JP2005085705A - 電気デバイス及びその製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の電気デバイスの製造方法は、第1基板(20)上に剥離層(22)を形成する第1工程と、電気素子を含む被転写層(16)を剥離層(22)上に形成する第2工程と、異物の侵入を抑制するバリア層(14)を被転写層上に形成する第3工程と、第1基板(20)の被転写層(16)の形成面側に接着層(12)を介して第2基板(10)を接合する第4工程と、第1基板(20)を介して剥離層(22)にエネルギーを付与して当該剥離層(22)に剥離を生じさせ、第1基板(20)を第2基板(10)から分離する第5工程と、を含む。
【選択図】 図4
Description
図1は、第1の実施形態の有機EL表示装置の構成を説明する図(断面図)である。図1に示す有機EL表示装置は、各構成要素を支持する基板10と、この基板10上に配置される接着層12と、接着層12上に配置され、デバイス層16への異物の侵入を抑制するバリア層14と、有機EL素子や薄膜トランジスタ等を含んで構成され、バリア層14上に配置されるデバイス層16と、このデバイス層16上に配置される保護層18と、を含んで構成される。本例の有機EL表示装置は、図示のように有機EL素子からの光(発光)が基板10とは反対側へ向かって放出される、いわゆるトップエミッション型の構造を採用している。
図5は、第2の実施形態の有機EL表示装置の構成を説明する図(断面図)である。図5に示す有機EL表示装置は、各構成要素を支持する基板10と、この基板10上に配置される接着層12と、接着層12上に配置され、デバイス層への異物の侵入を抑制するバリア層34と、有機EL素子や薄膜トランジスタ等を含んで構成され、バリア層34上に配置されるデバイス層16と、このデバイス層16上に配置される保護層38と、を含んで構成される。本例の有機EL表示装置は、図示のように有機EL素子からの光(発光)が基板10側へ向かって放出される、いわゆるボトムエミッション型の構造を採用している。なお、上述した第1の実施形態の有機EL表示装置と同様の構成要素については同符号が付されており、これらの詳細な説明については省略する。
第3の実施形態は上述した第2の実施形態と基本的に同様であり、2回目の転写プロセスにおいて、剥離層42を利用することなく、仮接着層36の除去によって仮転写基板40を分離している点が異なるものである。以下、第2の実施形態との相違点に着目して説明する。
図11及び図12は、上述した各実施形態にかかる有機EL表示装置を適用可能な電子機器の例を示す図である。
Claims (10)
- 第1基板上に剥離層を形成する第1工程と、
電気素子を含む被転写層を前記剥離層上に形成する第2工程と、
異物の侵入を抑制するバリア層を前記被転写層上に形成する第3工程と、
前記第1基板の前記被転写層の形成面側に接着層を介して第2基板を接合する第4工程と、
前記第1基板を介して前記剥離層にエネルギーを付与して当該剥離層に剥離を生じさせ、前記第1基板を前記第2基板から分離する第5工程と、
を含む、電気デバイスの製造方法。 - 前記電気素子は、有機EL素子を含む、請求項1に記載の電気デバイスの製造方法。
- 前記第2工程に先立って、前記剥離層と前記被転写層との間に介在する保護層を形成する第6工程を更に含む、請求項1に記載の電気デバイスの製造方法。
- 第1基板上に第1剥離層を形成する第1工程と、
異物の侵入を抑制するバリア層を前記第1剥離層上に形成する第2工程と、
電気素子を含む被転写層を前記バリア層上に形成する第3工程と、
前記バリア層及び前記被転写層を一時的に支持するための仮転写基板を用意し、当該仮転写基板の一方面に第2剥離層を形成する第4工程と、
前記第1基板の前記被転写層の形成面側と前記仮転写基板の前記第2剥離層の形成面側との間に後の除去が可能な仮接着層を介在させて、前記第1基板と前記仮転写基板とを接合する第5工程と、
前記第1基板を介して前記第1剥離層にエネルギーを付与して当該第1剥離層に剥離を生じさせ、前記第1基板を前記仮転写基板から分離する第6工程と、
前記仮転写基板の前記バリア層の形成面側に接着層を介して第2基板を接合する第7工程と、
前記仮転写基板を介して前記第2剥離層にエネルギーを付与して当該第2剥離層に剥離を生じさせ、前記仮転写基板を前記第2基板から分離する第8工程と、
を含む、電気デバイスの製造方法。 - 前記第8工程の後に、前記仮接着層を除去する第9工程を更に含む、請求項4に記載の電気デバイスの製造方法。
- 前記第9工程の後に、前記被転写層上に保護層を形成する第10工程を更に含む、請求項5に記載の電気デバイスの製造方法。
- 前記第3工程の後に、前記被転写層上に保護層を形成する第11工程を更に含む、請求項4に記載の電気デバイスの製造方法。
- 第1基板上に剥離層を形成する第1工程と、
異物の侵入を抑制するバリア層を前記剥離層上に形成する第2工程と、
電気素子を含む被転写層を前記バリア層上に形成する第3工程と、
前記バリア層及び前記被転写層を一時的に支持するための仮転写基板を用意し、当該仮転写基板の一方面と前記第1基板の前記被転写層の形成面側との間に後の除去が可能な仮接着層を介在させて、前記第1基板と前記仮転写基板とを接合する第4工程と、
前記第1基板を介して前記剥離層にエネルギーを付与して当該剥離層に剥離を生じさせ、前記第1基板を前記仮転写基板から分離する第5工程と、
前記仮転写基板の前記バリア層の形成面側に接着層を介して第2基板を接合する第6工程と、
前記仮接着層を除去し、前記仮転写基板を前記第2基板から分離する第7工程と、
を含む、電気デバイスの製造方法。 - 基板と、
前記基板上に配置される接着層と、
前記接着層上に配置され、異物の侵入を抑制するバリア層と、
電気素子を含んで構成され、前記バリア層上に配置されるデバイス層と、
を備える、電気デバイス。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載の製造方法により製造される電気デバイスを含んで構成される電子機器。
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