JP2014131024A - 半導体装置およびその評価方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 678
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 57
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 94
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 230000005685 electric field effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 897
- 239000010408 film Substances 0.000 description 444
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 137
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 103
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 68
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 68
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 64
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 63
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 61
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 61
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 55
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 54
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 53
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 52
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 52
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 46
- 230000004044 response Effects 0.000 description 46
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 44
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 33
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 32
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 30
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 29
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 29
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 27
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 27
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 26
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 26
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 25
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 230000006870 function Effects 0.000 description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 21
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 20
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 16
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 13
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 13
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 13
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 13
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 12
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 12
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 12
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 12
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 11
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 11
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 8
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 8
- 238000004435 EPR spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 6
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 6
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004298 light response Effects 0.000 description 5
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 5
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 5
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229940038032 nitrogen 20 % Drugs 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OUUQCZGPVNCOIJ-UHFFFAOYSA-M Superoxide Chemical compound [O-][O] OUUQCZGPVNCOIJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 3
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 description 3
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium oxide Inorganic materials O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 3
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N oxogermanium Chemical compound [Ge]=O PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100040844 Dual specificity protein kinase CLK2 Human genes 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000749291 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK2 Proteins 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 2
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100040862 Dual specificity protein kinase CLK1 Human genes 0.000 description 1
- 101000749294 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK1 Proteins 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001591005 Siga Species 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004990 Smectic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- 239000004974 Thermotropic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003098 cholesteric effect Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000306 component Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 1
- VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N trisilane Chemical compound [SiH3][SiH2][SiH3] VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】トランジスタのチャネル形成領域に用いることが可能な、欠陥密度の低減された半導体層である。または、例えば、チャネル形成領域に欠陥密度の低減された半導体層を有するトランジスタである。または、例えば、当該トランジスタを有する半導体装置である。
【選択図】図1
Description
以下では、トランジスタのチャネル形成領域に用いることが可能な酸化物半導体層について説明する。特に、トラップ準位密度の低い酸化物半導体層について説明する。また、光によって酸化物半導体層の導電性が変動すること(光応答ともいう。)から、当該酸化物半導体層のトラップ準位を評価する方法について説明する。
酸化物半導体層のトラップ準位密度が光応答に与える影響について説明する。
図1を用いてモデルAについて説明する。図1(A)は、モデルAである試料(以下試料A)の上面図である。なお、理解を容易にするため、図1(A)では、絶縁膜112、絶縁膜118などを省略して示す。
図3を用いてモデルBについて説明する。図3(A)は、モデルBである試料(以下試料B)の上面図である。なお、理解を容易にするため、図3(A)では、絶縁膜112、絶縁膜118などを省略して示す。
図5を用いてモデルCについて説明する。図5(A)は、モデルCである試料(以下試料C)の上面図である。なお、理解を容易にするため、図5(A)では、絶縁膜112、絶縁膜118などを省略して示す。
以下では、多層膜306を用いたトランジスタについて説明する。
本項では、ボトムゲート型トランジスタについて説明する。ここでは、ボトムゲート型トランジスタの一種であるボトムゲートトップコンタクト構造(BGTC構造)のトランジスタについて図7を用いて説明する。
以下では、多層膜306、ならびに多層膜306を構成する酸化物半導体層306aおよび酸化物半導体層306bについて説明する。
ソース電極316aおよびドレイン電極316bは、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、銀、タンタルおよびタングステンを一種以上含む導電膜を、単層で、または積層で用いればよい。好ましくは、ソース電極316aおよびドレイン電極316bは、銅を含む層を有する多層膜とする。ソース電極316aおよびドレイン電極316bを、銅を含む層を有する多層膜とすることで、ソース電極316aおよびドレイン電極316bと同一層で配線を形成する場合、配線抵抗を低くすることができる。なお、ソース電極316aとドレイン電極316bは同一組成であってもよいし、異なる組成であってもよい。
保護絶縁膜318は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムおよび酸化タンタルを一種以上含む絶縁膜を、単層で、または積層で用いればよい。
ゲート絶縁膜312は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムおよび酸化タンタルを一種以上含む絶縁膜を、単層で、または積層で用いればよい。
ゲート電極304は、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、銀、タンタルおよびタングステンを一種以上含む導電膜を、単層で、または積層で用いればよい。
基板300に大きな制限はない。例えば、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板などを、基板300として用いてもよい。また、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、SOI(Silicon On Insulator)基板などを適用することも可能であり、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板300として用いてもよい。
ここで、トランジスタの作製方法について図8および図9を用いて説明する。
本項では、トップゲート型トランジスタについて説明する。ここでは、トップゲート型トランジスタの一種であるトップゲートトップコンタクト構造(TGTC構造)のトランジスタについて図10を用いて説明する。
ここで、トランジスタの作製方法について図11および図12を用いて説明する。
以下では、上述したトランジスタを用いた応用製品について説明する。
本項では、上述したトランジスタを適用した表示装置について説明する。
まずはEL素子を用いた表示装置(EL表示装置ともいう。)について説明する。
次に、液晶素子を用いた表示装置(液晶表示装置ともいう。)について説明する。
以下では、本発明の一態様に係る、被検知体の近接または接触を検知可能なセンサ(以降、タッチセンサと呼ぶ)の構成例について説明する。
図24(A)、図24(B)は、相互容量方式のタッチセンサの構成を示す模式図と、入出力波形の模式図である。タッチセンサは一対の電極を備え、これらの間に容量が形成されている。一対の電極のうち一方の電極に入力電圧が入力される。また、他方の電極に流れる電流(または、他方の電極の電位)を検出する検出回路を備える。
図24(C)は、マトリクス状に配置された複数の容量を備えるタッチセンサの構成例を示す。
以下では、複数の画素を有する表示部にタッチセンサを組み込んだタッチパネルの構成例について説明する。ここでは、画素に設けられる表示素子として、液晶素子を適用した例を示す。なお、画素に設けられる表示素子として、EL素子を適用しても構わない。
以下、図26および図27を用いて、上述したタッチパネルの動作について説明する。
以下では、上記タッチパネルに用いることのできる画素の構成例について説明する。
上述したトランジスタは、さまざまな電子機器に搭載されるマイクロコンピュータに適用することができる。
図31は、上述したトランジスタを少なくとも一部に用いたCPUの具体的な構成を示すブロック図である。
図32(A)において、テレビジョン装置8000は、筐体8001に表示部8002が組み込まれており、表示部8002により映像を表示し、スピーカ部8003から音声を出力することが可能である。上述のトランジスタを表示部8002に用いることが可能である。
106a 多層膜
106a1 酸化物半導体層
106a2 酸化物半導体層
106b 酸化物半導体層
106c 多層膜
106c1 酸化物半導体層
106c2 酸化物半導体層
106d 多層膜
106d1 酸化物半導体層
106d2 酸化物半導体層
106d3 酸化物半導体層
112 絶縁膜
116a 電極
116b 電極
118 絶縁膜
300 基板
304 ゲート電極
306 多層膜
306a 酸化物半導体層
306b 酸化物半導体層
306c ソース領域
306d ドレイン領域
312 ゲート絶縁膜
316a ソース電極
316b ドレイン電極
318 保護絶縁膜
318a 酸化シリコン層
318b 酸化シリコン層
318c 窒化シリコン層
400 基板
402 下地絶縁膜
401 半導体基板
403 素子分離領域
404 ゲート電極
406 多層膜
406a 酸化物半導体層
406b 酸化物半導体層
407 ゲート絶縁膜
409 ゲート電極
411a 不純物領域
411b 不純物領域
412 ゲート絶縁膜
415 絶縁膜
416a ソース電極
416b ドレイン電極
416c 電極
417 絶縁膜
418 保護絶縁膜
419a コンタクトプラグ
419b コンタクトプラグ
420 絶縁膜
421 絶縁膜
422 絶縁膜
423a 配線
423b 配線
424 電極
425 絶縁膜
445 絶縁膜
449 配線
456 配線
460 半導体膜
500 マイクロコンピュータ
501 直流電源
502 バスライン
503 パワーゲートコントローラ
504 パワーゲート
505 CPU
506 揮発性記憶部
507 不揮発性記憶部
508 インターフェース
509 検出部
511 光センサ
512 アンプ
513 ADコンバータ
514 光電変換素子
517 トランジスタ
519 トランジスタ
530 発光素子
700 基板
719 発光素子
720 絶縁膜
721 絶縁膜
731 端子
732 FPC
733a 配線
733b 配線
733c 配線
734 シール材
735 駆動回路
736 駆動回路
737 画素
741 トランジスタ
742 キャパシタ
743 スイッチ素子
744 信号線
750 画素
751 トランジスタ
752 キャパシタ
753 液晶素子
754 走査線
755 信号線
781 電極
782 発光層
783 電極
784 隔壁
785a 中間層
785b 中間層
785c 中間層
785d 中間層
786a 発光層
786b 発光層
786c 発光層
791 電極
792 絶縁膜
793 液晶層
794 絶縁膜
795 スペーサ
796 電極
797 基板
900 基板
904 ゲート電極
906a1 酸化物半導体層
906a2 酸化物半導体層
906b 酸化物半導体層
906c1 酸化物半導体層
906c2 酸化物半導体層
906d1 酸化物半導体層
906d2 酸化物半導体層
906d3 酸化物半導体層
912 ゲート絶縁膜
916a ソース電極
916b ドレイン電極
918 保護絶縁膜
1141 スイッチング素子
1142 メモリセル
1143 メモリセル群
1189 ROMインターフェース
1190 基板
1191 ALU
1192 ALUコントローラ
1193 インストラクションデコーダ
1194 インタラプトコントローラ
1195 タイミングコントローラ
1196 レジスタ
1197 レジスタコントローラ
1198 バスインターフェース
1199 ROM
3100 液晶層
3101 基板
3102 基板
3103 偏光板
3104 偏光板
3105 液晶分子
3108 電極
3109 電極
3109a 電極
3109b 電極
3109c 電極
3150 電極
3150a 電極
3150b 電極
3150c 電極
3151 電極
3151a 電極
3151b 電極
3151c 電極
3154 絶縁膜
3158 突起物
3159 突起物
3162 絶縁膜
3163 絶縁膜
3501 配線
3502 配線
3503 トランジスタ
3504 液晶素子
3510 配線
3510_1 配線
3510_2 配線
3511 配線
3515_1 ブロック
3515_2 ブロック
3516 ブロック
3521 トランジスタ
3522 電極
3523 電極
3524 液晶
3525 カラーフィルタ
3526 配線
8000 テレビジョン装置
8001 筐体
8002 表示部
8003 スピーカ部
8100 警報装置
8101 マイクロコンピュータ
8200 室内機
8201 筐体
8202 送風口
8203 CPU
8204 室外機
8300 電気冷凍冷蔵庫
8301 筐体
8302 冷蔵室用扉
8303 冷凍室用扉
8304 CPU
9700 電気自動車
9701 二次電池
9702 制御回路
9703 駆動装置
9704 処理装置
Claims (9)
- 酸化物半導体層と、第1電極および第2電極と、を有し、前記酸化物半導体層が、トランジスタのチャネル形成領域を有し、かつ前記第1電極および前記第2電極のそれぞれと電気的に接続した半導体装置において、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加した状態で、前記酸化物半導体層に、温度25℃にて、340nm以上360nm以下の波長範囲にピークを有し、強度が3mW/cm2の光を、時刻T0から照射し、時刻T1に照射を止めたときに、
前記時刻T0より1秒以上15秒以下経過後、かつ前記時刻T1未満の時刻である時刻T2に前記第1電極と前記第2電極との間を流れる電流値が、前記時刻T0から前記時刻T1の間の前記第1電極と前記第2電極との間を流れる最大の電流値の70%以上100%未満となり、
前記時刻T1より1秒以上15秒以下経過後の時刻である時刻T3に前記第1電極と前記第2電極との間を流れる電流値が、前記時刻T0から前記時刻T1の間の前記第1電極と前記第2電極との間を流れる最大の電流値の5%以上100%未満となることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記時刻T2は、前記時刻T0から5秒後の時刻であり、
前記時刻T3は、前記時刻T1から5秒後の時刻であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記時刻T1は、前記時刻T0から100秒以上300秒以下経過した後の時刻であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記酸化物半導体層と接して設けられ、前記酸化物半導体層よりも電子親和力の小さい酸化物層を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記酸化物半導体層と接して設けられた絶縁膜を有し、前記絶縁膜を介して前記酸化物半導体層と重なって設けられた第3電極を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記酸化物半導体層は、少なくともインジウムを含むことを特徴とする半導体装置。 - 酸化物半導体層と、第1電極および第2電極と、を有し、前記酸化物半導体層が、トランジスタのチャネル形成領域を有し、かつ前記第1電極および前記第2電極のそれぞれと電気的に接続した半導体装置において、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加した状態で、前記酸化物半導体層に、前記酸化物半導体層のエネルギーギャップよりも高いエネルギーを有する光を、時刻T0から照射し、時刻T1に照射を止めたときに、
前記時刻T0より1秒以上15秒以下経過後、かつ前記時刻T1未満の時刻である時刻T2に前記第1電極と前記第2電極との間を流れる電流値と、前記時刻T0から前記時刻T1の間の前記第1電極と前記第2電極との間を流れる最大の電流値と、を比較し、
前記時刻T1より1秒以上15秒以下経過後の時刻である時刻T3に前記第1電極と前記第2電極との間を流れる電流値と、前記時刻T0から前記時刻T1の間の前記第1電極と前記第2電極との間を流れる最大の電流値と、を比較し、前記酸化物半導体層の欠陥を評価することを特徴とする半導体装置の評価方法。 - 請求項7において、
前記時刻T2は、前記時刻T0から5秒後の時刻であり、
前記時刻T3は、前記時刻T1から5秒後の時刻であることを特徴とする半導体装置の評価方法。 - 請求項7または請求項8において、
前記時刻T1は、前記時刻T0から100秒以上300秒以下経過した後の時刻であることを特徴とする半導体装置の評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013245574A JP2014131024A (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-28 | 半導体装置およびその評価方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012263819 | 2012-11-30 | ||
JP2012263819 | 2012-11-30 | ||
JP2013245574A JP2014131024A (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-28 | 半導体装置およびその評価方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014131024A true JP2014131024A (ja) | 2014-07-10 |
Family
ID=50824828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013245574A Withdrawn JP2014131024A (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-28 | 半導体装置およびその評価方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9153649B2 (ja) |
JP (1) | JP2014131024A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161028 |
|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
A761 | Written withdrawal of application |
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