JP2019136845A - 切削ブレードの整形方法 - Google Patents
切削ブレードの整形方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019136845A JP2019136845A JP2018024396A JP2018024396A JP2019136845A JP 2019136845 A JP2019136845 A JP 2019136845A JP 2018024396 A JP2018024396 A JP 2018024396A JP 2018024396 A JP2018024396 A JP 2018024396A JP 2019136845 A JP2019136845 A JP 2019136845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting blade
- cutting
- dresser board
- groove
- side wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 387
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010291 electrical method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
Description
本実施形態では、まず、ドレッサーボードを切削装置2のチャックテーブル10によって保持する保持工程を実施する。図3は、ドレッサーボード13がダイシングテープ38に貼付される様子を示す斜視図である。まず、ダイシングテープ38の外周部に環状のフレーム40を貼付する。そして、切削ブレード32の整形に用いられる平板状のドレッサーボード13の裏面13b側をダイシングテープ38に貼付し、表面13a側が上方に露出した状態にする。
次に、ドレッサーボード13に直線状の溝を形成する溝形成工程を実施する。図5は、ドレッサーボード13に溝が形成される様子を模式的に示す斜視図である。
次に、溝形成工程を経て得られたドレッサーボード13を用いて、切削ブレード32の先端部を整形する整形工程を実施する。図8は、切削ブレード32の先端部が整形される様子を模式的に示す斜視図である。
整形工程では、まず、切削ブレード32の先端部の一方の側面側をドレッサーボード13の側壁に切り込ませ、切削ブレード32の先端部の一方の側面の形状を修正する第1の切削工程を実施する。図9(A)、図9(B)、図9(C)は、第1の切削工程における、溝13cの長さ方向から見た切削ブレード32の先端部とドレッサーボード13に形成された溝13cとを拡大した拡大正面図である。なお、ここでは説明の便宜のため、溝13cの幅と切削ブレード32の厚さとを誇張して示している。
次に、切削ブレード32の先端部の他方の側面側をドレッサーボード13の側壁に切り込ませ、切削ブレード32の先端部の他方の側面の形状を修正する第2の切削工程を実施する。図10(A)、図10(B)、図10(C)は、第2の切削工程における、溝13cの長さ方向から見た切削ブレード32の先端部とドレッサーボード13に形成された溝13cとを拡大した拡大正面図である。なお、第1の側壁13iは、上記の第1の切削工程が完了した後の第1の側壁に相当する。
図9及び図10では、切削ブレード32の高さを一定にした状態で切削ブレード32をドレッサーボード13の側壁に複数回切り込ませる例について説明したが、第1の切削工程及び第2の切削工程ではそれぞれ、切削ブレード32の高さが異なる複数の切削を実施してもよい。以下、整形工程の変形例について説明する。
4 基台
6 カバー
6a 側面
8 切削手段
10 チャックテーブル
10a 保持面
12 カセットテーブル
14 カセット
16 モニター
18 スピンドルハウジング
20 スピンドル
22 ブレードマウント
24 ボス部
26 固定フランジ
28 ナット
30 雄ねじ
32 切削ブレード
32a 一方の側面(第1の側面)
32b 他方の側面(第2の側面)
32c 下端
34 着脱フランジ
36 固定ナット
38 ダイシングテープ
40 フレーム
42 クランプ
44 ホイールカバー
46 パイプ
48 ノズル
11 被加工物
13 ドレッサーボード
13a 表面
13b 裏面
13c 溝
13d 一方の側壁(第1の側壁)
13e 他方の側壁(第2の側壁)
13f 端部
13g 一方の側壁(第1の側壁)
13h 一方の側壁(第1の側壁)
13i 一方の側壁(第1の側壁)
13j 他方の側壁(第2の側壁)
13k 他方の側壁(第2の側壁)
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物に切削加工を施す切削ブレードが装着される切削手段と、を備える切削装置を用いて、該切削ブレードの先端部の側面に傾斜を形成する切削ブレードの整形方法であって、
ドレッサーボードを該チャックテーブルにより保持する保持工程と、
該ドレッサーボードに直線状の溝を形成する溝形成工程と、
該溝の内部で露出した該ドレッサーボードの一方の側壁側に該切削ブレードの先端部の一方の側面側が切り込むように該切削ブレードを位置付けて、該切削ブレードと該ドレッサーボードとを該溝の長さ方向に沿って相対移動させることにより、該切削ブレードの一方の側面側を該ドレッサーボードの一方の側壁側に切り込ませる第1の切削工程と、
該溝の内部で露出した該ドレッサーボードの他方の側壁側に該切削ブレードの先端部の他方の側面側が切り込むように該切削ブレードを位置付けて、該切削ブレードと該ドレッサーボードとを該溝の長さ方向に沿って相対移動させることにより、該切削ブレードの他方の側面側を該ドレッサーボードの他方の側壁側に切り込ませる第2の切削工程と、を備え、
該第1の切削工程及び該第2の切削工程により、該切削ブレードの先端部の一方の側面及び他方の側面に傾斜を形成することを特徴とする切削ブレードの整形方法。 - 該第1の切削工程と該第2の切削工程とを交互に実施することを特徴とする請求項1記載の切削ブレードの整形方法。
- 該第1の切削工程を複数回連続して実施し、該切削ブレードの先端部の一方の側面に傾斜を形成した後に、該第2の切削工程を複数回連続して実施し、該切削ブレードの先端部の他方の側面に傾斜を形成することを特徴とする請求項1記載の切削ブレードの整形方法。
- 該溝形成工程において、該切削ブレードを該チャックテーブルに保持された該ドレッサーボードに切り込ませることによって、該溝を形成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の切削ブレードの整形方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018024396A JP7114169B2 (ja) | 2018-02-14 | 2018-02-14 | 切削ブレードの整形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018024396A JP7114169B2 (ja) | 2018-02-14 | 2018-02-14 | 切削ブレードの整形方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019136845A true JP2019136845A (ja) | 2019-08-22 |
JP7114169B2 JP7114169B2 (ja) | 2022-08-08 |
Family
ID=67692810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018024396A Active JP7114169B2 (ja) | 2018-02-14 | 2018-02-14 | 切削ブレードの整形方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7114169B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210078204A1 (en) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | Disco Corporation | Cutting blade and manufacturing method of cutting blade |
JP7418916B2 (ja) | 2020-01-31 | 2024-01-22 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの位置検出方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0752041A (ja) * | 1993-08-19 | 1995-02-28 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置における切刃のドレス方法及び装置 |
US6361412B1 (en) * | 1998-02-17 | 2002-03-26 | Michael Kaiser | Process and rotary point crush truer for dressing grinding wheels with profiled working surfaces |
JP2004160583A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Toshiba Mach Co Ltd | ツルーイング方法 |
JP2007331059A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Canon Inc | ダイヤモンドブレードのドレッシング方法 |
JP2010142890A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 切削部材の外周形状の修正方法、ドレッサーボード及び切削装置 |
-
2018
- 2018-02-14 JP JP2018024396A patent/JP7114169B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0752041A (ja) * | 1993-08-19 | 1995-02-28 | Toyo A Tec Kk | スライシング装置における切刃のドレス方法及び装置 |
US6361412B1 (en) * | 1998-02-17 | 2002-03-26 | Michael Kaiser | Process and rotary point crush truer for dressing grinding wheels with profiled working surfaces |
JP2004160583A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Toshiba Mach Co Ltd | ツルーイング方法 |
JP2007331059A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Canon Inc | ダイヤモンドブレードのドレッシング方法 |
JP2010142890A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 切削部材の外周形状の修正方法、ドレッサーボード及び切削装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210078204A1 (en) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | Disco Corporation | Cutting blade and manufacturing method of cutting blade |
JP7418916B2 (ja) | 2020-01-31 | 2024-01-22 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの位置検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7114169B2 (ja) | 2022-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4913517B2 (ja) | ウエーハの研削加工方法 | |
US7608523B2 (en) | Wafer processing method and adhesive tape used in the wafer processing method | |
JP5717571B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6144107B2 (ja) | ウェーハの切削方法 | |
JP6576135B2 (ja) | 切削ブレードの先端形状成形方法 | |
KR20200014195A (ko) | 칩 제조 방법 | |
JP7114169B2 (ja) | 切削ブレードの整形方法 | |
JP5313014B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP5340832B2 (ja) | マウントフランジの端面修正方法 | |
JP6692578B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6137798B2 (ja) | レーザー加工装置及び保護膜被覆方法 | |
TWI759496B (zh) | 修整方法 | |
JP2017213613A (ja) | ドレッサーボード及びドレス方法 | |
JP2019005878A (ja) | 環状の砥石 | |
JP5460147B2 (ja) | 切削ブレードのドレッシング方法 | |
JP6563766B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2012187693A (ja) | ドレス材及びドレッシング方法 | |
JP2014054713A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP5448613B2 (ja) | 切削ブレードのドレッシング方法 | |
JP6478794B2 (ja) | 角度付き切削ブレードの製造方法 | |
JP2013187275A (ja) | 加工方法 | |
JP2024035879A (ja) | 被加工物の切削方法 | |
JP2004288962A (ja) | ダイシング方法 | |
JP2022097925A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2022041697A (ja) | 切削装置及び被加工物の切削方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220726 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220726 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7114169 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |