JP2014170686A - 表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置 - Google Patents

表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置 Download PDF

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健太郎 三浦
Tatsunori Sakano
竜則 坂野
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信美 斉藤
Shintaro Nakano
慎太郎 中野
Yuya Maeda
雄也 前田
Hajime Yamaguchi
一 山口
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Abstract

【課題】信頼性が高い表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置を提供する。
【解決手段】
実施形態によれば、基体の主面の上に剥離層を形成する工程と、樹脂層を形成する工程と、バリア層を形成する工程と、配線層を形成する工程と、表示層を形成する工程と、剥離する工程と、を含む表示素子の製造方法が提供される。前記主面は、前記表示素子の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周りに設けられた第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間に設けられた第3領域と、を含む。前記樹脂層は、前記第1領域の上に形成された第1樹脂部と、前記第2領域の上に形成された第2樹脂部とを含む。前記樹脂層は、第1透水率を有する。前記バリア層は、前記第1透水率よりも低い第2透水率を有する。
【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置に関する。
モバイル機器の急速な広がりとともに、可撓性を持つシートタイプの表示素子へのニーズが高まっている。このような表示素子において、信頼性の向上が求められている。
特開2011−243583号公報
本発明の実施形態は、信頼性が高い表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、剥離層を形成する工程と、樹脂層を形成する工程と、バリア層を形成する工程と、配線層を形成する工程と、表示層を形成する工程と、剥離する工程と、を含む表示素子の製造方法が提供される。前記剥離層を形成する工程においては、基体の主面の上に、第1線膨張係数を有する剥離層を形成する。前記主面は、前記表示素子の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周りに設けられた第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間に設けられた第3領域と、を含む。前記剥離層を形成する工程においては、前記第1領域の上に位置する第1剥離部と、前記第2領域の上に位置する第2剥離部と、前記第3領域の上に位置する第3剥離部と、を含む剥離層を形成する。前記樹脂層を形成する工程においては、前記剥離層の上に、前記第1剥離部の上に位置する第1樹脂部と、前記第2剥離部の上に位置する第2樹脂部と、を含み、第1透水率と、前記第1線膨張係数とは異なる第2線膨張係数と、を有する樹脂層を形成する。前記バリア層を形成する工程においては、前記第1樹脂部、前記第2樹脂部及び前記第3剥離部の上に、前記第1透水率よりも低い第2透水率を有するバリア層を形成する。前記配線層を形成する工程においては、前記バリア層の上に配線層を形成する。前記表示層を形成する工程においては、第1樹脂部上の前記配線層の少なくとも一部の上に表示層を形成する。前記剥離する工程においては、前記第1剥離部を前記第1樹脂部から剥離し、前記第2剥離部を前記第2樹脂部から剥離する。
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る表示素子を示す模式図である。 図2(a)〜図2(d)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を示す工程順模式的断面図である。 図3(a)〜図3(d)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を示す工程順模式的断面図である。 図4(a)〜図4(d)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を示す工程順模式的断面図である。 図5(a)及び図5(b)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を示す工程順模式的平面図である。 図6(a)及び図6(b)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を示す工程順模式的平面図である。 図7(a)〜図7(c)は、第2の実施形態に係る表示装置及びその製造方法を示す工程順模式的断面図である。 図8(a)及び図8(b)は、第2の実施形態に係る別の表示装置及びその製造方法を示す工程順模式的断面図である。 図9(a)〜図9(d)は、第2の実施形態に係る別の表示装置及びその製造方法を示す工程順模式的断面図である。 図10(a)〜図10(d)は、第2の実施形態に係る別の表示装置を示す模式図である。 第3の実施形態に係る表示素子を示す模式的断面図である。
以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施形態)
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る表示素子を例示する模式図である。 図1(a)は、表示素子110の模式的平面図である。図1(b)は、図1(a)のA1−A2線断面図である。図1(c)は、図1(b)の一部の拡大図である。
図1(a)に表したように、表示素子110は、表示領域Daと、周辺領域Paとを有する。表示領域Daにおいて、表示が行われる。周辺領域Paは、表示領域Daの周りに設けられている。
図1(b)に表したように、表示素子110は、樹脂層20と、バリア層31と、配線層40と、表示層50と、第1保護層32と、を含む。樹脂層20の上に、バリア層31が設けられる。バリア層31の上に、配線層40が設けられる。配線層40の一部の上に、表示層50が設けられる。表示層50及び配線層40の一部の上に、第1保護層32が設けられる。
本願明細書において、「上に設けられる」状態は、直接接して設けられる状態の他に、間に他の層が挿入される状態も含む。
樹脂層20から表示層50に向かう方向を積層方向(Z軸方向)とする。Z軸方向と直交する1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向と直交する方向をY軸方向とする。
樹脂層20は、第1樹脂部21と第2樹脂部22とを含む。積層方向に対して垂直な平面に投影したときに、第1樹脂部21は、表示領域Daと重なる。第2樹脂部22は、周辺領域Paの一部に対応する位置に設けられる。
樹脂層20は、例えば、耐熱性、耐薬品性、寸法安定性を有することが好ましい。樹脂層20には、例えば、ポリイミド樹脂が用いられる。樹脂層20には、例えば、アクリル、アラミド、エポキシ、環状ポリオレフィン、または、液晶ポリマーを用いてもよい。樹脂層20には、高耐熱性樹脂を用いてもよい。この高耐熱性樹脂として、例えば、パラキシリレン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、及び、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)の少なくともいずれかを用いることができる。
例えば、表示素子110において、樹脂層20側から光を取り出す構造とする場合は、樹脂層20は、可視光領域において透光性を有することが好ましい。この場合、樹脂層20には、例えば、透明ポリイミド樹脂、または、透明アラミド樹脂が用いられる。
バリア層31は、第1樹脂部21及び第2樹脂部22の上に設けられる。バリア層31は、第1樹脂部21の第1側面21sを覆う。この例では、バリア層31は、第2樹脂部22の第2側面22sも覆っている。バリア層31は、例えば、第1樹脂部21と第2樹脂部22との間にも設けられる。
バリア層31の透水率(第2透水率)は、樹脂層20の透水率(第1透水率)よりも低い。バリア層31は、例えば、樹脂層20よりも酸素透過率が低い。バリア層31には、無機材料が用いられる。この無機材料として、例えば、シリコン窒化膜(SiN)、シリコン酸窒化膜(SiO)、シリコン酸化膜(SiO)及びアルミ酸化膜(AlO)の少なくともいずれかが用いられる。
バリア層31は、例えば、無機膜と有機樹脂膜との積層膜を有してもよい。これにより、応力が緩和され、クラックの発生が抑制される。この有機樹脂膜には、例えば、ポリイミド、アクリル、または、パラキシリレン系樹脂などが用いられる。バリア層31として積層膜を用いる場合には、バリア層31の最上層には、シリコン酸化膜(SiO)やアルミ酸化膜(AlO)などの無機材料を用いることが好ましい。
表示層50は、第1樹脂部21の一部の上に設けられる。表示層50は、例えば、有機発光層を含む。表示層50は、例えば、配線層40を介して供給される電圧及び電流の少なくともいずれかに応じて、透過率、反射率、散乱率、吸収率、及び、屈折率の少なくともいずれかを含む光学特性の変化、及び、光の放出の少なくともいずれかを生じる層を含んでもよい。表示層50は、例えば、表示のための光を放出する。表示層50は、光をスイッチングしても良い。例えば、表示層50は、光を変調しても良い。
第1保護層32には、例えば、無機材料が用いられる。無機材料には、例えば、シリコン窒化膜(SiN)、シリコン酸窒化膜(SiO)、シリコン酸化膜(SiO)及びアルミ酸化膜(AlO)の少なくともいずれかが用いられる。第1保護層32には、バリア層31と同じ材料を用いてもよいし、異なる材料を用いてもよい。第1保護層32の透水率(第3透水率)は、例えば、樹脂層20の透水率(第1透水率)よりも低い。
図1(b)に表したように、表示素子110においては、表示領域Daに、樹脂層20(第1樹脂部21)と表示層50とが設けられている。樹脂層20は、水分や酸素の侵入を十分に抑制することができない場合がある。表示素子110においては、第1樹脂部21の第1側面21sを、バリア層31で覆っているため、例えば、第1側面21sから、水分や酸素が第1樹脂部21に侵入することを抑制できる。従って、配線層40や表示層50に水分や酸素が浸入することが抑制されるので、表示素子110においては、高い信頼性が得られる。
この例では、表示素子110は、接着層60と支持体70とをさらに含んでいる。
接着層60は、支持体70と第1保護層32との間に設けられる。この例では、支持体70は、接着層60により第1保護層32に接着されている。
接着層60には、例えば、感圧型の材料、熱硬化性材料、または、紫外線硬化性材料、などが用いられる。接着層60には、透水率が低い材料を用いることが好ましい。接着層60には、例えば、エポキシ樹脂やアクリル樹脂が用いられる。接着層60に熱硬化性材料を用いる場合、100℃程度の温度で硬化することが望ましい。これにより、表示層50の劣化が抑制できる。
接着層60の厚さは、例えば、500nm以上50μmである。接着層60の厚さをこの範囲とすることで、接着層60に含まれる水や酸素が低減される。また、接着層60からの水分や酸素の侵入を抑制できる。
接着層60は、例えば、水分吸着剤または乾燥剤を含んでもよい。これにより、接着層60の信頼性が高まる。
支持体70には、例えば、シリコン窒化膜(SiN)、シリコン酸窒化膜(SiO)、シリコン酸化膜(SiO)及びアルミ酸化膜(AlO)の少なくともいずれかが用いられる。支持体70は、水分や酸素に対して高いバリア性を有することが好ましい。支持体70は、例えば、可撓性を有していても良い。支持体70には、例えば、フィルムが用いられる。このフィルムの厚さは、例えば、10μm以上250μm以下である。ディスプレイの柔軟性が求められる用途では、100μm以下が望ましい。
表示素子110においては、例えば、第1透水率を有する樹脂層20と、樹脂層20の上に設けられ第1透水率よりも低い第2透水率を有するバリア層31と、バリア層31の上に設けられた表示層50と、が設けられている。また、樹脂層20から表示層50に向かう第1方向に対して交差する第2方向において離間する回路基板220と、回路基板220の上に設けられ第1透水率よりも低い第3透水率を有する第1保護層32と、配線層40と、がさらに設けられる。配線層40は、例えば、バリア層31と表示層40との間に設けられた第1部分と、回路基板220と第1保護層32との間に設けられた第2部分と、を含む。第2方向に対して垂直な平面に投影したときに、配線層40の第2部分は、樹脂層20と重なる。
表示装置110においては、例えば、配線層40の第2部分が、第1部分よりも下側(積層方向と反対側)に位置する構造となっている。このため、実装時の歩留まりが向上する。
図1(c)は、表示領域Daを含む部分αを拡大した模式的断面図である。
図1(c)に表したように、配線層40は、例えば、薄膜トランジスタ90(TFT)を含む。薄膜トランジスタ90は、ゲート電極91、ゲート絶縁膜41、チャネル層92、チャネル保護層42、ソース電極93及びドレイン電極94を含む。配線層40は、さらに、パッシベーション層43、平坦化層44、画素電極45及びバンク46を含む。
例えば、バリア層31の上に、ゲート電極91が形成される。このときに、ゲート電極91と接続されたゲート配線(図示しない)も形成される。ゲート電極91及びゲート配線は、例えば、スパッタリング法等により金属薄膜を形成し、フォトリソグラフィ法等で形成したレジストパターンをマスクとして用い、金属薄膜の一部をエッチングすることで形成される。金属薄膜には、例えば、Ti、Ta、Mo、W、Al、Cu及びAgのいずれか、または、これらのいずれかを含む合金が用いられる。金属薄膜には、単層膜または積層膜を用いることができる。
ゲート電極91及びバリア層31の上に、ゲート絶縁膜41が形成される。ゲート絶縁膜41は、例えば、化学気相成長法(CVD)、原子層堆積法(ALD)、またはスパッタリング法により形成される。ゲート絶縁膜41には、例えば、シリコン窒化膜(SiN)、シリコン酸窒化膜(SiO)、シリコン酸化膜(SiO)及びアルミ酸化膜(AlO)の少なくともいずれかが用いられる。
ゲート絶縁膜41の上に、チャネル層92が形成される。チャネル層92は、例えば、ゲート絶縁膜41の上に、スパッタリング法等によってチャネル膜を形成し、フォトリソグラフィ法等でパターニングすることで形成される。
チャネル層92となるチャネル膜には、例えば、酸化物半導体材料が用いられる。チャネル膜には、例えば、InGaZnOが用いられる。チャネル膜には、例えば、InSnZnO、InOまたはInZnOを用いてもよい。チャネル膜には、例えば、有機半導体材料、ポリシリコンまたはアモルファスシリコンを用いてもよい。有機半導体材料には、例えば、ペンタセンを用いることができる。チャネル層92にアモルファスシリコンを用いる場合、例えば、ソース電極93及びドレイン電極94とのコンタクトのためにn+a−Si層を形成する。
チャネル層92及びゲート絶縁膜41の上に、例えば、チャネル保護層42が形成される。チャネル保護層42には、例えば、シリコン酸化膜(SiO)やアルミ酸化膜(AlO)が用いられる。バリア性を高めるために、シリコン窒化膜(SiN)、シリコン酸窒化膜(SiO)、シリコン酸化膜(SiO)及びアルミ酸化膜(AlO)の少なくとも2つの膜を含む積層膜を用いてもよい。例えば、スパッタリング法等によってチャネル保護層42となるチャネル保護膜を形成し、そのチャネル保護膜にコンタクトホールを形成して、チャネル保護層42が形成される。同時に、チャネル保護膜にゲート配線とのコンタクトホールを形成してもよい。裏面露光を用いたセルフアライン法によるパターニングを行ってチャネル保護層42を形成してもよい。これにより、加工精度が向上し、例えば、微細な薄膜トランジスタ90を得ることができる。
チャネル保護層42を用いないバックチャネルカット型の薄膜トランジスタ90を用いてもよい。チャネル層92に酸化物半導体材料を用いる場合には、バックチャネル界面の特性が、TFT特性に大きく影響する。このため、この場合にはチャネル保護層42を用いることが望ましい。
ソース電極93、ドレイン電極94、ソースコンタクト95、及び、ドレインコンタクト96は、例えば、同時に形成される。例えば、チャネル保護層42及びコンタクトホール内に、金属薄膜を形成する。金属薄膜を、フォトリソグラフィ法等でパターニングしてソース電極93及びドレイン電極94が形成される。予めマスクを形成した後で、金属薄膜を形成し、このマスクを除去してもよい。
ソース電極93、ドレイン電極94、ソースコンタクト95、及び、ドレインコンタクト96を、別々に形成してもよい。
金属薄膜には、例えば、Ti、Ta、Mo、W、Al、Cu及びAgの少なくともいずれか、またはこれらのいずれかを含む合金が用いられる。金属薄膜には、単層膜または積層膜を用いることができる。
これによって、薄膜トランジスタ90が形成される。上記においては、ボトムゲート構造の薄膜トランジスタ90の例について説明したが、他の構造の薄膜トランジスタ90を用いてもよい。
ソース電極93、ドレイン電極94、及び、チャネル保護層42の上に、パッシベーション層43が形成される。パッシベーション層43には、例えば、シリコン窒化膜(SiN)、シリコン酸窒化膜(SiO)、シリコン酸化膜(SiO)及びアルミ酸化膜(AlO)の少なくともいずれかの無機材料が用いられる。パッシベーション層43には、樹脂材料を用いてもよい。この樹脂材料として、例えば、アクリル、エポキシ、ポリイミド、または、パラキシリレン系樹脂が用いられる。
この例では、パッシベーション層43の上に、平坦化層44がさらに形成される。平坦化層44には、例えば、樹脂材料が用いられる。この樹脂材料には、例えば、アクリル、エポキシ、ポリイミド、または、パラキシリレン系樹脂等が用いられる。
平坦化層44は、着色層を含んでもよい。例えば、平坦化層44として着色層を形成してもよい。平坦化層44の一部となる膜と、着色層と、を積層しても良い。着色層は、例えば、フォトリソグラフィ法等で形成することができる。
着色層は、例えば、カラーフィルタとして機能する。画素毎に異なる色の着色層を設けても良い。
着色層は、遮光層(光減衰層)としても機能する。遮光層を設けることで、薄膜トランジスタ90の特性変動(例えば光リークなど)が抑制される。表示層50から放出される光が白色の場合、着色層として、例えば、400nm程度の波長に対する透過率が低い層を用いてもよい。表示層50から色光(赤、緑または青など)が放出される場合、着色層は、表示層50から放出される色光と同じ色とすることが好ましい。薄膜トランジスタ90と対向する位置に、遮光性(光を減衰させる、例えば黒色層)の着色層を設けてもよい。
パッシベーション層43の一部、及び、平坦化層44の一部を除去してコンタクトホールを形成し、ドレイン電極94を露出させる。例えば、コンタクトホール内及び平坦化層44の上に、画素電極45(第1電極)が形成される。画素電極45には、例えば、透光性の導電膜(例えば、酸化インジウム錫:ITOや酸化インジウム亜鉛:IZO)が用いられる。画素電極45の表面に、酸素プラズマやUVオゾン洗浄等の表面処理を行っても良い。これにより、例えば、正孔の注入効率を向上することができる。
例えば、表示層50から放出される光が、支持体70側から出射される場合、平坦化層44の上にAlやAgの反射層を形成し、反射層の上にITO膜を形成してもよい。
この例では、画素電極45端部でのショートを防ぐために、バンク46が形成されている。バンク46は、平坦化層44の一部の上において、画素電極45の端部を覆う。バンク46には、例えば、ポリイミドやアクリル等の樹脂が用いられる。バンク46には、例えば、シリコン酸化膜(SiO)やシリコン窒化膜(SiN)等の無機材料を用いてもよい。
図1(c)に表したように、表示層50は、例えば、正孔注入層51、正孔輸送層52、有機発光層53、電子輸送層54、電子注入層55、及び、陰極56(第2電極)を含む。表示層50は、画素電極45及びバンク46の上に、例えば、真空蒸着法により形成される。このとき、正孔注入層51、正孔輸送層52、有機発光層53、電子輸送層54、電子注入層55及び陰極56がこの順に形成される。表示層50は、例えば、有機電界発光素子(OLED)の発光部に対応する。
白色発光の有機発光層53を用いる場合、配線層40の一部(例えば平坦化層44)に着色層を用いることで、カラー表示が得られる。例えば、赤、緑及び青の画素毎に、異なる色を発光する有機発光層53を形成してもよい。この場合、異なる色の有機発光層53は、例えば、マスク(メタルマスク)を用いて形成してもよい。
薄膜トランジスタ90をオン状態にして、ソース電極93と陰極56とに電圧を印加することで、有機発光層53に電流が供給され、有機発光層53から光が放出される。有機発光層53から放出された光は、例えば、光透過性の、画素電極45、平坦化層44、パッシベーション層43、ゲート絶縁膜41、バリア層31、及び、樹脂層20を通過して表示素子110から出射される。すなわち、この例では、下側面(樹脂層20側の面)が、光出射面となる。
以下、表示素子110の製造方法の例について説明する。
図2(a)〜図2(d)、図3(a)〜図3(d)及び図4(a)〜図4(d)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
図5(a)及び図5(b)及び図6(a)及び図6(b)は、第1の実施形態に係る表示素子の製造方法を例示する工程順模式的平面図である。
図5(a)は、図2(a)の平面図である。図5(b)は、図2(b)の平面図である。図6(a)は、図3(a)の平面図である。図6(b)は、図4(a)の平面図である。
図2(a)及び図5(a)に表したように、基体5の主面5mfの上に、剥離層10を形成する。基体5には、例えば、ガラスが用いられる。ガラスとしては、例えば、耐熱性に優れ、金属汚染が少ないものを用いることができる。例えば、無アルカリガラスが用いられる。
図5(a)に表したように、基体5の主面5mfは、第1領域5a、第2領域5b及び第3領域5cを含む。この例では、主面5mfは、第1領域5a〜第3領域5cをそれぞれ複数含んでいる。第2領域5bは、第1領域5aの周りに設けられる。第3領域5cは、第1領域5aと第2領域5bとの間に設けられる。第1領域5aは、表示素子110の表示領域Daに対応している。第2領域5b及び第3領域5cは、表示素子110の周辺領域Paに対応している。
図2(a)に表したように、この例では、剥離層10は、複数の第1剥離部11、複数の第2剥離部12及び複数の第3剥離部13を含む。第1剥離部11は、第1領域5aの上に設けられる。第2剥離部12は、第2領域5bの上に設けられる。第3剥離部13は、第3領域5cの上に設けられる。図5(a)に表したように、積層方向に対して垂直な平面に投影したときに、第3剥離部13は、第1剥離部11と第2剥離部12との間に配置される。
剥離層10は、第1線膨張係数を有している。第1線膨張係数は、樹脂層20の第2線膨張係数とは異なる。剥離層10には、例えば、樹脂層20との線膨張係数の差が大きい材料が用いられる。例えば、第1線膨張係数は、第2線膨張係数よりも小さい。剥離層10には、例えば、1μmの波長の光の吸収が大きい材料を用いることが好ましい。剥離層10には、例えば、金属、金属酸化物、及び、金属窒化物の少なくともいずれかが用いられる。剥離層10には、例えば、Tiが用いられる。剥離層10には、例えば、Mo、Ta、Al、W、Cu等の金属や、それらのいずれかを含む合金を用いてもよい。
図1(b)及び図5(b)に表したように、剥離層10の上に、樹脂層20を形成する。樹脂層20の第1樹脂部21は、第1剥離部11の上に形成される。樹脂層20の第2樹脂部22は、第2剥離部12の上に形成される。この例では、第1樹脂部21及び第2樹脂部22は、それぞれ複数形成される。
例えば、第1剥離部11、第2剥離部12、及び、第3剥離部13の上に樹脂層20となる樹脂膜を形成する。第3剥離部13の上の樹脂膜を除去し、樹脂膜に溝20d(凹部)を形成する。これによって、第1樹脂部21及び第2樹脂部22が形成される。樹脂層20は、例えば、第1剥離部11及び第2剥離部12の上に選択的に形成してもよい。
樹脂層20(樹脂膜)の形成には、例えば、印刷法が用いられる。印刷法としては、例えば、スクリーン印刷、オフセット印刷、インクジェット印刷等を用いることができる。 樹脂層20の形成には、フォトリソグラフィ法を用いてもよい。例えば、感光性樹脂を用いて、現像工程においてパターニングしてもよい。例えば、フォトレジストを用いて、エッチングによりパターニングしてもよい。
樹脂層20(樹脂膜)の厚さは、例えば、1μm以上30μm以下である。樹脂層20の厚さを5μm以上とすることで、例えば、剥離層10の剥離がより容易になる。樹脂層20の厚さを20μm以下とすると、例えば樹脂層20から外部に光を出射する場合であっても、複屈折や吸収等の光学特性の劣化や、吸湿等による寸法安定性の低下を抑制することができる。樹脂膜の厚さが5μmよりも大きくなるように形成しておき、基体5を剥離した後で、樹脂膜(樹脂層20)の厚さが20μm以下となるように加工してもよい。
図5(b)に表したように、第1樹脂部21の周りには第3剥離部13が配置される。第3剥離部13の周りには、第2樹脂部22が配置される。例えば、樹脂層20の溝20d(凹部)から、第3剥離部13が露出している。
積層方向に対して垂直な平面に投影したときの第1樹脂部21と第2樹脂部22との間の距離drは、例えば、1μm以上100μm以下である。距離drは、溝20d(凹部)の幅(積層方向に対して垂直な方向の長さ)に対応している。距離drを1μm以上とすることで、例えば、以降の工程において、第1樹脂部21と第2樹脂部22との間(溝20d内)へのバリア層31による水分バリアの効果が十分発揮される。距離drが100μm以下とすることで、後述するように、剥離層10の剥離が容易になる。
図2(c)に表したように、第1樹脂部21、第2樹脂部22、及び、第3剥離部13の上に、バリア層31となるバリア膜を形成する。バリア層31は、第1樹脂部21の第1側面21sの上にも形成される。バリア層31(バリア膜)は、例えば、第3剥離部に接している。
樹脂層20の形成工程において、第3剥離部13の上に、樹脂層20となる有機物がわずかに存在する場合がある。例えば、印刷過程において、意図せずに第3剥離部13上にわずかに有機物が存在する場合がある。または、エッチング工程において、第3剥離部13上に樹脂層20となる材料の残渣(有機物)が残る場合がある。第3剥離部13上に、残渣などの有機物が存在する状態も、バリア層31と第3剥離部13とが接している状態に含まれる。残渣などの有機物は、例えば、電子顕微鏡等で観察されると観察されない場合がある。有機物は、元素分析等で検出される場合もある。
図2(d)に表したように、バリア膜の上に、配線層40となる配線膜が形成される。
図3(a)及び図6(a)に表したように、配線膜の一部の上に、表示層50が形成される。図6(a)に表したように、積層方向に対して垂直な平面に投影したときに、表示層50は、表示領域Daと重なる。
なお、図6(a)において、バリア膜(バリア層31)及び配線膜(配線層40)は、省略されている。例えば、第1樹脂部21の外縁は、表示層50の外縁の外側に位置する。これにより、表示層50の封止性が高まる。
図3(b)に表したように、表示層50の上及び配線膜(配線層40)の上に、第1保護層32となる第1保護膜が形成される。第1保護膜の形成には、例えば、CVDやALD法を用いる。第1保護膜は、例えば、100℃程度の温度で形成される。これにより、例えば、表示層50の劣化が抑制できる。例えば、第1保護膜によって、表示層50が封止される。
第1保護膜(第1保護層32)には、例えば、シリコン窒化膜(SiN)、または、アルミ酸化膜(AlO)等の無機材料が用いられる。封止性能を向上させるために、第1保護膜として、有機膜と無機膜との積層膜を用いてもよい。この有機膜として、例えば、アクリル、パラキシリレン系樹脂、エポキシ、または、ポリイミドなどを用いることができる。有機層を形成することで、応力を緩和し無機膜のバリア性を向上しやすくなり、平坦化効果でごみによる不良を抑制でき、無機膜のピンホール起因の水、酸素の侵入を抑制する効果がある。
第1保護膜(第1保護層32)の厚さは、例えば、1μm以上30μm以下である。第1保護膜の厚さが1μm以上において、例えば、異物等が混入した場合であっても、十分な封止性能を確保することができる。
図3(c)及び図3(d)に表したように、第1保護膜の上に、接着層60となる接着膜が形成される。接着膜の上に、支持体70が形成される。
この例では、第1保護膜の全面に接着膜及び支持体70が形成されている。例えば、後述する実装領域(第1保護層32の上であって、基体5の第2領域5bの一部)を除く領域に、接着膜及び支持体70を形成してもよい。
図4(a)及び図6(b)は、基体5上の複数の表示素子110を個片化する工程を例示している。図6(b)において、バリア膜(バリア層31)、配線膜(配線層40)、第1保護膜(第1保護層32)、接着膜(接着層60)、及び、支持体70は、省略されている。
図4(a)に表したように、基体5の第2領域5bに対応する位置において、第2樹脂部22、バリア膜(バリア層31)、配線膜(配線層40)、第1保護膜(第1保護層32)、接着膜(接着層60)、及び、支持体70が分断される。基体5上で分断することで、分断精度が向上する。
図6(b)においては、第2樹脂部22等は、分断線DLに沿って分断される。
分断においては、例えば、光(第1の光)が照射される。例えば、短パルスのレーザが用いられる。短パルスのレーザを用いることで、過度な熱の発生が抑制される。これにより、例えば、分断の精度が向上し、再現性が向上する。例えば、ピコ秒レーザやフェムト秒レーザを用いることができる。紫外線レーザを用いてもよい。
例えば、ダイシングソー等を用いて機械的に切断してもよい。
図4(b)は、基体5の剥離工程を例示している。
図4(b)に表したように、この例では、基体5を通して剥離層10に、例えばレーザ等の光(第2の光)が照射される。剥離層10が光照射により加熱され、例えば熱膨張係数の差により応力が発生する。この応力によって、剥離層10が樹脂層20から剥離される。剥離層10は、例えば、基体5上に残存する。剥離層10の一部は、加熱により蒸散する場合もある。
第2の光の光源には、例えば、安定して高出力を得られるレーザを用いることが好ましい。例えば、YAG等の固体レーザを用い、線状のビームを照射してもよい。
剥離に赤外レーザを用いた場合、線状のビームを所定の照射間隔dxで断続的に照射してもよい。照射間隔dxは、例えば、100μm以下である。照射間隔dxを100μm以下とすることで、レーザが照射されていない領域も同時に剥離される。連続的な照射と断続的な照射とを組み合わせてもよい。
この例では、基体5の第3領域5c上には樹脂層20が形成されていない。すなわち、積層方向に対して垂直な平面に投影したときに、第1樹脂部21と第2樹脂部22との間において、第3剥離部13は、バリア層31(バリア膜)と接している。第1樹脂部21と第2樹脂部22との間の距離drを100μm以下とすることで、樹脂層20が形成されていない部分においても、剥離層10を剥離させることができる。
第2の光の光源には、例えば、ランプを用いても良い。剥離工程において、マイクロ波を用いてもよい。さらに、電磁波などを用いずに、剥離層10を機械的に剥離してもよい。
図4(c)に表したように、基体5が剥離されることによって、表示素子110が個片化される。バリア膜は、バリア層31となる。配線膜は、配線層40となる。第1保護膜は、第1保護層32となる。接着膜は、接着層60となる。これによって、表示素子110が形成される。
図4(d)に表したように、例えば、剥離層10が除去されて露出された樹脂層20の表面上に、第2保護層33を形成してもよい。第2保護層33によって、例えば、水分や酸素の侵入が防止される。第2保護層33には、例えば、シリコン窒化膜(SiN)やアルミ酸化膜(AlO)等の無機材料が用いられる。第2保護層33には、無機膜と有機膜との積層膜を用いてもよい。
剥離層10を樹脂層20から剥離する工程、及び、第2保護層33を形成する工程は、乾燥雰囲気中または減圧中(例えば真空中)で行うことが好ましい。これにより、水分等の侵入を抑制できる。
以上、基体5上に複数の表示素子を形成する例について説明した。基体5上に1つの表示素子を形成する場合にも、上記の製造方法を適用することができる。この場合、分断する工程を省略してもよい。
表示素子110の製造方法においては、積層方向に対して垂直な平面に投影したときに、第1樹脂部21と第2樹脂部22との間に、樹脂層20が形成されない領域が設けられている。例えば、樹脂層20において、第1樹脂部21と第2樹脂部22との間の樹脂膜を除去し、樹脂層20に溝20d(凹部)形成する。溝20d内にもバリア層31が形成されるため、第1樹脂部21の第1側面21sがバリア層31で覆われる。これにより、樹脂層20の側面(第1側面21s)から表示層50への水分や酸素の侵入を抑制できる。工程数を大幅に増やすことなく、表示層50を良好に封止できる。これにより、信頼性の高い表示素子を製造することができる。
表示素子110の製造方法においては、樹脂層20、バリア層31(バリア膜)、配線層40(配線膜)、及び、第1保護層32(第1保護膜)の分断が、基体5の上で実施される。このため、高精度な分断が可能となる。これにより、狭額縁化が可能となる。さらに、歩留まりが向上する。この方法においては、剥離層10があるため、基体5は分断されない。そのため、除去後の基体5を再利用することができ、コストを削減できる。また、この製造方法においては、表示素子110に負荷がかかる工程がないので、信頼性の高い表示素子110を得ることができる。
(第2の実施形態)
本実施形態は、第1の実施形態に関して説明した表示素子を含む表示装置及びその製造方法に係る。
図7(a)〜図7(c)は、第2の実施形態に係る表示装置及びその製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
以下、本実施形態に係る表示装置200の製造方法の例について説明する。以下に説明する製造方法においては、表示素子110の形成工程には、例えば、図2(a)〜図2(d)、図3(a)〜図3(d)、及び、図4(a)〜図4(d)に関して説明した方法を適用できる。
図7(a)に表したように、表示素子110において、基体5が除去されて露出したバリア層31を除去する。これによって、配線層40が露出する。バリア層31の除去には、例えば、CHやO等を用いたRIEなどのドライエッチングプロセスを用いることができる。
配線層40を形成においてゲート電極91を形成するときに、例えば、基体5の第3領域5c上に接続パッドを形成してもよい。接続パッドには、例えば、ゲート電極91と同じ材料を用いることができる。例えば、バリア層31が除去されることで、配線層40の接続パッドが露出する。予め接続パッドを形成しない場合には、例えば、バリア層31を除去した後で、接続パッドを形成してもよい。
バリア層31を除去する際に、第1樹脂部21の一部及び第2樹脂部22の一部または全部を除去してもよい。樹脂層20の一部を除去することで、複屈折や吸収等の光学特性の劣化を防止できる。また、樹脂層20の一部を除去して薄膜化することで、吸湿等による寸法安定性の低下が抑制できる。樹脂層20の厚さは、例えば、3μm以下とすることが好ましい。なお、ボトムエミッション構造の場合、膜厚d(μm)、樹脂層20の垂直方向の複屈折x(nm)として、d×xを2000以下とすることで、表面に円偏光板などの光学層を付けた時に、斜めから入射した光の反射を十分減らすことができる。
図7(b)に表したように、接続パッドと回路基板220とを、接続部材210を介して電気的に接続する。接続部材210には、例えば、異方性導電膜(ACF)が用いられる。回路基板220には、例えば、フレキシブルプリント基板(FPC)が用いられる。回路基板220は、例えば、駆動部230と接続される。駆動部230等により、外部からの信号の入力(及び出力)が可能となる。これによって、表示装置200が形成される。接続パッドのサイズは、例えば、100μm以下とすることが好ましい。それによって、基板5からの剥離において、歩留まりを高くすることができる。
表示装置200においては、基体5を除去した面に駆動部230を実装している。そのため、支持体70を除去した面に駆動部230を実装する場合と比べて、支持体70の接着工程が簡略化される。また、基体5を除去した面に駆動部230を実装しているため、設計の自由度が向上する。
図7(c)に表したように、表示装置200において、樹脂層20側から光を外部に出射する場合において、表示層50と対向する位置に光学層240を設けてもよい。光学層240には、例えば、円偏光板が用いられる。これにより外光の反射を抑制できる。この例では、光学層240は、回路基板220を覆うように設けられる。光学層240により、回路基板220の剥がれを抑制できる。光学層240として、水及び酸素に対するバリア性が高いものを用いる場合には、パネルの信頼性が向上する。また、接続部材210を実装した後でバリア層31を形成する場合においても、パネルの信頼性が向上する。
図8(a)及び図8(b)は、第2の実施形態に係る別の表示装置及びその製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
以下に説明する、表示装置201の製造方法においても、表示素子110の形成工程には、例えば、図2(a)〜図2(d)、図3(a)〜図3(d)、及び、図4(a)〜図4(d)に関して説明した方法を適宜適用できる。
図8(a)に表したように、表示素子110の形成工程において、例えば、接着層60(接着膜)及び支持体70を、第2領域5bを除く領域に形成する。例えば、第2領域5b上に設けられた第1保護層32(第1保護膜)の少なくとも一部を除去して配線層40(配線膜)を露出させる。第1保護層32の除去には、例えば、CHやO等を用いたRIEなどのドライエッチングプロセスを用いることができる。また、予めマスキングを行った後で、第1保護層32を形成してもよい。
第1保護層32の除去は、接着層60及び支持体70の形成前、または、形成後に行われる。または、第1保護層32形成時に、第2領域5bを除く領域に、接着層60及び支持体70を形成してもよい。接着層60及び支持体70を第2領域5b上にも形成し、例えば第1保護層32を除去するときに、第2領域5b上の接着層60及び支持体70を除去してもよい。
図8(b)に表したように、露出した配線層40と回路基板220とを、接続部材210を介して接続する。回路基板220は、例えば、駆動部230と接続される。
基体5を除去する。これによって、表示装置201が形成される。
この例では、接着層60(接着膜)及び支持体70を形成し、樹脂層20等を分断した後で、接着層60の一部、支持体70の一部、及び、第1保護層32の一部が除去される。
実施形態は、これに限らない。例えば、接着層60(接着膜)及び支持体70を形成する前に、第2領域5b上に形成された第1保護層32(第1保護膜)を除去し、第1領域5a及び第3領域5cの上に接着層60(接着膜)及び支持体70を形成してもよい。
また、樹脂層20等の分断は、第1保護層32の除去前、または除去後に実施できる。
この例では、駆動部230を実装した後、基体5が除去される。実施形態はこれに限らない。例えば、基体5を除去した後で、駆動部230を実装してもよい。
図9(a)〜図9(d)は、第2の実施形態に係る別の表示装置及びその製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
以下に説明する表示装置202の製造方法においては、表示素子110の形成工程には、例えば、図2(a)〜図2(d)、図3(a)〜図3(d)、及び、図4(a)〜図4(d)に関して説明した方法を適宜適用できる。
図9(a)に表したように、表示素子110の形成工程において、例えば、第1保護層32(第1保護膜)を形成した後で、第2領域5b上の第1保護層32の上に、接続部材210を介して駆動部230を直接形成する。駆動部230には、例えば、薄型のドライバICを用いることができる。ドライバICの厚さは、例えば、100μm以下である。厚さを100μm以下にすることで、表示装置が変形しても割れにくくすることができる。
図9(b)に表したように、第1保護層32(第1保護膜)及び駆動部230の上に、接着層60(接着膜)及び支持体70を形成する。支持体70、接着層60(接着膜)、配線層40(配線膜)、バリア層31(バリア膜)、及び、第2樹脂部22を分断する。
図9(c)に表したように、基体5を除去し、接続部材210で外部回路との接続用の回路基板220を接続することで、表示装置202が形成される。また、図9(d)に表したように、表示装置202において、光学層240を形成してもよい。ドライバICを内蔵化しているため、回路基板220との接続点数を削減でき、断線等の配線における不良発生を抑制し、信頼性の高い表示装置を提供することができる。
駆動部230を支持体70で覆うことで、駆動部230が薄くても割れにくくなる。接着層60(接着膜)及び支持体70を、駆動部230を除く領域に形成してもよい。
この例では、第1保護層32(第1保護膜)の一部を除去し、駆動部230を実装した後で、接着層60(接着膜)及び支持体70を形成している。
実施形態はこれに限らない。例えば、基体5の第1領域5a、第2領域5b及び第3領域5cの上に、第1保護層32、接着層60及び支持体70を形成した後で、第2領域5b上の第1保護層32、接着層60及び支持体70を除去してもよい。
樹脂層20等の分断は、駆動部230の実装後、または、実装前に実施できる。
図10(a)〜図10(d)は、第2の実施形態に係る別の表示装置を例示する模式図である。
図10(a)は、表示素子を例示する模式的平面図である。図10(a)は、図6(b)に対応する平面図である。図10(b)〜図10(d)は、パッド電極の配置の例を示している。なお、表示装置がパッド電極を含んでいてもよい。または、表示装置がパッド電極を含んでいてもよい。
図10(a)に表したように、表示素子には、パッド領域80が設けられる。このパッド領域80において、例えば、表示素子と外部回路とが接続されて表示装置が形成される。
パッド領域80は、例えば、第2領域5bの上(図8(b)参照)、すなわち、第2樹脂部22の上に設けられる。パッド領域80は、第3領域5cと対応する位置(図7(b)参照)に設けてもよい。
パッド領域80には、例えば、パッド電極81とパッド配線82とが設けられる。図10(b)〜図10(d)は、パッド領域80におけるパッド電極81及びパッド配線82の配置の例を示している。
図10(b)に表したように、パッド領域80には、複数のパッド電極81及び複数のパッド配線82が設けられる。それぞれのパッド電極81には、パッド配線82のそれぞれが接続される。この例では、パッド電極81からパッド配線82に向かう方向における1つの位置に、複数のパッド電極81が並んで配置されている。
図10(c)に表したように、この例では、複数のパッド電極81のそれぞれは、パッド電極81からパッド配線82に向かう方向における2つの位置に配置されている。
図10(d)に表したように、パッド領域80にパッド溝83を設け、このパッド溝83にパッド電極81を配置してもよい。パッド溝83の幅は、例えば、パッド電極81の幅と同じであってもよいし、異なってもよい。この例では、パッド溝83の幅は、パッド電極81の幅と同じである。また、パッド電極81の形状は、パッド溝83の形状と同じであってもよいし、異なっていてもよい。この例では、1つのパッド溝83に複数(3つ)のパッド電極81が設けられている。例えば、パッド電極81毎に異なるパッド溝81を設けてもよい。
(第3の実施形態)
本実施形態は、表示素子120に係る。以下に説明する表示素子120においては、表示層50以外の構成については、例えば、図1(a)に関して説明した構成を適用できる。ここでは、表示素子120の表示層50について説明する。
図11は、第3の実施形態に係る表示素子を例示する模式的断面図である。
図11は、表示素子120の表示層50を例示している。
表示素子120においては、表示層50は、例えば、反射率制御層57と上部電極58とを含んでいる。反射率制御層57は、例えば、マイクロカプセル57aを含む。この例では、マイクロカプセル57aは、例えば、第1粒子57bと第2粒子57cとを含む。第1粒子57b及び第2粒子57cは、例えば、電荷を有している。例えば、第1粒子57bと第2粒子57cとは、異なる電荷を有する。第1粒子57bと第2粒子57cとは、異なる光反射率(波長依存性も含め)を有している。反射率制御層57は、例えば、電気泳動層である。反射率制御層57は、例えば、支持性を有するフィルムを含んでいてもよい。この場合、表示層50の上の支持体70を設けなくてもよい。
上部電極58と画素電極45とに印加される電圧により、第1粒子57b及び第2粒子57cがマイクロカプセル57a内で移動する。第1粒子57b及び第2粒子57cのマイクロカプセル57a内での分布に応じて、光反射率が変化する。これにより、表示が行われる。
表示素子120においては、第1樹脂部21の第1側面21sをバリア層31で覆っているため、表示層50への水分や酸素等の侵入を抑制できる。表示素子120においても、高い信頼性が得られる。
この表示素子120の製造方法には、図7(a)〜図7(c)、図8(a)、図8(b)、図9(a)、及び、図9(b)に関して説明した製造方法を適用できる。
実施形態に係る製造方法によれば、信頼性が高い表示素子及び表示装置が提供できる。
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置に含まれる、基体、剥離層、樹脂層、バリア層、配線層、表示層、第1保護層、接着層、支持体、第2保護層、接続部材、回路基板、駆動部及び光学層などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての表示素子の製造方法、表示素子及び表示装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
5…基体、 5a…第1領域、 5b…第2領域、 5c…第3領域、 5mf…主面、 10…剥離層、 11…第1剥離部、 12…第2剥離部、 13…第3剥離部、 20…樹脂層、 20d…溝、 21…第1樹脂部、 21s…第1側面、 22…第2樹脂部、 22s…第2側面、 31…バリア層、 32…第1保護層、 33…第2保護層、 40…配線層、 41…ゲート絶縁層、 42…チャネル保護層、 43…パッシベーション層、 44…平坦化層、 45…画素電極、 46…バンク、 50…表示層、 51…正孔注入層、 52…正孔輸送層、 53…有機発光層、 54…電子輸送層、 55…電子注入層、 56…陰極、 57…反射率制御層、 57a…マイクロカプセル、 57b…第1粒子、 57c…第2粒子、 58…上部電極、 60…接着層、 70…支持体、 90…薄膜トランジスタ、 80…パッド領域、 81…パッド電極、 82…パッド配線、 83…パッド溝、 91…ゲート電極、 92…チャネル層、 93…ソース電極、 94…ドレイン電極、 α…部分、 110、120…表示素子、 200、201、202…表示装置、 210…接続部材、 220…回路基板、 230…駆動部、 240…光学層、 DL…分断線、 Da…表示領域、 Pa…周辺領域、 dr…距離、 dx…照射間隔

Claims (12)

  1. 表示素子の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周りに設けられた第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間に設けられた第3領域と、を含む主面を有する基体の前記主面の上に、前記第1領域の上に位置する第1剥離部と、前記第2領域の上に位置する第2剥離部と、前記第3領域の上に位置する第3剥離部と、を含み第1線膨張係数を有する剥離層を形成する工程と、
    前記剥離層の上に、前記第1剥離部の上に位置する第1樹脂部と、前記第2剥離部の上に位置する第2樹脂部と、を含み第1透水率と、前記第1線膨張係数とは異なる第2線膨張係数と、を有する樹脂層を形成する工程と、
    前記第1樹脂部、前記第2樹脂部及び前記第3剥離部の上に、前記第1透水率よりも低い第2透水率を有するバリア層を形成する工程と、
    前記バリア層の上に配線層を形成する工程と、
    第1樹脂部上の前記配線層の少なくとも一部の上に表示層を形成する工程と、
    前記第1剥離部を前記第1樹脂部から剥離し、前記第2剥離部を前記第2樹脂部から剥離する工程と、
    を備えた表示素子の製造方法。
  2. 前記主面は、複数の前記第1領域を含み、
    前記表示層を形成する工程と、前記剥離する工程との間に、
    前記複数の第1領域の間の前記第2領域において、前記第2樹脂部、前記バリア層及び前記配線層に、前記基体から前記表示層に向かう積層方向に沿う溝を形成して、前記第2樹脂部、前記バリア層及び前記配線層を分断する工程をさらに備えた請求項1記載の表示素子の製造方法。
  3. 前記分断する工程において、前記第2樹脂部、前記バリア層及び前記配線層に、第1の光を照射して前記溝を形成する請求項2記載の表示素子の製造方法。
  4. 前記剥離層を剥離する工程において、第2の光を、前記基体を通して前記剥離層に照射する請求項1〜3のいずれか1つに記載の表示素子の製造方法。
  5. 前記樹脂層を形成する工程は、前記第1領域の上、前記第2領域の上、及び、前記第3領域の上に樹脂膜を形成し、前記第3領域の上の樹脂膜を除去することを含む請求項1〜4のいずれか1つに記載の表示素子の製造方法。
  6. 前記バリア層は、前記第3剥離部に接する請求項1〜5のいずれか1つに記載の表示素子の製造方法。
  7. 前記剥離層は、金属、金属酸化物、及び、金属窒化物の少なくともいずれかを含む請求項1〜6のいずれか1つに記載の表示素子の製造方法。
  8. 前記第1剥離部及び前記第2剥離部の剥離によって露出した前記バリア層の一部を除去して、前記配線層の一部を露出させる工程をさらに備えた請求項1〜7のいずれか1つに記載の表示素子の製造方法。
  9. 前記配線層は、前記第1領域の上に設けられた第1電極を含み、
    前記表示層は、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた有機発光層と、を含む請求項1〜8のいずれか1つに記載の表示素子の製造方法。
  10. 表示素子の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周りに設けられた第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間に設けられた第3領域と、を含む主面を有する基体の前記主面の上に、前記第1領域の上に位置する第1剥離部と、前記第2領域の上に位置する第2剥離部と、前記第3領域の上に位置する第3剥離部と、を含み第1線膨張係数を有する剥離層を形成する工程と、
    前記剥離層の上に、前記第1剥離部の上に位置する第1樹脂部と、前記第2剥離部の上に位置する第2樹脂部と、を含み第1透水率と、前記第1線膨張係数とは異なる第2線膨張係数と、を有する樹脂層を形成する工程と、
    前記第1樹脂部、前記第2樹脂部及び前記第3剥離部の上に、前記第1透水率よりも低い第2透水率を有するバリア層を形成する工程と、
    前記バリア層の上に配線層を形成する工程と、
    第1樹脂部上の前記配線層の少なくとも一部の上に表示層を形成する工程と、
    前記第1剥離部を前記第1樹脂部から剥離し、前記第2剥離部を前記第2樹脂部から剥離する工程と、
    を含む表示素子の製造方法によって製造された表示素子。
  11. 請求項10記載の前記表示素子と、
    前記配線層と電気的に接続された駆動部と、を備えた表示装置。
  12. 第1透水率を有する樹脂層と、
    前記樹脂層の上に設けられ、前記第1透水率よりも低い第2透水率を有するバリア層と、
    前記バリア層の上に設けられた表示層と、
    前記樹脂層から前記表示層に向かう第1方向に対して交差する第2方向において離間する回路基板と、
    前記回路基板の上に設けられ、前記第1透水率よりも低い第3透水率を有する第1保護層と、
    前記バリア層と前記表示層との間に設けられた第1部分と、前記回路基板と前記第1保護層との間に設けられた第2部分と、を含み、
    前記第2方向に対して垂直な平面に投影したときに、前記第2部分が前記樹脂層と重なる配線層と、
    を備えた表示素子。
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