JP2014236072A - 多層配線基板 - Google Patents
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Abstract
Description
ガラスセラミックからなる複数の絶縁層と、
前記絶縁層間に形成された複数の内部導体層と、
前記絶縁層を貫通して、異なる層位置に存在する前記内部導体層の相互間を接続するビア導体と、
前記絶縁層の積層方向における少なくとも一方の外表面に形成された表面導体層と、を有するガラスセラミック多層配線基板であって、
前記表面導体層が形成された前記外表面から所定厚み範囲内の前記絶縁層を外側絶縁層と規定し、当該外側絶縁層よりも内側に位置する前記絶縁層を内側絶縁層と規定した場合に、
前記外側絶縁層に含まれる外装用フィラーの扁平・球形度を示す第1アスペクト比が、前記内側絶縁層に含まれる内装用フィラーの扁平・球形度を示す第2アスペクト比に比較して大きく、
前記外側絶縁層の熱膨張係数が前記内側絶縁層の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする。
図1は、本実施形態のガラスセラミック多層配線基板の模式断面図である。図1においては、基板内に任意のピッチで配置された回路を構成する基本構造体の1つについて中央付近の断面を示してある。なお、このことは、後述する図2、図5A〜図5D、図7においても同様である。
本実施形態のガラスセラミック配線基板10(10aも同様/以下同様)の外側絶縁層11a,11hを構成するガラスセラミックに含まれる外装用フィラーは、特に限定されないが、好ましくは、板状アルミナフィラーで構成される。板状アルミナフィラーの平均粒径は、好ましくは2〜10μmであり、より好ましくは2〜5μmである。このような粒径範囲の場合において、基板の強度向上を図りつつ、配線基板の配線ピッチが小さい場合であっても、電子部品等の電気特性に影響を及ぼすおそれが少ない。
本実施形態のガラスセラミック多層配線基板10において、内側絶縁層11b〜11gを構成するガラスセラミックに含まれる内装用フィラーとしては、不定形状または球形のセラミックフィラーが好ましい。この内装用フィラーの平均粒径は、外装用フィラーの平均粒径よりも小さいことが好ましく、具体的には、好ましくは0.5〜10μmであり、より好ましくは1〜5μmである。
絶縁層11a〜11hに含まれるガラス材料としては、たとえば、(1)非晶質ガラス系材料および、(2)結晶化ガラス系材料の少なくとも1種からなるガラス粉末が挙げられる。(2)結晶化ガラス系材料は、加熱焼成時に多数の微細な結晶がガラス成分中に析出した材料であり、ガラスセラミックともいう。
無収縮焼成法は、ガラスセラミックの寸法精度向上を目的として使用される。未焼結セラミック積層体の両面に、セラミック基板材料の焼成温度では焼結しない難焼結性素材の可溶性のグリーンシート(収縮抑制用グリーンシート)を接合してx−y方向の収縮を抑制する方法が主に使用されている。このような難焼結性素材の可溶性のグリーンシートは、焼成過程および焼成後にx−y方向の収縮を抑制する拘束層としてはたらくことで収縮時の寸法ばらつきを抑制し、寸法精度の向上がはかられる。
このような焼成過程および焼成後に拘束層となる収縮抑制用グリーンシートに用いられる材料(以下、「収縮抑制材」という)としては、たとえば、トリジマイト、クリストバライト、石英、溶融石英、アルミナ、ムライト、ジルコニア、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、炭化ケイ素および炭酸カルシウムが挙げられる。
次に、本発明のガラスセラミックス多層配線基板の製造方法の好適な実施形態を、ガラスセラミック多層配線基板10を例にして説明する。図5A〜図5Dは、図1に示すガラスセラミック多層配線基板10の製造方法を説明するための工程断面図である。
[ガラスセラミックス多層配線基板の作製]
ガラス粉末(SiO2 、B2 O3 、Al2 O3 およびSrOを主成分とするガラス)と板状アルミナフィラー(外装用フィラー)と不定形状のアルミナフィラー(内装用フィラー)とを準備した。板状アルミナフィラーおよび不定形状アルミナフィラーとしては、表1における板状アルミナフィラーAおよび不定形状アルミナフィラーAを使用した。
[ガラスセラミックス多層配線基板の作製]
表2に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラーとしては、表1における板状アルミナフィラーCおよび不定形状アルミナフィラーAを使用した以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミックス多層配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、ビア導体比率を変化させた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラーとしては、表1における板状アルミナフィラーAおよび不定形状ムライトフィラーAを使用し、それぞれのフィラー量を調整することでセラミック層の線膨張係数を変化させた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、内装用フィラーとしては、表1における不定形状アルミナフィラーAを使用し、外装用フィラーとしては、板状アルミナフィラーAに所定量の熔融シリカ(SiO2 )フィラー(アスペクト比が1で球状/平均粒径が1μm)を添加したものを用い、ビア導体比率を変化させた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における板状アルミナフィラーAを使用し、それぞれのフィラー量を23体積%と同じにし、ビア導体比率を変化させた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における不定形状のアルミナフィラーAを使用し、それぞれのフィラー量を30体積%と同じにした以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、各フィラーの添加量以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。すなわち、内装用フィラーとしての不定形状アルミナフィラーAの添加量を10体積%とし、外装用フィラーとしての板状アルミナフィラーAの添加量を28体積%とし、実施例1とは逆に、外側絶縁層の線膨張係数が、内側絶縁層のそれよりも大きくなるようにして、ガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、各フィラーの添加量以外は、実施例4と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。すなわち、内装用フィラーとしての不定形状ムライトフィラーAの添加量を30体積%とし、外装用フィラーとしての板状アルミナフィラーAの添加量を28体積%とし、実施例4とは逆に、外側絶縁層の線膨張係数が、内側絶縁層のそれよりも大きくなるようにして、ガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、内装用フィラーとして表1における板状のアルミナフィラーAを使用し、外装用フィラーとして不定形状アルミナフィラーAを使用し、それぞれ所定のフィラー量となるように調整し、アスペクト比の関係が実施例1とは逆の関係となる以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表2に示すように、内装用フィラーの添加量を変化させ、線膨張係数の関係が比較例7とは逆の関係となる以外は、比較例7と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
表2に示すように、各実施例および比較例に係るサンプル基板について、下記の方法により、ビア導体比率と、基板サンプルの外表面の平坦度と、基板強度を求めた。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表3に示すように、内装用フィラーとしては、表1における不定形状アルミナフィラーBを使用し、外装用フィラーとしては、板状アルミナフィラーBを使用し、各フィラーの添加量を調整して線膨張係数を所定の関係とし、内側絶縁層および外側絶縁層のトータル厚みを変化させた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミックス配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表3に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における不定形状のアルミナフィラーBを使用し、それぞれのフィラー量を33体積%と同じにした以外は、実施例10と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表3に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における板状のアルミナフィラーBを使用し、それぞれのフィラー量を22体積%および25体積%にした以外は、実施例10と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
表3からも分かるように、基板厚みが薄い場合においても、表2に示す結果と同様な結果が得られた。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表4に示すように、ビア導体比率が40%および50%の基板を用いた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミックス配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
表4に示すように、外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における板状アルミナフィラーAを使用し、それぞれのフィラー量を30体積%と同じにした以外は、実施例20および21と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
ガラス粉末(SiO2 、CaO、MgOを主成分とするディオプサイド結晶ガラス)を用い、外装用フィラーとして表1に示す板状アルミナフィラーBを用い、各フィラーの添加量とビア導体比率を変化させた以外は、実施例1と同様の方法にてガラスセラミック多層配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における不定形状アルミナフィラーAを使用し、それぞれのフィラー量を28体積%と同じにした以外は、実施例22と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
[ガラスセラミック多層配線基板の作製]
外装用フィラーおよび内装用フィラー共に、表1における板状アルミナフィラーBを使用し、それぞれのフィラー量を20体積%と同じにした以外は、実施例22と同様の方法にてガラスセラミック配線基板を作製した。
1b,1c,1d,1e,1f,1g…内側絶縁層用グリーンシート、
2…ビア導体パターン、
3…内部導体パターン、
4…表面導体パターン、
5…収縮抑制用グリーンシート、
10,10a,100…ガラスセラミック多層配線基板
11a,11h…外側絶縁層
11b,11c,11d,11e,11f,11g…内側絶縁層、
12…ビア導体、
13…内部導体層、
14…表面導体層、
30…外装用フィラー、
40,41…内装用フィラー
50…支持台
100…基本構造体
Claims (8)
- ガラスセラミックからなる複数の絶縁層と、
前記絶縁層間に形成された複数の内部導体層と、
前記絶縁層を貫通して、異なる層位置に存在する前記内部導体層の相互間を接続するビア導体と、
前記絶縁層の積層方向における少なくとも一方の外表面に形成された表面導体層と、を有するガラスセラミック多層配線基板であって、
前記表面導体層が形成された前記外表面から所定厚み範囲内の前記絶縁層を外側絶縁層と規定し、当該外側絶縁層よりも内側に位置する前記絶縁層を内側絶縁層と規定した場合に、
前記外側絶縁層に含まれる外装用フィラーの扁平・球形度を示す第1アスペクト比が、前記内側絶縁層に含まれる内装用フィラーの扁平・球形度を示す第2アスペクト比に比較して大きく、
前記外側絶縁層の熱膨張係数が前記内側絶縁層の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とするガラスセラミック多層配線基板。 - 前記外側絶縁層のトータル厚みの割合が、前記多層配線基板のトータル厚みに対して、5〜20%である請求項1に記載のガラスセラミック多層配線基板。
- 前記多層配線基板中における厚み方向に最も長い前記ビア導体の長さを、前記多層配線基板のトータル厚みで割り算した値として定義されるビア導体比率が0.4以上である請求項1または2に記載のガラスセラミック多層配線基板。
- 前記第2アスペクト比が2以下である請求項1〜3のいずれかに記載のガラスセラミック多層配線基板。
- 前記第1アスペクト比が25以上である請求項1〜4のいずれかであるガラスセラミック多層配線基板。
- 前記外装用フィラーがアルミナで構成してある請求項1〜5のいずれかに記載のガラスセラミック多層配線基板。
- 前記外装用フィラーの平均粒径が、前記内装用フィラーの平均粒径よりも大きい請求項1〜6のいずれかに記載のガラスセラミック多層配線基板。
- 前記外側絶縁層を構成するガラスセラミックのガラスと、前記内側絶縁層を構成するガラスセラミックのガラスとが、同じ組成を有している請求項1〜7のいずれかに記載のガラスセラミック多層配線基板。
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