JP6692578B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
1a 表面
1b 裏面
3 分割予定ライン
5 デバイス
7 デバイス形成領域
9 外周余剰領域
11 保護部材
13 凹部
15 環状補強部
17 金属膜
19 分断溝
21 分割溝
2 レーザ加工装置
6 スライドブロック
8 X軸送り機構(加工送り手段)
10 筐体
10a 開口
12 Y軸送り機構(割り出し送り手段)
14 チャックテーブル
14a 筒状枠体
14b 保持部
14c モータ
14d ベルト
16 コラム
18 レーザビーム発振手段
20 ケーシング
22 集光器
24 レーザビーム照射部(手段)
26 カメラユニット(撮像手段)
28 スライドブロック
28a Y軸送り機構
30 コラム
32 コントローラ
40 研削装置
42 チャックテーブル
44 研削ユニット(研削手段)
46 スピンドル
48 研削ホイール
50 研削砥石
60 減圧成膜装置
62 チャンバー
64 保持テーブル
66 スパッタ源
68 励磁部材
70 高周波電源
72 導入口
74 減圧口
80 切削装置
82 チャックテーブル
84 切削手段
86 スピンドル
88 切削ブレード
90 ダイシングテープ
92 フレーム
94 切削装置
94a 切削ブレード
Claims (2)
- 交差する複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域のそれぞれにデバイスを有するデバイス形成領域と、該デバイス形成領域を囲繞する外周余剰領域と、を表面に有するウェーハの加工方法であって、
ウェーハの裏面のうち該デバイス形成領域に相当する領域を研削して凹部を形成するとともに該凹部の外周側に環状補強部を形成する裏面研削工程と、
該ウェーハの裏面を金属膜で被覆する金属膜被覆工程と、
該環状補強部を除去する環状補強部除去工程と、
該ウェーハの裏面側から分割予定ラインに沿ってウェーハに対して吸収性を有するレーザビームを照射して該ウェーハの裏面を被覆する該金属膜を分断する分断溝を形成する分断溝形成工程と、
該ウェーハの裏面側にダイシングテープを貼着するダイシングテープ貼着工程と、
該ウェーハの表面側から分割予定ラインに沿って切削ブレードで切削して該ウェーハを複数のデバイスチップに分割する分割工程と、
を備え、
該分割工程では、該ウェーハの該表面側から切り込ませた該切削ブレードは、該ウェーハの該裏面側に達し、
該分断溝形成工程で形成される該分断溝の幅は、該切削ブレードの幅よりも広いことを特徴とするウェーハの加工方法。 - 前記分断溝形成工程は、
ウェーハの表面側を保持する透明な保持部を有する保持手段と、
該保持手段に保持された該ウェーハの裏面側にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段と、
該保持手段と該レーザビーム照射手段とを加工送り方向に相対的に送る加工送り手段と、
該保持手段と該レーザビーム照射手段とを割り出し送り方向に相対的に送る割り出し送り手段と、
該保持手段に保持された該ウェーハの表面側を透明な該保持部を通して撮像する撮像手段と、を備える加工装置を用いて、
該ウェーハの表面側から撮像手段によってウェーハの表面側を撮像し、該分割予定ラインに沿って該ウェーハの裏面側からレーザビームを照射して該ウェーハの裏面を被覆する金属膜を分断する分断溝を形成することを特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
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