JP2014180753A - 半導体材料ウェハを研磨するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも1つの半導体材料ウェハを研磨するための方法であって、硬質研磨パッドによる、少なくとも1つの半導体材料ウェハの表面および裏面の第1の同時両面研磨のステップと、エッジ−ノッチ研磨のステップと、より軟質な研磨パッドによる、少なくとも1つの半導体材料ウェハの表面および裏面の第2の同時両面研磨のステップと、表面の最終片面ミラー研磨のステップとをこの順に含む、方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、2つのFF−DSP段階の間にエッジ−ノッチ研磨を有する2段階浮動自在両面研磨プロセス(FF−DSPプロセス)と、半導体材料ウェハの表面の最終片面仕上げ研磨(ミラー研磨)とを含む、半導体材料基板を研磨するための方法に関する。本発明に従う方法は、すべてのウェハ直径に対して好適であり、特に、300mm以上の直径を有する半導体材料ウェハを研磨するために好適である。
Claims (8)
- 研磨剤を供給しつつ、少なくとも1つの半導体材料ウェハを研磨するための方法であって、
a) 第1の研磨パッドによる表面および裏面の第1の同時両面研磨のステップと、
b) エッジ−ノッチ研磨のステップと、
c) 第2の研磨パッドによる前記表面および前記裏面の第2の同時両面研磨のステップと、
d) 前記表面の片面研磨のステップとをこの順に含み、
前記第1の同時両面研磨のための上部および下部研磨パッドは、前記第2の同時両面研磨のための上部および下部研磨パッドよりも硬質であり、かつ圧縮可能でない、方法。 - 前記第1の同時両面研磨のための前記研磨パッドは、少なくとも80ショアAの硬度および最大で3%の圧縮率を有する発泡ポリマーからなり、前記第2の同時両面研磨のための前記研磨パッドは、80ショアA未満の硬度および3%より大きい圧縮率を有するポリマー含浸不織繊維からなる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の同時両面研磨のための前記研磨パッドは、少なくとも80ショアAの硬度および最大で3%の圧縮率を有する発泡ポリマーからなり、前記第2の同時両面研磨のための前記研磨パッドは、前記第2の研磨ステップ中に、80ショアA未満の硬度を有し、かつ3%より大きい圧縮率を有する発泡ポリマーからなる、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの半導体材料ウェハの前記表面は、前記第1の同時両面研磨中に前記上部研磨パッド上で研磨される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1の同時両面研磨のための前記研磨剤は、たとえばKOHなどの強アルカリを含有し、前記第2の同時両面研磨のための前記研磨剤は、強アルカリを含有しない、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1の同時両面研磨中に、1面当たり8μm〜12μmの材料摩耗が生じ、前記第2の同時両面研磨中に、1面当たり2μm以下の材料摩耗が生じる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記表面の片面研磨中に、1μm以下の材料摩耗が生じる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2の同時両面研磨の研磨温度は、20℃〜60℃の範囲内である、請求項1または2に記載の方法。
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