を省略する。

【００１３】まず，図１に基づいて，本発明の第１の実
施の形態におけるダイシング装置の概略について説明す
る。図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０の
全体斜視図である。

【００１４】ダイシング装置本体１０は，図１に示すよ
うに，半導体ウェハ１２などの被加工物を切削または切
断する切削ユニット２０と，半導体ウェハ１２を載置す
るチャックテーブル１５とを有する。半導体ウェハ１２
は，ウェハテープ１３によりフレーム１４に支持された
状態で，チャックテーブル１５上に供給される。チャッ
クテーブル１５は切削ユニット２０に対し相対的に移動
可能であり，切削ユニット２０の端部に設置された高速
回転するブレードに半導体ウェハ１２を所定量切り込ま
せながら，チャックテーブル１５が移動することにより
切削が進行する。逆に，チャックテーブル１５が固定さ
れ，切削ユニット２０が相対的に移動して切削する場合
もある。

【００１５】ウェハ処理工程において微細領域内に素子
や集積回路が大量に作り込まれた半導体ウェハ１２をダ
イシングする場合，半導体チップの間のストリートに沿
った精密な加工が要求される。そこで，ダイヤモンド等
の砥粒をニッケル等のボンド材で電着したリング状のブ
レードが用いられる。ブレードの厚さは極薄であり，例
えば２０〜３０μｍである。このようなブレードが切削
ユニット２０に設置され，高速回転しながら半導体ウェ
ハ１２のストリートに沿って切削し，極薄のカーフを形
成する。

【００１６】この際，カーフの縁に生じた不定形破断で
あるチッピングや半導体ウェハ１２の異常切削が生じる
ことがある。このチッピングの原因としては，摩擦熱に
より高温化したブレードが切削水により十分に冷却され
ず，目詰まり，磨耗，湾曲，破断することなどが挙げら
れる。半導体ウェハ１２のストリート外に達する程大き
いチッピングが生じた場合には，半導体素子が破壊され
て，歩留まりが低下してしまう。従って，ブレード及び
加工点を十分に冷却するとともに，切削ユニット２０を
精密に制御することが求められる。

【００１７】次に，図２に基づいて，本実施形態におけ
る切削ユニットの全体構成を説明する。なお，図２は，
本実施形態にかかる切削ユニット２０の斜視図である。

【００１８】図２に示すように，切削ユニット２０は，
リング状のブレード２２と，ブレード２２を両側より挟
持するフランジ２４と，切削方向前方から切削水を供給
するシャワーノズル２５と，ブレード２２両側から切削
水を供給する側面ノズル２６と，ホイルカバー２８と，
固定部３０と，側面ノズル２６を支持する支持装置３２
と，固定部３０に対する支持装置３２の相対位置を調整
するアジャスタ装置３４とを有する。

【００１９】リング状のブレード２２は，フランジ２４
に挟持された状態でスピンドル回転軸に軸着され，例え
ば３０ｋｒｐｍで高速回転可能である。高速回転するブ
レード２２が，その外周を半導体ウェハ１２の加工面に
所定量切り込ませながら，加工面に対し相対移動するこ
とで，ストリートに沿った精密な切削が進行する。切削
中には切削水が供給され，ブレード２２及び加工点が冷
却される。

【００２０】フランジ２４は，例えばステンレス等の比
較的硬質な金属などで形成されており，ブレード２２を
両側より挟持して固定する。この際，フランジ２４は，
ブレード２２の両側から略同一の領域を均等な圧力で挟
持するので，ブレード２２が偏圧により湾曲，変形する
ことなく，加工面を略直線的に切削することができる。

【００２１】シャワーノズル２５は，ブレード２２の外
周面と対向して切削方向前方に設置される。本実施形態
にかかるシャワーノズル２５は，ホイルカバー２８と一
体形成されており，図２の点線で示すように，ホイルカ
バー２８の内部に形成された例えば中空円筒状の切削水
用水路２５ｂを有する。また，シャワーノズル２５は，
給水ホースなどと連結されるシャワーノズル給水口２５
ａと，ブレード外周面と対向する側に孔またはスリット
などのシャワーノズル開口２５ｃを有する。

【００２２】給水ホースなどにより供給された例えば純
水などの切削水は，シャワーノズル給水口２５ａを介し
て，切削水用水路２５ｂに導入される。切削水用水路２
５ｂは，切削水をシャワーノズル開口２５ｃに誘導す
る。これにより，シャワーノズル２５は，シャワーノズ
ル開口２５ｃからブレード２２先端に向けて切削水を放
出して，ブレード２２及び加工点を冷却することができ
る。

【００２３】なお，シャワーノズル２５は，ホイルカバ
ー２８と別体に構成されてもよい。また，シャワーノズ
ル２５は，切削方向前方に限らず，ブレード２２上部ま
たは切削方向後方などに配置されてもよく，複数のシャ
ワーノズル開口２５ｃを有してもよい。また，切削ユニ
ット２０は，側面ノズル２６から十分な切削水を供給で
きる場合には，シャワーノズル２５を必ずしも具備する
必要はない。

【００２４】側面ノズル２６は，ブレード２２の両側
（図２では一側を図示せず）に，例えばブレード２２及
び加工面と略平行に設置され，ブレード２２と対向する
側に設けられたスリットなどの開口から，ブレード２２
両側面に向けて切削水を放出する。

【００２５】ホイルカバー２８は，切削水が周辺に飛散
するのを防止するだけでなく，ブレード２２を保護し，
危険防止のためブレード２２が露出しないようにする機
能を有する。なお，本実施形態にかかるホイルカバー２
８には，上記シャワーノズル２５及び後述する固定部３
０が一体形成されている。

【００２６】固定部３０は，例えば，ホイルカバー２８
の切削方向後方側でブレード２２の上方に固定配置され
る。この固定部３０は，図２に示すように，上記ホイル
カバー２８と一体形成されているが，かかる例に限定さ
れず，固定部３０をホイルカバー２８と分離可能または
別体に構成してもよい。

【００２７】支持装置３２は，固定部３０の下方に配置
され，固定部３０に対し垂直方向に移動可能に設けられ
る。この支持装置３２は，２つの側面ノズル２６を一体
的に支持して，当該側面ノズル２６をブレード２２の両
側の好適な位置に配置する機能を有する。なお，本実施
形態では，支持装置３２は，２つの側面ノズル２６を支
持しているが，３以上の側面ノズル２６を支持するよう
に構成してもよい。

【００２８】アジャスタ装置３４は，支持装置３２を固
定部３０に対して固定または移動可能に連結することに
より，固定部３０に対する支持装置３２の相対位置を調
整する機能を有する。なお，このアジャスタ装置３４の
調整機能の詳細については後述する。

【００２９】次に，図３に基づいて，本実施形態にかか
る側面ノズルがブレードに対して切削水を供給する態様
について説明する。なお，図３は，本実施形態にかかる
側面ノズル２６がブレード２２に対して切削水を供給す
る態様を示す説明図であり，図３（ａ）は正面図，図３
（ｂ）は立面図，図３（ｃ）は側面図である。

【００３０】図３（ａ）に示すように，側面ノズル２６
は，支持装置３２に連結される連結部２６ｂと，連結部
２６ｂと連結形成され加工面及びブレード２２と略平行
な略中空円筒状の直線部２６ａとを有する。

【００３１】連結部２６ｂは，上部で支持装置３２と連
結可能であり，内部形成された円筒空洞を通じて，給水
ホースなどにより供給された高圧の切削水を，直線部２
６ａに誘導する機能を有する。

【００３２】直線部２６ａは，全体が略直線の略中空円
筒状であり，その外径は例えば４ｍｍで，内径は例えば
３ｍｍである。直線部２６ａのブレード２２と対向する
側には，切削水を放出するための開口として例えば，ス
リット３６が等間隔で５つ形成されている。開口として
は必ずしもスリット３６に限定されず，孔などであって
もよい。また，スリット３６の設置数は５つに限定され
ず，例えば３〜４つなどでもよく，また，その配置も図
３に示す配置に限らず，例えば，切削方向前方に多数の
スリット３６を配置してもよい。

【００３３】なお，本実施形態にかかる側面ノズル２６
は，直線部２６ａを有したが，かかる例に限定されな
い。例えば，側面ノズル２６の切削水を放出する部分
（本実施形態では直線部２６ａに該当する）が，ブレー
ド２２の外周側面に沿って湾曲していたり，加工面と非
平行であったりしてもよく，側面ノズル２６は多様な形
状に形成しうるものとする。また，本実施形態ではブレ
ード２２両側に側面ノズル２６を設置したが，片側のみ
に設置しても構わない。

【００３４】上記のような構成の側面ノズル２６は，図
３（ｂ）及び図３（ｃ）に示すように，ブレード２２外
周側面下部の両側に，直線部２６ａがブレード２２及び
加工面と略平行になるように設置され，スリット３６か
らブレード２２両側面に向けて切削水を放出する。これ
により，切削水は，被加工物の切削中にブレード２２及
び加工点を冷却することができる。

【００３５】ところで，切削に用いられるブレード２２
のサイズは被加工物や用途などに応じて様々である。具
体的には，ブレード２２の直径は例えば５０ｍｍ，６０
ｍｍなどがあり，その差は少ないとはいえない。このた
め，切削水を有効活用しブレード２２及び加工点を効率
的に冷却するためには，装着されたブレード２２のサイ
ズに応じて，側面ノズル２６の垂直方向の位置を調整し
て，切削水が好適に供給されるようにしなければならな
い。そこで，以下では，本実施形態の特徴である，側面
ノズル２６の位置を容易に調整する機構について詳細に
説明する。

【００３６】まず，図４に基づいて，本実施形態にかか
る固定部，支持装置及びアジャスタ装置の構成及び連結
状態を詳細に説明する。なお，図４は，本実施形態にか
かる固定部３０，支持装置３２及びアジャスタ装置３４
の構成及び連結状態を説明する斜視図である。

【００３７】図４に示すように，固定部３０は，固定部
本体３０ａと，固定部本体３０ａの一側面に形成された
凹部３０ｂとを有する。凹部３０ｂは，後述する支持装
置３４の凸部３２ｂと嵌合することができるように所定
の幅で形成されている。また，固定部本体３０ａには，
略円筒状のねじ穴３４ｃが，凹部３０ｂが形成された面
と垂直な方向に固定部本体３０ａを貫通して形成されて
いる。なお，固定部本体３０ａは，上記のようにホイル
カバー２８と一体形成されており，一端部（図４では右
端部）が延長形成されているが，図４では省略してあ
る。

【００３８】支持装置３２は，側面ノズル２６を支持す
る支持部３２ａと，支持部３２ａの上方に形成された凸
部３２ｂとを有する。支持部３２ａは，加工面に対し垂
直方向に設けられた側面ノズル連結孔３２ａａに，各側
面ノズル２６の連結部２６ｂを挿入して固定すること
で，２つの側面ノズル２６を支持することができる。こ
のため，支持装置３４は２つの側面ノズル２６を一体的
に支持して，同時に移動させることが可能である。ま
た，凸部３２ｂは，支持部３２ａの上方に突出形成され
ており，上記固定部３０の凹部３０ｂと略水平方向に嵌
合可能である。なお，凸部３２ｂには，水平方向と比し
て垂直方向に大きな幅を有する縦長の孔である第１連結
孔３４ｂが，凸部３２ｂを水平方向に貫通して形成され
ている。

【００３９】アジャスタ装置３４は，固定部３０と支持
装置３２を締結固定自在な連結部材としてねじ３４ａ
と，支持装置３２の凸部３２ｂに形成された第１連結孔
３４ｂと，固定部３０に形成されたねじ穴３４ｃとを有
する。ねじ３４ａは，回転自在に第１連結孔３４ｂを貫
通でき，ねじ穴３４ｃと螺合するよう形成されている。
このため，アジャスタ装置３４は，第１連結孔３４ｂを
貫通させたねじ３４ａをねじ穴３４ｃに螺合して締め付
けることにより，嵌合された凸部３２ｂと凹部３０ｂと
を連結して固定することができる。

【００４０】ここで，図５に基づいて，支持装置が固定
部に固定された状態について詳細に説明する。なお，図
５は，本実施形態にかかる固定部３０に固定された支持
装置３２を示す説明図である。図５（ａ）は，固定部３
０に固定された支持装置３２を示す正面図であり，図５
（ｂ）は，固定部３０に固定された支持装置３２を示す
側面図である。

【００４１】図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように，
アジャスタ装置３４のねじ３４ａを締め付ける（例えば
時計回りに回す）ことにより，嵌合された支持装置３２
の凸部３２ｂと固定部３０の凹部３０ｂとの間に隙間が
なくなり，支持装置３２は固定部３０に対し連結固定さ
れて移動できない（締結位置）。このような締結位置で
は，支持装置３２は，固定部３０に対して固定されてい
るので，支持装置３２に支持された側面ノズル２６は所
定位置に安定的に固定される。

【００４２】一方，図６に基づいて，支持装置が固定部
に対して相対移動可能な状態について説明する。なお，
図６は，本実施形態にかかる固定部３０に対して相対移
動可能な支持装置３２を示す側面図である。

【００４３】図６に示すように，アジャスタ装置３４の
ねじ３４ａを弛緩させる（例えば反時計回りに回す）こ
とにより，嵌合された凸部３２ｂと凹部３０ｂとの間に
隙間が生じ，支持装置３２は固定部３０に対し相対移動
が可能になる（弛緩位置）。このような弛緩位置では，
支持装置３２は，固定部３０に対して垂直方向に相対移
動できるので，支持装置３２に支持された側面ノズル２
６もまた加工面に対して垂直な方向に移動可能になる。
このため，弛緩位置では，側面ノズル２６を，ブレード
２２のサイズに応じた好適な位置（例えば，加工面から
の高さ）に移動させることができる。

【００４４】なお，上記のように，凸部３２ｂに形成さ
れた第１連結孔３４ｂは垂直方向に大きい幅を有するの
で，支持装置３２は当該幅の範囲内では自由に移動可能
である。しかし，支持装置３２が上方または下方に大き
く移動し，ねじ３４ａが第１連結孔３４ｂの下端または
上端に到った場合には，支持装置３２はそれ以上の移動
を制限される。これにより，支持装置３２の過度の移動
が原因で，側面ノズル２６などが半導体ウェハ１２に接
触したり，支持装置３２が他の装置などに接触するなど
して，半導体ウェハ１２または各種装置の破損を引き起
こすことを防止できる。一方，第１連結孔３４ｂが過度
に小さいと，支持装置３２の可動範囲が狭まり側面ノズ
ル２６を十分に移動させることができない。このため，
第１連結孔３４ｂの大きさは，使用可能性のあるブレー
ド２２のサイズや周辺各種装置の大きさ及び配置などを
考慮して，好適に決定される。

【００４５】このように，アジャスタ装置３４が締結位
置及び弛緩位置を有することにより，側面ノズル２６の
位置を調整することができる。即ち，ブレード２２のサ
イズ変更などの理由で側面ノズル２６の位置を調整する
必要がある場合には，まず，アジャスタ装置３４のねじ
３４ａを緩めて，支持装置３２を固定部３０に対して相
対移動可能にする。次いで，側面ノズル２６が好適な位
置に配置されるように，支持装置３２を固定部に３０対
し，例えば垂直方向に相対移動させる。さらに，ねじ３
４ａを締め付けて，固定部３０に対して支持装置３２を
固定することにより，側面ノズル２６を当該好適な位置
で固定することができる。

【００４６】以上のように，アジャスタ装置３４は，比
較的簡単な構造であるにもかかわらず，例えばブレード
２２サイズに応じて，側面ノズル２６の位置を，特殊な
工具を用いることなく容易かつ迅速に調整することがで
きる。また，２つの側面ノズル２６を同時に移動できる
ので，迅速に位置調整できる。

【００４７】次に，図７に基づいて，調整目安を用いた
側面ノズルの位置調整について説明する。図７は，本実
施形態にかかる調整目安を用いた側面ノズル２６の位置
調整を説明する説明図である。なお，本実施形態にかか
る調整目安とは，ブレード２２のサイズに応じて側面ノ
ズル２６を好適な位置に配置するために，予め，固定部
３０及び支持装置３２の一側面に形成された調整目盛及
び調整マークのことである。

【００４８】図７に示すように，本実施形態にかかる固
定部３０及び支持装置３２の一側面（オペレータが目視
可能な側が好ましい）上には，調整目盛５０ａと調整マ
ーク５０ｂからなる調整目安５０が形成されている。調
整目盛５０ａは，固定部３０に描かれた，例えば７つの
ブレード２２サイズごとに好適な調整マーク５０ｂの位
置を表す目盛と，当該ブレード２２の直径を表す数字
（例えば５０：直径５０ｍｍのブレード２２に対応する
ことを示す）を有する。また，調整マーク５０ｂは，支
持装置３２に描かれた，例えば１つの頂点が上記調整目
盛５０ａに対向するように配置された略三角形のマーク
である。

【００４９】従って，当該調整マーク５０ｂの頂点を上
記調整目盛５０ａに合わせることにより，ブレード２２
の直径に応じて支持装置３２の位置（即ち，側面ノズル
２６の位置）を好適に調整することができる。このよう
に，調整目安５０は，ブレード２２のサイズに応じた側
面ノズル２６の好適な位置を，調整目盛５０ａと調整マ
ーク５０ｂが対になって表示するものである。なお，当
該側面ノズル２６の好適な位置は，例えば過去の切削実
験などに基づいて冷却効果が高くなるようブレード２２
のサイズごとに設定され，この設定位置に応じて調整目
安５０が形成される。

【００５０】以下に，図７に基づいて，調整目安５０を
利用して側面ノズル２６の位置を調整する方法について
具体的に説明する。

【００５１】図７（ａ）に示すように，例えば直径が５
６ｍｍのブレード２２を用いる場合には，調整マーク５
０ｂが，「５６」と表示された調整目盛５０ａに合うよ
うに，固定部３０に対する支持装置３２の相対位置が調
整されている。これにより，側面ノズル２６は，直径が
５６ｍｍのブレード２２のサイズに応じて加工面から所
定距離上方に配置されているので，好適にブレード２２
及び加工点を冷却することができる。

【００５２】続いて，例えば直径が５６ｍｍのブレード
２２から例えば直径が６０ｍｍのブレード２２に交換さ
れた場合には，側面ノズル２６の加工面からの高さを調
整する必要がある。そこで，まず，ねじ３４ａを緩め，
次いで，図７（ｂ）に示すように，調整マーク５０ｂが
「６０」と表示された調整目盛５０ａに合うように，固
定部３０に対して支持装置３２を相対移動させて，再び
ねじ３４ａを締結する。これにより，側面ノズル２６
は，上記直径５６ｍｍのブレード２２の場合よりも，下
方（加工面に近い方向）に配置され，直径６０ｍｍのブ
レード２２に対応した好適な位置から切削水を放出する
ことができる。

【００５３】以上のように調整目安５０を利用すること
により，支持装置３２上の調整マーク５０ｂを，固定部
３０上のブレード２２サイズに対応する調整目盛５０ａ
に合わせるだけで，容易かつ正確に側面ノズル２６の位
置を調整することができるので，便利であるとともに客
観的な位置調整ができる。

【００５４】以上，添付図面を参照しながら本発明の好
適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に
限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載
された技術的思想の範疇内において各種の変更例または
修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについ
ても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解され
る。

【００５５】例えば，ダイシングする被加工物として
は，ＶＴＲやＦＤＤ等の磁気ヘッド，セラミック，水
晶，ガラス，小型電子部品，リチウムナイオベイトに代
表される圧電結晶材料やフェライトといった脆性材料等
にも適用できる。

【００５６】また，本実施形態にかかるブレード２２は
リング状であるが，本発明はかかる例に限定されず，例
えばハブ（Ｈｕｂ）と切刃部を一体形成したハブブレー
ドなどであってもよい。

【００５７】さらに，上記実施形態において，連結部材
としてねじ３４ａを用いたが，本発明はかかる例に限定
されず，固定部３０と支持装置３２を移動固定可能に連
結し，固定部３０に対する支持装置３２の位置を調整可
能な装置であればよい。例えば，固定部３０に対して回
転自在な位置調整つまみを配設し，支持装置３２を固定
部３０に対して移動可能に配設し，位置調整つまみから
延長形成された雄ねじが螺合する雌ねじを支持装置３２
に形成して，位置調整つまみの運動（回転）に応じて固
定部３０に対する支持装置３２の位置を調整可能に構成
してもよい。

【００５８】また，調整目安５０は，必ずしもブレード
２２の直径に応じた調整目盛５０ａを有さなくともよ
く，例えば，ブレード２２の型番，厚さ，単なる符号や
番号，被加工物の材質などを示す調整目盛５０ａを有し
てもよい。

【００５９】また，調整目安５０は，固定部３０及び／
又は支持装置３２の一側面に形成されなくともよく，オ
ペレータが調整目安５０を参考に側面ノズル２６の位置
調整をできるものであればよい。例えば，固定部３０と
支持装置３２との相対位置，または側面ノズル２６の加
工面からの高さなどを検出するセンサを設け，当該セン
サの検出値と規定値とを比較して，側面ノズル２６の位
置調整を行うなどすることができる。この場合，さらに
固定部３０に対して支持装置３２を自動移動させる駆動
手段を設け，センサの出力に応じて自動的に側面ノズル
２６の位置調整を制御できるよう構成してもよい。

【００６０】なお，切削水が供給される一対の側面ノズ
ル２６の連結部２６ｂを，支持装置３２内部で連結し，
切削水が供給される開口部を１つにして一対の側面ノズ
ル２６に切削水が均等に分配される，如く構成すれば，
各側面ノズル２６から放出される切削水の流量調整が不
要となる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように，本発明におけるダ
イシング装置では，アジャスタ装置を利用して固定部に
対する支持装置の相対位置を調整することができるの
で，支持装置に支持された側面ノズルの位置をブレード
のサイズに応じて容易に調整することができる。また，
自在位置調整装置を利用することで，固定部に対する支
持装置の相対位置を容易に調整できるとともに，微調整
も可能になる。従って，側面ノズルの位置調整の際に，
ホイルカバーを取り外したり，各種工具を用いたりする
必要がないので便利であり，省力化，迅速化が図れる。

【００６２】さらに，調整目安により，側面ノズルの位
置を調整する際に，ブレードのサイズに応じた側面ノズ
ルの好適な調整位置を，正確かつ迅速に判断することが
できる。従って，客観的な側面ノズルの位置調整が可能
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は，第１の実施形態にかかるダイシング装
置の全体斜視図である。

【図２】図２は，第１の実施形態にかかる切削ユニット
の斜視図である。

【図３】図３は，第１の実施形態にかかる側面ノズルが
ブレードに対して切削水を供給する態様を示す説明図で
ある。

【図４】図４は，第１の実施形態にかかる固定部，支持
装置及びアジャスタ装置の構成及び連結状態を説明する
斜視図である。

【図５】図５は，第１の実施形態にかかる固定部に固定
された支持装置を示す説明図である。

【図６】図６は，第１の実施形態にかかる固定部に対し
て相対移動可能な支持装置を示す側面図である。

【図７】図７は，第１の実施形態にかかる調整目安を用
いた側面ノズルの位置調整を説明する説明図である。

【符号の説明】

１０ ： ダイシング装置本体 １２ ： 半導体ウェハ ２０ ： 切削ユニット ２２ ： ブレード ２６ ： 側面ノズル ３０ ： 固定部 ３２ ： 支持装置 ３４ ： アジャスタ装置 ５０ ： 調整目安

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高速回転して被加工物を切削するブレー
   ドと，前記ブレードを挟むように配設された切削水を供
   給する１対の側面ノズルとを備えたダイシング装置にお
   いて，固定部と，前記固定部に対して移動可能に設置さ
   れ，前記側面ノズルを支持する支持装置と，前記固定部
   と前記支持装置とを移動固定可能に連結し，前記固定部
   に対する前記支持装置の位置を調整するアジャスタ装置
   と，を有することを特徴とする，ダイシング装置。
2. 【請求項２】 前記固定部及び前記支持装置の少なくと
   も一側面には，前記固定部に対する前記支持装置の位置
   を調整するための，調整目安が形成されていることを特
   徴とする，請求項１に記載のダイシング装置。