JP2014110429A - 半導体物質とそれを含む薄膜トランジスタ及び該薄膜トランジスタを含む電子素子 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 369
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 262
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 218
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 246
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 138
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 138
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 116
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 97
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 97
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 97
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 83
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 71
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 71
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 517
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 60
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 53
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 53
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 49
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 49
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 33
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 43
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 116
- 239000010408 film Substances 0.000 description 104
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 63
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 31
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 27
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 23
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 20
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 12
- 101150027645 SUB10 gene Proteins 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 11
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 11
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 10
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- BHHYHSUAOQUXJK-UHFFFAOYSA-L zinc fluoride Chemical compound F[Zn]F BHHYHSUAOQUXJK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 10
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- AKJVMGQSGCSQBU-UHFFFAOYSA-N zinc azanidylidenezinc Chemical compound [Zn++].[N-]=[Zn].[N-]=[Zn] AKJVMGQSGCSQBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 8
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 6
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 5
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- HPMFRDSCZCZVKX-UHFFFAOYSA-N fluoro hypofluorite zinc Chemical compound [Zn].FOF HPMFRDSCZCZVKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020923 Sn-O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910007604 Zn—Sn—O Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 2
- -1 zinc (Zn) compound Chemical class 0.000 description 2
- 150000003752 zinc compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 1
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegallium Chemical compound [Te]=[Ga] OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
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Abstract
【解決手段】本発明の薄膜トランジスタのチャネル要素として適用される半導体物質は、亜鉛、窒素、及びフッ素を有し、該半導体物質は、酸素を更に含んでもよく、該半導体物質は、化合物を含んでもよい。例えば、該半導体物質は、亜鉛フルオロオキシナイトライドを含み、また該半導体物質は、フッ素が含有された亜鉛オキシナイトライドを含み、また該半導体物質は、亜鉛フルオロナイトライドを含む。
【選択図】図3
Description
また、本発明の目的は、上記半導体物質をチャネル物質として適用した薄膜トランジスタを提供することにある。
また、本発明の目的は、高移動度特性及び優秀なスイッチング特性を有する薄膜トランジスタを提供することにある。
また、本発明の目的は、サブスレショルド・スイング(subthreshold swing)値が低い薄膜トランジスタを提供することにある。
また、本発明の目的は、オフカレント(OFF current)レベルが低い薄膜トランジスタを提供することにある。
また、本発明の目的は、上記薄膜トランジスタを含む電子素子(例えば、ディスプレイ)を提供することにある。
前記半導体物質は、フッ素が含有された亜鉛オキシナイトライド(zinc oxynitride)を含み得る。
前記半導体物質は、化合物半導体を含み得る。
前記半導体物質は、四元(quaternary)化合物を含み得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約3at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約5at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、5〜35at%であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約50at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約60at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、60〜90at%であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、約40at%以下であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、約30at%以下であり得る。
前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、5〜30at%であり得る。
前記半導体物質は、約10cm2/Vs以上のホール移動度(hall mobility)を有し得る。
前記半導体物質は、約20cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記半導体物質は、非晶質相(amorphous phase)を含み得る。
前記半導体物質は、ナノ結晶相(nanocrystalline phase)を含み得る。
前記半導体物質は、I族元素、II族元素、III族元素、IV族元素、V族元素、遷移金属元素、及びランタン(Ln)系元素の中の少なくとも一つを更に含むことができる。
前記半導体物質は、Li、K、Mg、Ca、Sr、Ba、Ga、Al、In、B、Si、Sn、Ge、Sb、Y、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Sc、Hf、Mo、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、W、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、及びLuのうちの少なくとも一つを更に含むことができる。
前記半導体物質は、化合物半導体を含み得る。
前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約3at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約5at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、5〜45at%であり得る。
前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約55at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約65at%以上であり得る。
前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、65〜95at%であり得る。
前記半導体物質は、約10cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記半導体物質は、約20cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記半導体物質は、非晶質相を含み得る。
前記半導体物質は、ナノ結晶相を含み得る。
前記半導体物質は、I族元素、II族元素、III族元素、IV族元素、V族元素、遷移金属元素、及びランタン(Ln)系元素のうちの少なくとも一つを更に含むことができる。
前記半導体物質は、Li、K、Mg、Ca、Sr、Ba、Ga、Al、In、B、Si、Sn、Ge、Sb、Y、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Sc、Hf、Mo、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、W、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、及びLuのうちの少なくとも一つを更に含むことができる。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、フッ素が含有された亜鉛オキシナイトライドを含み得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、化合物半導体を含み得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約3at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約5at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、5〜35at%であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約50at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約60at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、60〜90at%であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、約40at%以下であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、約30at%以下であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、5〜30at%であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、約10cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、約20cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約10cm2/Vs以上の電界効果移動度(field effect mobility)を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約20cm2/Vs以上の電界効果移動度を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約0.95V/dec以下のサブスレショルド・スイング(S.S.)値を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約0.75V/dec以下のサブスレショルド・スイング(S.S.)値を有し得る。
前記ゲート電極は、前記チャネル要素の下に備えられ、前記チャネル要素上に具備されたエッチング停止層を更に含み得る。
前記ゲート電極は、前記チャネル要素上に具備され得る。
前記チャネル要素は、活性層の第1領域に対応し、前記ソース及びドレインは、前記チャネル要素の両側の前記活性層内に具備され、前記ゲート絶縁層及び前記ゲート電極は、前記活性層の第1領域上に順に積層され得る。その場合、前記薄膜トランジスタは、自己整列(self−aligned)トップゲート構造を有することができる。
前記ゲート絶縁層は、第1層及び第2層を含み、前記第1層は、前記ゲート電極と前記第2層との間に具備され、前記第2層は、前記第1層と前記チャネル要素との間に具備され、前記第1層は、シリコン窒化物を含み、前記第2層は、シリコン酸化物を含み得る。
前記薄膜トランジスタは、前記薄膜トランジスタを覆う保護層(passivation layer)を更に含むことができ。前記保護層は、順に積層されたシリコン酸化物層及びシリコン窒化物層を含み得る。
前記ゲート電極、前記ソース、及び前記ドレインのうちの少なくとも一つは、三重層電極構造を含み得る。
前記三重層電極構造は、順に積層された第1層、第2層、及び第3層を含み、前記第1層及び第3層の少なくともいずれかは、Ti、Mo、及びそれらの組み合わせのうちの一つを含み、前記第2層は、Al、AlNd、Cu、及びそれらの組み合わせののうちの一つを含み得る。
前記表示装置は、有機発光表示装置又は液晶表示装置であり得る。
前記薄膜トランジスタは、スイッチング素子又は駆動素子として使用され得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、化合物半導体を含み得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約3at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、約5at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、5〜45at%であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約55at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、約65at%以上であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、65〜95at%であり得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、約10cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記チャネル要素の前記半導体物質は、約20cm2/Vs以上のホール移動度を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約10cm2/Vs以上の電界効果移動度を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約20cm2/Vs以上の電界効果移動度を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約0.95V/dec以下のサブスレショルド・スイング(S.S.)値を有し得る。
前記薄膜トランジスタは、約0.75V/dec以下のサブスレショルド・スイング(S.S.)値を有し得る。
前記ゲート電極は、前記チャネル要素の下に備えられ、前記チャネル要素上に具備されたエッチング停止層を更に含み得る。
前記ゲート電極は、前記チャネル要素上に具備され得る。
前記チャネル要素は、活性層の第1領域に対応し、前記ソース及びドレインは、前記チャネル要素の両側の前記活性層内に具備され、前記ゲート絶縁層及び前記ゲート電極は、前記活性層の第1領域上に順に積層され得る。その場合、前記薄膜トランジスタは、自己整列トップゲート構造を有することができる。
前記ゲート絶縁層は、第1層及び第2層を含み、前記第1層は、前記ゲート電極と前記第2層との間に具備され、前記第2層は、前記第1層と前記チャネル要素との間に具備され、前記第1層は、シリコン窒化物を含み、前記第2層は、シリコン酸化物を含み得る。
前記薄膜トランジスタは、前記薄膜トランジスタを覆う保護層を更に含むことができ、前記保護層は、順に積層されたシリコン酸化物層及びシリコン窒化物層を含み得る。
前記ゲート電極、前記ソース、及び前記ドレインのうちの少なくとも一つは、三重層電極構造を含み得る。
前記三重層電極構造は、順に積層された第1層、第2層、及び第3層を含み、前記第1層及び第3層の少なくともいずれかは、Ti、Mo、及びそれらの組み合わせのうちの一つを含み、前記第2層は、Al、AlNd、Cu、及びそれらの組み合わせののうちの一つを含み得る。
前記表示装置は、有機発光表示装置又は液晶表示装置であり得る。
前記薄膜トランジスタは、スイッチング素子又は駆動素子として使用され得る。
このような薄膜トランジスタを電子素子(例えば、表示装置)に適用することで、電子素子の性能を向上させることができる。
1000 第1基板
1500 中間要素層
2000 第2基板
A20 活性層
C10、C30 チャネル層
C20 チャネル領域
C100 チャネル用半導体層
d1 第1導電領域
d2 第2導電領域
D10、D10’、D20、D20’、D30 ドレイン電極
E21 第1電極
E22 第2電極
EM20 電極物質層
ES10 エッチング停止層
G10、G20、G30 ゲート電極
GI1 シリコン窒化物層
GI2 シリコン酸化物層
GI10、GI11、GI20、GI30 ゲート絶縁層
H21 第1コンタクトホール
H22 第2コンタクトホール
ILD20 層間絶縁層
IM20 絶縁物質層
L1〜L3 第1層〜第3層
ME10 多層電極
P1、P1’ 第1保護層
P2、P2’ 第2保護層
P3’ 第3保護層
P10、P11、P12、P30 保護層
PG21 第1導電性プラグ
PG22 第2導電性プラグ
S10、S10’、S20、S20’、S30 ソース電極
SP20 絶縁スペーサ
SS20 積層構造物
SUB10、SUB20、SUB30 基板
Claims (40)
- 薄膜トランジスタのチャネル要素として適用される半導体物質であって、
亜鉛、フッ素、酸素、及び窒素を有することを特徴とする半導体物質。 - 前記半導体物質は、亜鉛フルオロオキシナイトライドを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質は、フッ素が含有された亜鉛オキシナイトライドを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、3at%以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、50at%以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、40at%以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質は、非晶質相を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体物質。
- 薄膜トランジスタのチャネル要素として適用される半導体物質であって、
亜鉛、窒素、及びフッ素を有することを特徴とする半導体物質。 - 前記半導体物質は、亜鉛フルオロナイトライドを含むことを特徴とする請求項8に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、3at%以上であることを特徴とする請求項8又は9に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、55at%以上であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の半導体物質。
- 前記半導体物質は、非晶質相を含むことを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の半導体物質。
- 亜鉛、フッ素、酸素、及び窒素を含む半導体物質に形成されたチャネル要素と、
前記チャネル要素に対応するように具備されたゲート電極と、
前記チャネル要素と前記ゲート電極との間に具備されたゲート絶縁層と、
前記チャネル要素の第1領域及び第2領域にそれぞれ接触するソース及びドレインと、を備えることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 前記チャネル要素の前記半導体物質は、亜鉛フルオロオキシナイトライドを含むことを特徴とする請求項13に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記チャネル要素の前記半導体物質は、フッ素が含有された亜鉛オキシナイトライドを含むことを特徴とする請求項13又は14に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、3at%以上であることを特徴とする請求項13乃至15のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、50at%以上であることを特徴とする請求項13乃至16のいずれか28に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素、酸素、及びフッ素の総含有量に対する酸素の含有比は、40at%以下であることを特徴とする請求項13乃至17のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート電極は、前記チャネル要素の下に備えられ、
前記チャネル要素上に具備されたエッチング停止層を更に含むことを特徴とする請求項13乃至18のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記チャネル要素は、活性層の第1領域に対応し、
前記ソース及びドレインは、前記チャネル要素の両側の前記活性層内に具備され、
前記ゲート絶縁層及び前記ゲート電極は、前記活性層の第1領域上に順に積層されることを特徴とする請求項13乃至18のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁層は、第1層及び第2層を含み、
前記第1層は、前記ゲート電極と前記第2層との間に具備され、
前記第2層は、前記第1層と前記チャネル要素との間に具備され、
前記第1層は、シリコン窒化物を含み、
前記第2層は、シリコン酸化物を含むことを特徴とする請求項13乃至20のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記薄膜トランジスタを覆う保護層を更に含み、
前記保護層は、順に積層されたシリコン酸化物層及びシリコン窒化物層を含むことを特徴とする請求項13乃至21のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート電極、前記ソース、及び前記ドレインのうちの少なくとも一つは、三重層電極構造を含むことを特徴とする請求項13乃至22のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
- 前記三重層電極構造は、順に積層された第1層、第2層、及び第3層を含み、
前記第1層及び第3層の少なくともいずれかは、Ti、Mo、及びそれらの組み合わせのうちの一つを含み、
前記第2層は、Al、AlNd、Cu、及びそれらの組み合わせのうちの一つを含むことを特徴とする請求項23に記載の薄膜トランジスタ。 - 電子素子であって、
請求項13乃至24のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタを有することを特徴とする電子素子。 - 前記電子素子は、表示装置であることを特徴とする請求項25に記載の電子素子。
- 前記表示装置は、有機発光表示装置又は液晶表示装置であることを特徴とする請求項26に記載の電子素子。
- 亜鉛、窒素、及びフッ素を含む半導体物質に形成されたチャネル要素と、
前記チャネル要素に対応するように具備されたゲート電極と、
前記チャネル要素と前記ゲート電極との間に具備されたゲート絶縁層と、
前記チャネル要素の第1領域及び第2領域にそれぞれ接触するソース及びドレインと、を備えることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 前記チャネル要素の前記半導体物質は、亜鉛フルオロナイトライドを含むことを特徴とする請求項28に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対するフッ素の含有比は、3at%以上であることを特徴とする請求項28又は29に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記チャネル要素の前記半導体物質で、窒素及びフッ素の総含有量に対する窒素の含有比は、55at%以上であることを特徴とする請求項28乃至30のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート電極は、前記チャネル要素の下に備えられ、
前記チャネル要素上に具備されたエッチング停止層を更に含むことを特徴とする請求項28乃至31のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記チャネル要素は、活性層の第1領域に対応し、
前記ソース及びドレインは、前記チャネル要素の両側の前記活性層内に具備され、
前記ゲート絶縁層及び前記ゲート電極は、前記活性層の第1領域上に順に積層されることを特徴とする請求項28乃至31のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁層は、第1層及び第2層を含み、
前記第1層は、前記ゲート電極と前記第2層との間に具備され、
前記第2層は、前記第1層と前記チャネル要素との間に具備され、
前記第1層は、シリコン窒化物を含み、
前記第2層は、シリコン酸化物を含むことを特徴とする請求項28乃至33のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記薄膜トランジスタを覆う保護層を更に含み、
前記保護層は、順に積層されたシリコン酸化物層及びシリコン窒化物層を含むことを特徴とする請求項28乃至34のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート電極、前記ソース、及び前記ドレインのうちの少なくとも一つは、三重層電極構造を含むことを特徴とする請求項28乃至35のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記三重層電極構造は、順に積層された第1層、第2層、及び第3層を含み、
前記第1層及び第3層の少なくともいずれかは、Ti、Mo、及びそれらの組み合わせのうちの一つを含み、
前記第2層は、Al、AlNd、Cu、及びそれらの組み合わせのうちの一つを含むことを特徴とする請求項36に記載の薄膜トランジスタ。 - 電子素子であって、
請求項28乃至37のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタを有することを特徴とする電子素子。 - 前記電子素子は、表示装置であることを特徴とする請求項38に記載の電子素子。
- 前記表示装置は、有機発光表示装置又は液晶表示装置であることを特徴とする請求項39に記載の電子素子。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20120138508 | 2012-11-30 | ||
KR10-2012-0138508 | 2012-11-30 | ||
KR10-2013-0097345 | 2013-08-16 | ||
KR1020130097345A KR102144992B1 (ko) | 2012-11-30 | 2013-08-16 | 반도체 물질과 이를 포함하는 트랜지스터 및 트랜지스터를 포함하는 전자소자 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014110429A true JP2014110429A (ja) | 2014-06-12 |
JP6338361B2 JP6338361B2 (ja) | 2018-06-06 |
Family
ID=49582684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013247333A Active JP6338361B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-29 | 半導体物質とそれを含む薄膜トランジスタ及び該薄膜トランジスタを含む電子素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9343534B2 (ja) |
EP (1) | EP2738815B1 (ja) |
JP (1) | JP6338361B2 (ja) |
CN (1) | CN103855194B (ja) |
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US20140152936A1 (en) | 2014-06-05 |
EP2738815A1 (en) | 2014-06-04 |
CN103855194B (zh) | 2018-05-01 |
JP6338361B2 (ja) | 2018-06-06 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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